JPH0166046U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0166046U JPH0166046U JP1987161169U JP16116987U JPH0166046U JP H0166046 U JPH0166046 U JP H0166046U JP 1987161169 U JP1987161169 U JP 1987161169U JP 16116987 U JP16116987 U JP 16116987U JP H0166046 U JPH0166046 U JP H0166046U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- substrate
- pressure
- sensor chip
- strain
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は第１図の製作説明図、第３図は本考案の
他の実施例の要部構成説明図、第４図は本考案の
別の実施例の要部構成説明図、第５図は本考案の
他の実施例の要部構成説明図、第６図は従来より
一般に使用されている従来例の構成説明図である
。 １……センサアセンブリ、１１……センサチツ
プ、１１１……感圧部、１１１１……薄肉起歪部
、１１１２…ゲージ、１１１３……アンプ部、３
……基板部、３１……基板、３１１……導圧孔、
３２……金属薄膜、３３……ガラス薄膜、４１…
…ガラス層、４２……シリコンチツプ。
第２図は第１図の製作説明図、第３図は本考案の
他の実施例の要部構成説明図、第４図は本考案の
別の実施例の要部構成説明図、第５図は本考案の
他の実施例の要部構成説明図、第６図は従来より
一般に使用されている従来例の構成説明図である
。 １……センサアセンブリ、１１……センサチツ
プ、１１１……感圧部、１１１１……薄肉起歪部
、１１１２…ゲージ、１１１３……アンプ部、３
……基板部、３１……基板、３１１……導圧孔、
３２……金属薄膜、３３……ガラス薄膜、４１…
…ガラス層、４２……シリコンチツプ。
Claims (1)
- 測定圧力を受けて応力を発生する薄肉起歪部と
該薄肉起歪部の表面近くに熱拡散あるいはイオン
注入により作成されたゲージとよりなる感圧部を
備える半導体からなるセンサチツプと、該センサ
チツプと熱膨張係数が近くセラミツクスよりなる
基板と該基板の一面に設けられた金属薄膜と該金
属薄膜表面に形成されたガラス薄板とからなり該
ガラス薄膜を介して前記センサチツプに陽極接合
により接合される基板部とを具備してなる半導体
圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987161169U JPH0166046U (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987161169U JPH0166046U (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0166046U true JPH0166046U (ja) | 1989-04-27 |
Family
ID=31443885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987161169U Pending JPH0166046U (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0166046U (ja) |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP1987161169U patent/JPH0166046U/ja active Pending