JPH0184041U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0184041U JPH0184041U JP1987178594U JP17859487U JPH0184041U JP H0184041 U JPH0184041 U JP H0184041U JP 1987178594 U JP1987178594 U JP 1987178594U JP 17859487 U JP17859487 U JP 17859487U JP H0184041 U JPH0184041 U JP H0184041U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- glass substrate
- concave part
- measurement pressure
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例の構成を示す縦断面
図、第２図は第１図に示す圧力センサを製造する
製造工程を示す工程図、第３図は第１図に示す圧
力センサを製造する他の製造工程を示す工程図、
第４図は従来の圧力センサの構成を示す縦断面図
である。 １０……ダイアフラム、１１……凹部、１２…
…起歪部、１３……固定部、１４……ゲージ、１
６……ガラス基板、１７……金属薄膜、１８……
シリコン基板、１９……電極。
図、第２図は第１図に示す圧力センサを製造する
製造工程を示す工程図、第３図は第１図に示す圧
力センサを製造する他の製造工程を示す工程図、
第４図は従来の圧力センサの構成を示す縦断面図
である。 １０……ダイアフラム、１１……凹部、１２…
…起歪部、１３……固定部、１４……ゲージ、１
６……ガラス基板、１７……金属薄膜、１８……
シリコン基板、１９……電極。
Claims (1)
- 周辺の固定部を残して中央に凹部を有しこの凹
部の形成により厚さの薄くなつた起歪部の表面に
測定圧力に感知するゲージが形成されたダイアフ
ラムと、前記測定圧力を導入する導圧孔が貫通し
て形成されたガラス基板と、このガラス基板と前
記固定部とを金属薄膜を介して陽極接合したこと
を特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987178594U JPH0184041U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987178594U JPH0184041U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184041U true JPH0184041U (ja) | 1989-06-05 |
Family
ID=31470203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987178594U Pending JPH0184041U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0184041U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55122125A (en) * | 1979-03-14 | 1980-09-19 | Hitachi Ltd | Semiconductor pressure detector |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP1987178594U patent/JPH0184041U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55122125A (en) * | 1979-03-14 | 1980-09-19 | Hitachi Ltd | Semiconductor pressure detector |