JPH0186227U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0186227U JPH0186227U JP18312287U JP18312287U JPH0186227U JP H0186227 U JPH0186227 U JP H0186227U JP 18312287 U JP18312287 U JP 18312287U JP 18312287 U JP18312287 U JP 18312287U JP H0186227 U JPH0186227 U JP H0186227U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- blow
- holes
- material gas
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000005495 cold plasma Effects 0.000 claims 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の実施例の要部を示す一部破断
的に示した斜視図、第２図は断面図、第３図、第
４図は固定拡散板、可能拡散板の構成を示す図、
第５図は従来からのプラズマＣＶＤ装置の構成を
示す模式図、第６図、第７図は従来例を示す図で
ある。 １…電極箱、２…原料ガス導入管、３…原料ガ
ス吹出穴、７…中間拡散板、８…固定拡散板、９
…可動拡散板、１２，１６…ガス通過穴。
的に示した斜視図、第２図は断面図、第３図、第
４図は固定拡散板、可能拡散板の構成を示す図、
第５図は従来からのプラズマＣＶＤ装置の構成を
示す模式図、第６図、第７図は従来例を示す図で
ある。 １…電極箱、２…原料ガス導入管、３…原料ガ
ス吹出穴、７…中間拡散板、８…固定拡散板、９
…可動拡散板、１２，１６…ガス通過穴。
Claims (1)
- 箱状の電極表面の吹出穴から原料ガスを真空室
内に吐出し、この原料ガスを対向する電極間に生
成されたコールドプラズマ中で分解して、電極間
に設置される基板上に原料ガスの分解反応によつ
て折出される固体の薄膜を形成するプラズマＣＶ
Ｄ装置において、前記原料ガス吹出穴を備えた箱
体状電極内に、電極表面のガス吹出穴に対し相対
的にガス吹出穴の数又は面積を変化調整すること
ができる中間拡散板を設けたことを特徴とするプ
ラズマＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18312287U JPH0186227U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18312287U JPH0186227U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0186227U true JPH0186227U (ja) | 1989-06-07 |
Family
ID=31474554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18312287U Pending JPH0186227U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0186227U (ja) |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP18312287U patent/JPH0186227U/ja active Pending