JPH018712Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH018712Y2 JPH018712Y2 JP4645084U JP4645084U JPH018712Y2 JP H018712 Y2 JPH018712 Y2 JP H018712Y2 JP 4645084 U JP4645084 U JP 4645084U JP 4645084 U JP4645084 U JP 4645084U JP H018712 Y2 JPH018712 Y2 JP H018712Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- housing
- drive shaft
- elastic body
- turbo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Support Of The Bearing (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
この考案は、機械的に気体分子を吹き飛ばし
て、超高真空を得ることができるようにしたター
ボ分子ポンプに関するものである。
て、超高真空を得ることができるようにしたター
ボ分子ポンプに関するものである。
(ロ) 従来技術
従来のこの種ターボ分子ポンプを第２図に沿つ
て説明する。１はロータ駆動用の駆動軸、２はこ
の駆動軸１を支承する軸受、３はこの軸受２に添
設された軸受押えで、軸受構体７は前記軸受２、
軸受押え３で構成されている。この軸受構体７は
スプリング４を介してハウジング６に対し駆動軸
芯方向には弾性支持されている。５はＯリングで
ある。この場合、真空中で支持されている軸受構
体７の熱は、スプリング４を介してハウジング６
に放熱されるのであるが、前記軸受構体７とハウ
ジング６の間に空間があるため駆動時に軸受およ
び駆動モータから発生した熱が、伝導によつてハ
ウジング６に逃げにくく、さらに軸受部２は真空
雰囲気となつているので対流または気体を介して
の伝導による熱の放散も少いため、輻射による熱
放散しか行なわれず、そのために軸受部分が高熱
となり、軸受寿命および潤滑用グリスの寿命が短
くなつてしまうという不都合や、駆動軸と焼ばめ
されたロータ翼の温度も高くなるので、到達圧力
が悪いという不都合もある。上記欠点を解消する
手段として軸受構体７とハウジング６間に液体を
介在させる手段が提案されているが、この場合で
もシールする手段が必要であり、このシール材が
こじてスプリング４の予圧力を狂わせる原因とな
つたり、流体なので取扱いが面倒であるなどの欠
点がある。
て説明する。１はロータ駆動用の駆動軸、２はこ
の駆動軸１を支承する軸受、３はこの軸受２に添
設された軸受押えで、軸受構体７は前記軸受２、
軸受押え３で構成されている。この軸受構体７は
スプリング４を介してハウジング６に対し駆動軸
芯方向には弾性支持されている。５はＯリングで
ある。この場合、真空中で支持されている軸受構
体７の熱は、スプリング４を介してハウジング６
に放熱されるのであるが、前記軸受構体７とハウ
ジング６の間に空間があるため駆動時に軸受およ
び駆動モータから発生した熱が、伝導によつてハ
ウジング６に逃げにくく、さらに軸受部２は真空
雰囲気となつているので対流または気体を介して
の伝導による熱の放散も少いため、輻射による熱
放散しか行なわれず、そのために軸受部分が高熱
となり、軸受寿命および潤滑用グリスの寿命が短
くなつてしまうという不都合や、駆動軸と焼ばめ
されたロータ翼の温度も高くなるので、到達圧力
が悪いという不都合もある。上記欠点を解消する
手段として軸受構体７とハウジング６間に液体を
介在させる手段が提案されているが、この場合で
もシールする手段が必要であり、このシール材が
こじてスプリング４の予圧力を狂わせる原因とな
つたり、流体なので取扱いが面倒であるなどの欠
点がある。
(ハ) 目的
この考案は、このような事情に着目してなされ
たもので、軸受構体の分解組立を容易にし、かつ
効率よく軸受温度を下げることにより、弾性体の
予圧力を確実に軸受部に伝えることができるとと
もに軸受寿命を伸ばすことができ、また潤滑用グ
リスの寿命を伸ばして補給間隔を長くでき、さら
に駆動軸と焼ばめされたロータ翼の昇温を防止す
ることができて到達圧力をよくすることができる
ターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
たもので、軸受構体の分解組立を容易にし、かつ
効率よく軸受温度を下げることにより、弾性体の
予圧力を確実に軸受部に伝えることができるとと
もに軸受寿命を伸ばすことができ、また潤滑用グ
リスの寿命を伸ばして補給間隔を長くでき、さら
に駆動軸と焼ばめされたロータ翼の昇温を防止す
ることができて到達圧力をよくすることができる
ターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
(ニ) 構成
この考案は、前記目的を実現するために、軸受
構体とハウジングとの間に熱容量が大きく、かつ
熱伝導性の良好な弾性体を設けるようにしたもの
である。
構体とハウジングとの間に熱容量が大きく、かつ
熱伝導性の良好な弾性体を設けるようにしたもの
である。
(ホ) 実施例
以下、この考案の一実施例を図面に沿つて説明
する。第１図はこの考案によるターボ分子ポンプ
の概略正断面図、第３図、第４図は他の実施例を
示す概略図であり、それぞれ共通のものは同じ番
号を付してある。
する。第１図はこの考案によるターボ分子ポンプ
の概略正断面図、第３図、第４図は他の実施例を
示す概略図であり、それぞれ共通のものは同じ番
号を付してある。
図において１６はロータ翼１６′を有するとと
もに駆動軸１の上部に焼ばめされているロータ、
８は駆動軸１の上部所定部位を回動自在に支承す
る上部軸受、９はロータ１６と上部軸受との間に
介在された軸受押え、２は前記のとおり駆動軸１
の下部所定部位を回動自在に支承する下部軸受、
１５は駆動軸１を回転させる駆動モータである。
前記上部軸受８と下部軸受２はそれぞれＯリング
５，１０を介してハウジング６に回転自在に支持
されている。３′は下部軸受２に添設されて軸受
構体７′を構成している軸受押え、１１はエアー
抜き、１２は軸受構体７′とハウジング６間に設
けられたシリコンバウンド弾性体である。このシ
リコンバウンド弾性体１２は熱伝導率の良好なシ
リコンバウンドＣにスプリング４を埋設し、熱容
量を大きくして構成した弾性体で、軸受部の放熱
効果を増すために軸受押え３′との接触面積を広
くするよう構成されている。
もに駆動軸１の上部に焼ばめされているロータ、
８は駆動軸１の上部所定部位を回動自在に支承す
る上部軸受、９はロータ１６と上部軸受との間に
介在された軸受押え、２は前記のとおり駆動軸１
の下部所定部位を回動自在に支承する下部軸受、
１５は駆動軸１を回転させる駆動モータである。
前記上部軸受８と下部軸受２はそれぞれＯリング
５，１０を介してハウジング６に回転自在に支持
されている。３′は下部軸受２に添設されて軸受
構体７′を構成している軸受押え、１１はエアー
抜き、１２は軸受構体７′とハウジング６間に設
けられたシリコンバウンド弾性体である。このシ
リコンバウンド弾性体１２は熱伝導率の良好なシ
リコンバウンドＣにスプリング４を埋設し、熱容
量を大きくして構成した弾性体で、軸受部の放熱
効果を増すために軸受押え３′との接触面積を広
くするよう構成されている。
以上のように構成することによつて、駆動モー
タ１０を駆動して駆動軸１を回転させ、これに固
着されているロータ１６を一体的に回転させる
時、駆動モータ１５、上部軸受８、下部軸受２に
発生する熱は、軸受押え３′からシリコンバウン
ド弾性体１２を伝つてハウジング６へ速やかに放
熱されるのである。
タ１０を駆動して駆動軸１を回転させ、これに固
着されているロータ１６を一体的に回転させる
時、駆動モータ１５、上部軸受８、下部軸受２に
発生する熱は、軸受押え３′からシリコンバウン
ド弾性体１２を伝つてハウジング６へ速やかに放
熱されるのである。
この考案は以上詳述したとおりであるが、その
構成は上記ならびに図示例に限定されず、例えば
弾性体は第３図のように、内部に金属粉Ｐを混入
させたゴム弾性体１３、あるいは第４図のよう
に、ゴム劣化を防止するために両端に金属片１４
をゴムライニングさせるとともにスプリング４を
埋設したゴム弾性体１３′とすることも可能であ
り、その他この考案の趣旨を逸脱しない範囲で
種々変形が考えられよう。
構成は上記ならびに図示例に限定されず、例えば
弾性体は第３図のように、内部に金属粉Ｐを混入
させたゴム弾性体１３、あるいは第４図のよう
に、ゴム劣化を防止するために両端に金属片１４
をゴムライニングさせるとともにスプリング４を
埋設したゴム弾性体１３′とすることも可能であ
り、その他この考案の趣旨を逸脱しない範囲で
種々変形が考えられよう。
(ヘ) 効果
この考案は以上説明したとおりであるから、簡
易にかつ速やかに軸受温度を下げることが可能と
なり、軸受寿命を伸ばすとともに、潤滑用グリス
の寿命を伸ばして補給間隔を長くでき、さらに駆
動軸と焼ばめされたロータ翼の昇温を防止するこ
とができて到達圧力を良くすることができるター
ボ分子ポンプを提供できるものである。
易にかつ速やかに軸受温度を下げることが可能と
なり、軸受寿命を伸ばすとともに、潤滑用グリス
の寿命を伸ばして補給間隔を長くでき、さらに駆
動軸と焼ばめされたロータ翼の昇温を防止するこ
とができて到達圧力を良くすることができるター
ボ分子ポンプを提供できるものである。
第１図はこの考案によるターボ分子ポンプの概
略正断面図、第２図は従来のターボ分子ポンプの
概略正断面図、第３図、第４図は他の実施例を示
す概略正断面図である。 １……駆動軸、２……下部軸受、３，３′……
軸受押え、４……スプリング、６……ハウジン
グ、７，７′……軸受構体、８……上部軸受、１
２……シリコンバウンド弾性体、１３，１３′…
…ゴム弾性体。
略正断面図、第２図は従来のターボ分子ポンプの
概略正断面図、第３図、第４図は他の実施例を示
す概略正断面図である。 １……駆動軸、２……下部軸受、３，３′……
軸受押え、４……スプリング、６……ハウジン
グ、７，７′……軸受構体、８……上部軸受、１
２……シリコンバウンド弾性体、１３，１３′…
…ゴム弾性体。
Claims (1)
- ロータ駆動用の駆動軸を支承するスラスト軸受
と、この軸受に添設した軸受押えとを有した軸受
構体をハウジングに対し駆割軸芯方向に弾性支持
させてなるターボ分子ポンプにおいて、前記軸受
構体と前記ハウジングとの間に熱容量が大きくか
つ熱伝導性の良好な弾性体を設けたことを特徴と
するターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4645084U JPS60157993U (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4645084U JPS60157993U (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60157993U JPS60157993U (ja) | 1985-10-21 |
| JPH018712Y2 true JPH018712Y2 (ja) | 1989-03-08 |
Family
ID=30560852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4645084U Granted JPS60157993U (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60157993U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2505628Y2 (ja) * | 1992-02-25 | 1996-07-31 | 利和 奥野 | 軸受の固定構造 |
| JP2010242822A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Ihi Corp | タービン発電機の軸受構造 |
-
1984
- 1984-03-29 JP JP4645084U patent/JPS60157993U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60157993U (ja) | 1985-10-21 |
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