JPH0179258U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0179258U JPH0179258U JP1987173773U JP17377387U JPH0179258U JP H0179258 U JPH0179258 U JP H0179258U JP 1987173773 U JP1987173773 U JP 1987173773U JP 17377387 U JP17377387 U JP 17377387U JP H0179258 U JPH0179258 U JP H0179258U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excitation coil
- magnetic path
- lens
- objective lens
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例を説明するための透過
形電子顕微鏡の対物レンズの縦断面図、第２図は
本案に関する部品の構造図、第３図は対物レンズ
の半縦断面図、第４図は接続部の詳細図である。 １……上磁路、２……下磁路、３……励磁コイ
ル、４……コイル枠、５……熱遮断容器、５ａ…
…外筒部、６……高真空、７，１７，１８，２１
，２２，２５……ロリングパツキング、８……対
物レンズポールピース、９……試料台、１０……
試料装置、１０ａ，１０ｂ……試料、１１……非
磁性の部材、１２……サイドエントリー試料装置
、１３……水冷管、１４，１５……防振ゴム、１
６ａ……入水管、１６ｂ……排水管、１９……端
子棒、２０……電気絶縁ブツシユ、２３……熱遮
断フタ、２４……真空排気管、２６……空間。
形電子顕微鏡の対物レンズの縦断面図、第２図は
本案に関する部品の構造図、第３図は対物レンズ
の半縦断面図、第４図は接続部の詳細図である。 １……上磁路、２……下磁路、３……励磁コイ
ル、４……コイル枠、５……熱遮断容器、５ａ…
…外筒部、６……高真空、７，１７，１８，２１
，２２，２５……ロリングパツキング、８……対
物レンズポールピース、９……試料台、１０……
試料装置、１０ａ，１０ｂ……試料、１１……非
磁性の部材、１２……サイドエントリー試料装置
、１３……水冷管、１４，１５……防振ゴム、１
６ａ……入水管、１６ｂ……排水管、１９……端
子棒、２０……電気絶縁ブツシユ、２３……熱遮
断フタ、２４……真空排気管、２６……空間。
Claims (1)
- 磁路を２個以上に分割し、その内部にコイル枠
より成る励磁コイルを設けた電子レンズにおいて
、該励磁コイルのほぼ全周を真空の空間で覆うよ
うにしたことを特徴とする電子顕微鏡等の電子レ
ンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987173773U JPH0179258U (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987173773U JPH0179258U (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0179258U true JPH0179258U (ja) | 1989-05-29 |
Family
ID=31465665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987173773U Pending JPH0179258U (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0179258U (ja) |
-
1987
- 1987-11-16 JP JP1987173773U patent/JPH0179258U/ja active Pending
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