JPH0183970U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0183970U JPH0183970U JP1987179275U JP17927587U JPH0183970U JP H0183970 U JPH0183970 U JP H0183970U JP 1987179275 U JP1987179275 U JP 1987179275U JP 17927587 U JP17927587 U JP 17927587U JP H0183970 U JPH0183970 U JP H0183970U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- vacuum path
- pressurized fluid
- piston
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は第１図の要部拡大断面図、第３図は動作を説
明するための図、第４図は従来例を説明するため
の図である。 １：真空筐体、２ａ，２ｂ：真空路、３：バル
ブガイド、４：バルブ保持体、１０：連結棒、１
１：バルブ駆動機構、１４：凹部、１３：金属ベ
ローズ、１５：シリンダ、１６：ピストン、１７
ａ，１７ｂ：パイプ、１８：切換バルブ、１９：
圧搾空気源、２１：通路、２２：開閉弁、１３：
軸、２４，２７：バネ、２５：リリーフバルブ、
２６：滑片、２８：微小孔、２９：長溝。
図は第１図の要部拡大断面図、第３図は動作を説
明するための図、第４図は従来例を説明するため
の図である。 １：真空筐体、２ａ，２ｂ：真空路、３：バル
ブガイド、４：バルブ保持体、１０：連結棒、１
１：バルブ駆動機構、１４：凹部、１３：金属ベ
ローズ、１５：シリンダ、１６：ピストン、１７
ａ，１７ｂ：パイプ、１８：切換バルブ、１９：
圧搾空気源、２１：通路、２２：開閉弁、１３：
軸、２４，２７：バネ、２５：リリーフバルブ、
２６：滑片、２８：微小孔、２９：長溝。
Claims (1)
- 真空路を横切る方向に移動可能に置かたバルブ
本体と、前記真空路と一定角度をなして設けられ
た弁座と、前記バルブ本体にベローズを介して弁
座に向う方向に移動可能に支持されたバルブと、
前記バルブ本体を真空路を横切る方向に移動させ
るためのピストン及びシリンダと、該ピストンと
前記バルブ本体とを連結するための連結体と、前
記シリンダ内に加圧流体を導入することにより前
記バルブ本体が真空路を遮断する方向に移動する
ようにピストンを動かすための加圧流体供給手段
と、前記シリンダ内に導入された加圧流体を前記
ベローズ内に導入するための導入通路と、該導入
通路の前記シリンダ側の入口部分に設けられ、か
つ前記バルブ本体の遮断位置への接近・離間動作
に基づいて開閉する開閉弁と、前記導入通路を流
れる加圧流体の流量をバルブ本体が真空路を遮断
する行程では少なくすると共に、バルブ本体が真
空路から離れる行程では多くするように変化させ
るための弁とを備えたことを特徴とする真空ゲー
トバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17927587U JPH0343496Y2 (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17927587U JPH0343496Y2 (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0183970U true JPH0183970U (ja) | 1989-06-05 |
| JPH0343496Y2 JPH0343496Y2 (ja) | 1991-09-11 |
Family
ID=31470835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17927587U Expired JPH0343496Y2 (ja) | 1987-11-25 | 1987-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0343496Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013529369A (ja) * | 2010-01-18 | 2013-07-18 | プリシス カンパニー，リミテッド | ドアバルブ |
-
1987
- 1987-11-25 JP JP17927587U patent/JPH0343496Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013529369A (ja) * | 2010-01-18 | 2013-07-18 | プリシス カンパニー，リミテッド | ドアバルブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0343496Y2 (ja) | 1991-09-11 |
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