JPH018365Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH018365Y2 JPH018365Y2 JP1983013670U JP1367083U JPH018365Y2 JP H018365 Y2 JPH018365 Y2 JP H018365Y2 JP 1983013670 U JP1983013670 U JP 1983013670U JP 1367083 U JP1367083 U JP 1367083U JP H018365 Y2 JPH018365 Y2 JP H018365Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal head
- heating resistor
- glass layer
- thin film
- metal thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electronic Switches (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（技術分野）
本考案は熱ストレスに強く、長寿命なサーマル
ヘツドに関するものである。
ヘツドに関するものである。
（背景技術）
従来の薄膜型サーマルヘツドの断面図を第１図
に示す。１はアルミナセラミツク基板、２は蓄熱
層、３は発熱抵抗体、４は給電体、５は酸化防止
および摩耗防止の保護膜である。蓄熱層２は酸化
ケイ素を主成分とするガラス層、発熱抵抗体３は
窒化タンタルなどが用いられている。従来、サー
マルヘツドの劣化の原因として発熱抵抗体とガラ
ス層の密着力が弱いことに起因することが多かつ
た。
に示す。１はアルミナセラミツク基板、２は蓄熱
層、３は発熱抵抗体、４は給電体、５は酸化防止
および摩耗防止の保護膜である。蓄熱層２は酸化
ケイ素を主成分とするガラス層、発熱抵抗体３は
窒化タンタルなどが用いられている。従来、サー
マルヘツドの劣化の原因として発熱抵抗体とガラ
ス層の密着力が弱いことに起因することが多かつ
た。
（考案の課題）
本考案のサーマルヘツドは、発熱抵抗体とガラ
ス層の間に金属薄膜を有することを特徴とし、そ
の目的は発熱抵抗体の密着力の向上であり、以下
詳細に説明する。
ス層の間に金属薄膜を有することを特徴とし、そ
の目的は発熱抵抗体の密着力の向上であり、以下
詳細に説明する。
（考案の構成および作用）
第２図は本考案によるサーマルヘツドの断面図
であり、１はアルミナ基板、２はガラス層、３は
発熱抵抗体、４は給電体、５は保護膜、６は発熱
抵抗体の密着力の向上のために形成した金属薄膜
である。６の金属薄膜の条件としては、次のこと
が必要である。
であり、１はアルミナ基板、２はガラス層、３は
発熱抵抗体、４は給電体、５は保護膜、６は発熱
抵抗体の密着力の向上のために形成した金属薄膜
である。６の金属薄膜の条件としては、次のこと
が必要である。
１ 蒸着あるいはスパツタリングなどによつて形
成が容易なこと。
成が容易なこと。
２ ガラス層との密着が良好なこと。
３ 発熱体との密着が良好なこと。
４ 金属薄膜自身の機械的強度が優れているこ
と。
と。
ここで、上記２）項を満たすためには、ガラス
層中の酸素との親和力が強いことが必要である。
酸素との親和力が強い金属として、カルシウム、
マグネシウム、リチウム、アルミニウム、チタ
ン、マンガン、バナジウム、クロム、ナトリウ
ム、亜鉛などをあげることができる。この中から
上記１）項および４）項を満たす金属を選び出す
と、アルミニウム、チタン、マンガン、クロムを
あげることができる。アルミニウム、チタン、マ
ンガン、クロムは発熱体と金属間結合を生じ、
３）項は満たす。
層中の酸素との親和力が強いことが必要である。
酸素との親和力が強い金属として、カルシウム、
マグネシウム、リチウム、アルミニウム、チタ
ン、マンガン、バナジウム、クロム、ナトリウ
ム、亜鉛などをあげることができる。この中から
上記１）項および４）項を満たす金属を選び出す
と、アルミニウム、チタン、マンガン、クロムを
あげることができる。アルミニウム、チタン、マ
ンガン、クロムは発熱体と金属間結合を生じ、
３）項は満たす。
発熱抵抗体とガラス層の間に形成された金属薄
膜は、ガラス層および発熱抵抗体両者と結合力が
強く、発熱体の密着力としては、従来のガラスの
上に直接発熱体を形成した場合よりも強くなり、
熱ストレスによる劣化にも強くなる。
膜は、ガラス層および発熱抵抗体両者と結合力が
強く、発熱体の密着力としては、従来のガラスの
上に直接発熱体を形成した場合よりも強くなり、
熱ストレスによる劣化にも強くなる。
金属薄膜の厚さは、発熱抵抗体の抵抗値を著し
く減少させない程度が良く、100Å以下が適当で
ある。
く減少させない程度が良く、100Å以下が適当で
ある。
本考案によるサーマルヘツドと従来のサーマル
ヘツドの寿命試験の結果、本考案の方が２倍寿命
が長く良好な結果を得た。以下にその際のサーマ
ルヘツドの構成および試験条件を示す。
ヘツドの寿命試験の結果、本考案の方が２倍寿命
が長く良好な結果を得た。以下にその際のサーマ
ルヘツドの構成および試験条件を示す。
サーマルヘツドの構成
アルミナ基板 1.0mmｔ
ガラス層 50μmt
金属薄膜層 クロム70Å（従来のサーマルヘツ
ドはこの部分はない） 発熱体 窒化タンタル2000Å、８ドツト／mm、
抵抗値500Ω／ドツト 保護膜 酸化ケイ素2μm、五酸化タンタル5μm 通電条件 通電時間2.5msec、くり返し周期
10msec、印加パワー0.4W／ドツト、10ド
ツト連続通電 発熱体破損までの通電パルス数 従来のサーマルヘツド ２億パルス、 本考案のサーマルヘツド ４億パルス 上記実施例で、厚さ2000Åの窒化タンタルの面
積抵抗は10〜15Ω／□程度であり、厚さ70Åのク
ロムの面積抵抗は20kΩ／□程度で、両者の比は
1000倍以上ある。従つて、電流の大部分は発熱体
を流れ、金属薄膜層をもうけたことによる発熱体
の電流への影響は無視できる。
ドはこの部分はない） 発熱体 窒化タンタル2000Å、８ドツト／mm、
抵抗値500Ω／ドツト 保護膜 酸化ケイ素2μm、五酸化タンタル5μm 通電条件 通電時間2.5msec、くり返し周期
10msec、印加パワー0.4W／ドツト、10ド
ツト連続通電 発熱体破損までの通電パルス数 従来のサーマルヘツド ２億パルス、 本考案のサーマルヘツド ４億パルス 上記実施例で、厚さ2000Åの窒化タンタルの面
積抵抗は10〜15Ω／□程度であり、厚さ70Åのク
ロムの面積抵抗は20kΩ／□程度で、両者の比は
1000倍以上ある。従つて、電流の大部分は発熱体
を流れ、金属薄膜層をもうけたことによる発熱体
の電流への影響は無視できる。
発熱抵抗体とガラス層の間に金属薄膜を形成し
たことによる発熱体の密着力の向上は、次のよう
に説明することができる。第３図は、本考案によ
るサーマルヘツドの構成物質の結合を示す図であ
る。ガラス層２と金属薄膜６との界面７では、ガ
ラス中の酸素と金属の強い結合Ｍ−Ｏが存在し、
また、金属薄膜６と発熱抵抗体３との界面８で
は、Ｍ−Taの強い結合が存在している。これら
界面での結合は、従来の窒化タンタル．ガラス層
間の結合よりも強く、したがつて、サーマルヘツ
ドの使用時の熱ストレスにも強くなるという利点
がある。
たことによる発熱体の密着力の向上は、次のよう
に説明することができる。第３図は、本考案によ
るサーマルヘツドの構成物質の結合を示す図であ
る。ガラス層２と金属薄膜６との界面７では、ガ
ラス中の酸素と金属の強い結合Ｍ−Ｏが存在し、
また、金属薄膜６と発熱抵抗体３との界面８で
は、Ｍ−Taの強い結合が存在している。これら
界面での結合は、従来の窒化タンタル．ガラス層
間の結合よりも強く、したがつて、サーマルヘツ
ドの使用時の熱ストレスにも強くなるという利点
がある。
（考案の効果）
本考案は、発熱抵抗体とガラス層の間に金属薄
膜を形成し、発熱抵抗体の密着力を向上させてい
るので、長寿命のサーマルヘツドに利用すること
ができる。
膜を形成し、発熱抵抗体の密着力を向上させてい
るので、長寿命のサーマルヘツドに利用すること
ができる。
第１図は従来のサーマルヘツドの断面図、第２
図は本考案によるサーマルヘツドの断面図、第３
図は本考案のサーマルヘツドの構成物質の結合を
示す図である。 １……アルミナ基板、２……ガラス層、３……
発熱抵抗体、４……給電体、５……保護膜、６…
…金属薄膜、７……ガラス層と金属薄膜との界
面、８……金属薄膜と発熱抵抗体との界面。
図は本考案によるサーマルヘツドの断面図、第３
図は本考案のサーマルヘツドの構成物質の結合を
示す図である。 １……アルミナ基板、２……ガラス層、３……
発熱抵抗体、４……給電体、５……保護膜、６…
…金属薄膜、７……ガラス層と金属薄膜との界
面、８……金属薄膜と発熱抵抗体との界面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基板と、その上のガラス層と、その上の発熱
抵抗体と、その上の給電体及び保護膜とを有す
るサーマルヘツドにおいて、ガラス層と発熱抵
抗体の間にガラス層と発熱抵抗体の両方に直接
接する金属薄膜がもうけられることを特徴とす
るサーマルヘツド。 (2) 前記金属薄膜がアルミニウム、チタン、マン
ガン及びクロムから選ばれる一つであるごとき
実用新案登録請求の範囲第１項記載のサーマル
ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983013670U JPS59120158U (ja) | 1983-02-03 | 1983-02-03 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983013670U JPS59120158U (ja) | 1983-02-03 | 1983-02-03 | サ−マルヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59120158U JPS59120158U (ja) | 1984-08-13 |
| JPH018365Y2 true JPH018365Y2 (ja) | 1989-03-06 |
Family
ID=30145054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983013670U Granted JPS59120158U (ja) | 1983-02-03 | 1983-02-03 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59120158U (ja) |
-
1983
- 1983-02-03 JP JP1983013670U patent/JPS59120158U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59120158U (ja) | 1984-08-13 |
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