JPH0459436U - - Google Patents
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- JPH0459436U JPH0459436U JP10214590U JP10214590U JPH0459436U JP H0459436 U JPH0459436 U JP H0459436U JP 10214590 U JP10214590 U JP 10214590U JP 10214590 U JP10214590 U JP 10214590U JP H0459436 U JPH0459436 U JP H0459436U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force sensor
- strain
- semiconductor
- axis force
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の力覚センサーの断面図、第２
図は従来の拡散型力覚センサーの断面図、第３図
はＸ，Ｙ軸方向の変形シミユレーシヨン図、第４
図はＺ軸方向の押張力の変形シミユレーシヨン図
、第５図はＸ軸用ブリツジ回路図、第６図はＹ軸
用ブリツジ回路図、第７図はＺ軸用ブリツジ回路
図、第８図は従来の拡散型力覚センサーの動作特
性図、第９図は理想的な力覚センサーの動作特性
図、第１０図は従来の高感度化した拡散型力覚セ
ンサーで、イは断面図、ロは下側から見た平面図
である。 ３０……半導体３軸力覚センサー、３１……起
歪体、３１ａ……外周部、３２……ダイアフラム
、３３……検出アーム。
図は従来の拡散型力覚センサーの断面図、第３図
はＸ，Ｙ軸方向の変形シミユレーシヨン図、第４
図はＺ軸方向の押張力の変形シミユレーシヨン図
、第５図はＸ軸用ブリツジ回路図、第６図はＹ軸
用ブリツジ回路図、第７図はＺ軸用ブリツジ回路
図、第８図は従来の拡散型力覚センサーの動作特
性図、第９図は理想的な力覚センサーの動作特性
図、第１０図は従来の高感度化した拡散型力覚セ
ンサーで、イは断面図、ロは下側から見た平面図
である。 ３０……半導体３軸力覚センサー、３１……起
歪体、３１ａ……外周部、３２……ダイアフラム
、３３……検出アーム。
Claims (1)
- 拡散歪ゲージを形成したシリコン単結晶板を起
歪体に接合してなる半導体３軸力覚センサーにお
いて、起歪体のダイアフラムの外周部側が薄く、
検出アームが接続される中心部が厚いテーパー状
としたことを特徴とする半導体３軸力覚センサー
の起歪体構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10214590U JP2514974Y2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 半導体３軸力覚センサーの起歪体構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10214590U JP2514974Y2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 半導体３軸力覚センサーの起歪体構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459436U true JPH0459436U (ja) | 1992-05-21 |
| JP2514974Y2 JP2514974Y2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=31846153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10214590U Expired - Lifetime JP2514974Y2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 半導体３軸力覚センサーの起歪体構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2514974Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017166847A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | トヨタ自動車株式会社 | 力センサの設計方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4303091B2 (ja) * | 2003-11-10 | 2009-07-29 | ニッタ株式会社 | 歪みゲージ型センサおよびこれを利用した歪みゲージ型センサユニット |
| JP2023099959A (ja) * | 2022-01-04 | 2023-07-14 | 住友重機械工業株式会社 | 歯車装置及びセンサ設置部材 |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP10214590U patent/JP2514974Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017166847A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | トヨタ自動車株式会社 | 力センサの設計方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2514974Y2 (ja) | 1996-10-23 |