JPS63153523U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63153523U JPS63153523U JP4855187U JP4855187U JPS63153523U JP S63153523 U JPS63153523 U JP S63153523U JP 4855187 U JP4855187 U JP 4855187U JP 4855187 U JP4855187 U JP 4855187U JP S63153523 U JPS63153523 U JP S63153523U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- furnace opening
- creating
- around
- inert gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は実施例の斜視図、第２図は実施例の断
面図、第３図は従来例の断面図、第４図は他の従
来例の断面図である。 １はヒータ、２は熱処理部、３は炉口、４はク
リーンユニツト、５はＮ２ガス、６は上壷型の縦
型炉、７はウエハ、８はボートである。
面図、第３図は従来例の断面図、第４図は他の従
来例の断面図である。 １はヒータ、２は熱処理部、３は炉口、４はク
リーンユニツト、５はＮ２ガス、６は上壷型の縦
型炉、７はウエハ、８はボートである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 炉口を熱処理部の下方に形成し、 少なくとも上記炉口の周辺を不活性ガス雰囲気
とする手段を設けたことを特徴とする熱処理装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4855187U JPS63153523U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4855187U JPS63153523U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63153523U true JPS63153523U (ja) | 1988-10-07 |
Family
ID=30870188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4855187U Pending JPS63153523U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63153523U (ja) |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP4855187U patent/JPS63153523U/ja active Pending