JPH0180934U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0180934U JPH0180934U JP1987176809U JP17680987U JPH0180934U JP H0180934 U JPH0180934 U JP H0180934U JP 1987176809 U JP1987176809 U JP 1987176809U JP 17680987 U JP17680987 U JP 17680987U JP H0180934 U JPH0180934 U JP H0180934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- cassette
- processing
- surface treatment
- wafer transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Description
第１図はこの考案の１実施例を示し、ウエハの
表面処理装置の全体を表した斜視図である。第２
図〜第４図はそれぞれこの考案の別の実施例を示
す、第１図と同様の斜視図である。 １……ウエハ移し替え部、２……カセツト収納
棚、３……表面処理部、４……カセツト搬送部、
５……カセツト移送装置、Ｃ１……搬送専用カセ
ツト、Ｃ２……処理専用カセツト、Ｗ……ウエハ
。
表面処理装置の全体を表した斜視図である。第２
図〜第４図はそれぞれこの考案の別の実施例を示
す、第１図と同様の斜視図である。 １……ウエハ移し替え部、２……カセツト収納
棚、３……表面処理部、４……カセツト搬送部、
５……カセツト移送装置、Ｃ１……搬送専用カセ
ツト、Ｃ２……処理専用カセツト、Ｗ……ウエハ
。
Claims (1)
- 搬送専用カセツトと処理専用カセツトとの間で
複数枚のウエハの移し替えを行なう少なくとも１
つのウエハ移し替え部と、このウエハ移し替え部
の上方もしくは側方に配設され、前記カセツトの
少なくとも一方を収納することができるカセツト
収納棚と、一端部において前記ウエハ移し替え部
に連接し、処理専用カセツトに収容された複数枚
のウエハに対して所要の表面処理を施す表面処理
部と、この表面処理部に沿つて配設され、表面処
理部の処理開始位置近傍もしくは処理終了位置近
傍と前記ウエハ移し替え部との間で処理専用カセ
ツトの搬送を行なうカセツト搬送部と、前記ウエ
ハ移し替え部と前記カセツト収納棚との間で前記
カセツトの少なくとも一方の移送を行ない、前記
ウエハ移し替え部と前記カセツト搬送部との間、
前記カセツト搬送部と前記表面処理部との間、並
びに前記表面処理部と前記ウエハ移し替え部との
間でそれぞれ処理専用カセツトの移送を行なう共
通の、もしくは各別のカセツト移送手段とを備え
てなるウエハの表面処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17680987U JP2544056Y2 (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 | ウエハの表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17680987U JP2544056Y2 (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 | ウエハの表面処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0180934U true JPH0180934U (ja) | 1989-05-30 |
| JP2544056Y2 JP2544056Y2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=31468512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17680987U Expired - Lifetime JP2544056Y2 (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 | ウエハの表面処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2544056Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000003894A (ja) * | 1999-05-10 | 2000-01-07 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄装置及びその方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110299313B (zh) * | 2019-07-04 | 2022-09-16 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 清洗装置和清洗方法 |
-
1987
- 1987-11-19 JP JP17680987U patent/JP2544056Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000003894A (ja) * | 1999-05-10 | 2000-01-07 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄装置及びその方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2544056Y2 (ja) | 1997-08-13 |
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