JPH0186230U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0186230U JPH0186230U JP18140587U JP18140587U JPH0186230U JP H0186230 U JPH0186230 U JP H0186230U JP 18140587 U JP18140587 U JP 18140587U JP 18140587 U JP18140587 U JP 18140587U JP H0186230 U JPH0186230 U JP H0186230U
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- JP
- Japan
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- wafer boat
- tube
- cantilever tube
- cantilever
- support arm
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案のウエハ搬送装置の実施例を
示す斜視図、第２図は第１図に示したウエハ搬送
装置における支持アームの移動を示す図、第３図
は第１図に示したウエハ搬送装置に付設される作
業台および支持アームの一部を示す斜視図、第４
図はカンチレバーチユーブおよび支持レバーのウ
エハボートの受け渡しを示す図、第５図はプロセ
スチユーブに対するカンチレバーチユーブの移動
を示す図である。 ２…カンチレバーチユーブ、４…切欠部、６…
ウエハボート、１２…プロセスチユーブ、３２…
半導体ウエハ、３４…支持アーム、３８…第１の
移動機構、４０…第２の移動機構。
示す斜視図、第２図は第１図に示したウエハ搬送
装置における支持アームの移動を示す図、第３図
は第１図に示したウエハ搬送装置に付設される作
業台および支持アームの一部を示す斜視図、第４
図はカンチレバーチユーブおよび支持レバーのウ
エハボートの受け渡しを示す図、第５図はプロセ
スチユーブに対するカンチレバーチユーブの移動
を示す図である。 ２…カンチレバーチユーブ、４…切欠部、６…
ウエハボート、１２…プロセスチユーブ、３２…
半導体ウエハ、３４…支持アーム、３８…第１の
移動機構、４０…第２の移動機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 開口端の下部に形成された切欠部の縁部間にウ
エハボートを支持して移動し、ウエハボートをプ
ロセスチユーブに対して搬出入するカンチレバー
チユーブと、 前記カンチレバーチユーブに対応して前記ウエ
ハボートを支持する支持アームと、 この支持アームを移動させて前記カンチレバー
チユーブの移動位置でカンチレバーチユーブとウ
エハボートの受け渡しを行う移動機構とを備えた
ことを特徴とするウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18140587U JPH0186230U (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18140587U JPH0186230U (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0186230U true JPH0186230U (ja) | 1989-06-07 |
Family
ID=31472889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18140587U Pending JPH0186230U (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0186230U (ja) |
-
1987
- 1987-11-28 JP JP18140587U patent/JPH0186230U/ja active Pending