JPH0180927U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0180927U JPH0180927U JP1987176633U JP17663387U JPH0180927U JP H0180927 U JPH0180927 U JP H0180927U JP 1987176633 U JP1987176633 U JP 1987176633U JP 17663387 U JP17663387 U JP 17663387U JP H0180927 U JPH0180927 U JP H0180927U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- retention means
- peripheral surface
- reaction tube
- vertical semiconductor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は、この考案に係る縦型半導体熱処理装
置の縦断面図、第２図、第３図は、縦型半導体熱
処理装置のヒートキヤツプの斜視図および縦断面
図、第４図は、別実施例における縦型半導体熱処
理装置のヒートキヤツプの縦断面図である。 １０：縦型半導体熱処理装置、１１：ヒートキ
ヤツプ、１２：滞留手段、１４：ヒートキヤツプ
の外周面、１６：滞留溝付フランジ（滞留手段）
、１８：滞留溝、１９：環形溝（滞留手段）、２
０：反応管、３２：ウエーハボート、３４：ボー
トローダ、３６：支持ロツド、４０：排気リング
、４２：排気孔。
置の縦断面図、第２図、第３図は、縦型半導体熱
処理装置のヒートキヤツプの斜視図および縦断面
図、第４図は、別実施例における縦型半導体熱処
理装置のヒートキヤツプの縦断面図である。 １０：縦型半導体熱処理装置、１１：ヒートキ
ヤツプ、１２：滞留手段、１４：ヒートキヤツプ
の外周面、１６：滞留溝付フランジ（滞留手段）
、１８：滞留溝、１９：環形溝（滞留手段）、２
０：反応管、３２：ウエーハボート、３４：ボー
トローダ、３６：支持ロツド、４０：排気リング
、４２：排気孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体基板を熱処理する際、反応管内で液
化、析出して付着する液体や固体を滞留させて、
落下を防止する滞留手段を有する縦型半導体熱処
理装置。 (2) 滞留手段が、ウエーハボートとともに反応
管内に搬入されて反応管の開口を閉塞するヒート
キヤツプの外周面に設けられたことを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第１項記載の縦型半導体
熱処理装置。 (3) 滞留手段が、ヒートキヤツプ外周面の下端
部に形成された滞溜溝付外方フランジである実用
新案登録請求の範囲第２項記載の縦型半導体熱処
理装置。 (4) 滞留手段が、ヒートキヤツプ外周面の下端
部に形成された環形溝である実用新案登録請求の
範囲第２項記載の縦型半導体熱処理装置。 (5) 滞留手段が、反応管の内周面の上端部に設
けられたことを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載の縦型半導体熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987176633U JPH0180927U (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987176633U JPH0180927U (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0180927U true JPH0180927U (ja) | 1989-05-30 |
Family
ID=31468356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987176633U Pending JPH0180927U (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0180927U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614426B2 (ja) * | 1977-08-26 | 1986-02-10 | Nippon Zeon Co |
-
1987
- 1987-11-19 JP JP1987176633U patent/JPH0180927U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS614426B2 (ja) * | 1977-08-26 | 1986-02-10 | Nippon Zeon Co |