JPH0176029U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0176029U JPH0176029U JP1987171477U JP17147787U JPH0176029U JP H0176029 U JPH0176029 U JP H0176029U JP 1987171477 U JP1987171477 U JP 1987171477U JP 17147787 U JP17147787 U JP 17147787U JP H0176029 U JPH0176029 U JP H0176029U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- sample
- mounting table
- extraction window
- generation chamber
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案装置の模式的縦断面図、第２図
は同じくプラズマ引出窓の平面図、第３図はプラ
ズマ投射域と試料との位置関係を示す説明図、第
４図は本考案装置と従来装置との比較試験結果を
示すグラフ、第５図は従来装置の模式的縦断面図
、第６図は同じくプラズマ引出窓の平面図、第７
図はプラズマ投射域と試料との位置関係を示す説
明図である。 １…プラズマ生成室、１ｄ…プラズマ引出窓、
２…導波管、３…反応室、４…励磁コイル、Ｓ…
試料。
は同じくプラズマ引出窓の平面図、第３図はプラ
ズマ投射域と試料との位置関係を示す説明図、第
４図は本考案装置と従来装置との比較試験結果を
示すグラフ、第５図は従来装置の模式的縦断面図
、第６図は同じくプラズマ引出窓の平面図、第７
図はプラズマ投射域と試料との位置関係を示す説
明図である。 １…プラズマ生成室、１ｄ…プラズマ引出窓、
２…導波管、３…反応室、４…励磁コイル、Ｓ…
試料。
Claims (1)
- 電子サイクロトロン共鳴励起を利用してプラズ
マを発生させるプラズマ生成室と、往復移動可能
な試料用載置台を備え、前記プラズマ生成室で発
生したプラズマをプラズマ引出窓を通して前記試
料に投射せしめる試料室とを備えたプラズマ装置
において、前記プラズマ引出窓は前記載置台の移
動方向と直交する方向を長軸方向とする楕円形又
は長円に形成したことを特徴とするプラズマ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987171477U JPH071788Y2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | プラズマ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987171477U JPH071788Y2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | プラズマ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0176029U true JPH0176029U (ja) | 1989-05-23 |
| JPH071788Y2 JPH071788Y2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=31463345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987171477U Expired - Lifetime JPH071788Y2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | プラズマ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH071788Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-11-10 JP JP1987171477U patent/JPH071788Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH071788Y2 (ja) | 1995-01-18 |