JPH0260246U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0260246U JPH0260246U JP1988139704U JP13970488U JPH0260246U JP H0260246 U JPH0260246 U JP H0260246U JP 1988139704 U JP1988139704 U JP 1988139704U JP 13970488 U JP13970488 U JP 13970488U JP H0260246 U JPH0260246 U JP H0260246U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction nozzle
- nozzle holder
- transport
- holds
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の実施例１を示す概念図、第２
図は本考案の実施例２を示す概念図、第３図は従
来のペレツト搬送部を示す概念図である。 １……吸着ノズル、２……搬送アーム、３……
吸着ノズルホルダ、４……コイルバネ、５……上
下スライドユニツト、６……フツク、６ａ……マ
イクロメータヘツド、７……電磁石、８……偏芯
カム、９……レバー、１０……バネフツク位置。
図は本考案の実施例２を示す概念図、第３図は従
来のペレツト搬送部を示す概念図である。 １……吸着ノズル、２……搬送アーム、３……
吸着ノズルホルダ、４……コイルバネ、５……上
下スライドユニツト、６……フツク、６ａ……マ
イクロメータヘツド、７……電磁石、８……偏芯
カム、９……レバー、１０……バネフツク位置。
Claims (1)
- 半導体素子を真空吸着する吸着ノズルを備えた
搬送する装置において、先端部に上下スライドユ
ニツトを備えた搬送アームと、前記スライドユニ
ツトにより上下動可能に支持された吸着ノズルホ
ルダと、搬送アームに設けられ上下方向に高さ調
整可能なフツクと、前記フツクと吸着ノズルホル
ダを連結保持するコイルバネと、搬送アームと吸
着ノズルホルダの間に設けられ給電時に吸着ノズ
ルホルダを保持固定する電磁石とを有することを
特徴とする半導体素子搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988139704U JPH0260246U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988139704U JPH0260246U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0260246U true JPH0260246U (ja) | 1990-05-02 |
Family
ID=31403211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988139704U Pending JPH0260246U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0260246U (ja) |
-
1988
- 1988-10-26 JP JP1988139704U patent/JPH0260246U/ja active Pending