JPS60252193A

JPS60252193A - タ−ボ分子ポンプ

Info

Publication number: JPS60252193A
Application number: JP10929184A
Authority: JP
Inventors: Hideto Nishikawa; 秀人西川
Original assignee: Shimadzu Corp; Shimazu Seisakusho KK
Current assignee: Shimadzu Corp; Shimazu Seisakusho KK
Priority date: 1984-05-28
Filing date: 1984-05-28
Publication date: 1985-12-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ〕産業上の利用分野本発明は、機械的に気体分子を吹き飛ばして超高真空を
得るようにしたターボ分子ポンプに関するものである。

ターボ分子ポンプでは、ロータを高速回転させるロータ
駆動軸の共振を防止するため、その駆動側で該ロータ駆
動軸を回転可能に支持する軸受をＯリングのようなタン
パを介してハウジングに弾性的に支承させるようにして
いるのが普通である。ところが、かかる構造のものでは
、高速回転に伴い発熱する軸受、特にその反ロータ側軸
端部の軸受とハウジングとの熱伝導個所が前記ダンパの
接触面に限定され、しかもダンパの熱伝導性が悪いこと
、また、ハウジング内に設けた真空室はポンプ駆動時に
高真空になり高真空下で軸受部分から非接触のハウシン
グに対しては僅かな輻射熱以外に有効な熱伝達も期待で
きないことから、軸受からハウジングへの放熱が非常に
悪く、これがため軸受部分が過熱して軸受寿命や潤滑用
グリスの寿命が短くなったり、さらに軸受部分からの熱
がロータに波及してポンプの排気特性に悪影響を及（よ
すなどの不都合な問題を招来している。

（ハ）目的もので、前記軸受部分の過熱を防止し前述した不都合を
解消することができるターホ分子ポンプを提供すること
を目的とする。

（ニ）構成本発明は、かかる目的な達成するために、前記ロータ駆
動軸の反ロータ側端部を支持する軸受の近傍に前記真空
室と隔離して大気開放領域を設け、この大気開放領域に
存在する大気に該軸受または該軸受に接触する熱伝導性
の高い部材を晒したことを特徴とする。

（ホ）実施例以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

図示しない同筒状のケーシングとこのケーシングと一体
をなすベース１ａからなるハウジング１の内部に、ポン
プ駆動時に高真空状態となる真空室２を形成している。

この真空室２は、前記ケーシング内部に形成したポンプ
室３と、ベース１ａ内部１こ形成した機械室４とからな
る。そして、ポンプ室３中には、第１図中略鉛直方向に
設けたロータ駆動軸５の上部５ａを配置し、該上部５ａ
にロータ６を外嵌固定し、該ロータ６のロータ翼６ａを
図示しないステータ質と交互に配置している。また、機
械室４中には、ロータ駆動軸５の下部５ｂを配置し、ロ
ータ６側に設けた軸受７および反ロータ側軸端部に設け
た軸受８によって回転可能に支持しつつモータ９によっ
て高速回転させるようにしている。また、これら各軸受
７．８とハウジング１との間にはダンパとして０リング
１１．１２をそれぞれ介設し、該軸受７．８をハウジン
グ１によって弾性的に支承するようにしている。また、
ハウジング１の底壁１ａにバネ１３を配設するとともに
この／ヘネ１３と前記軸受８との間に熱伝導性の高い軸
受押え部材１４を介設して、前記軸受８に該軸受押え部
材１４を当接させ／ヘネ１３の押圧力によってアキシャ
ル方向へ押圧させている。なお、かかる抑圧によって軸
受７はその上端側がハウジング１に係止面１５において
接触するようになっている。また、１６は真空室２内の
気体を排出させる排気孔である。

このようなポンプにおいて、前記真空室２を形成する機
械室４の前記軸受押え部材１４の外周にシール用のＯリ
ング１７を介設し、該０リング１７によって該機械室４
の該０リング１７より下側の空間を上側の空間から隔離
して大気開放領域１８を設けている。そして、前記ハウ
ジング１の底壁１ａ’に孔１９を穿設し、該孔１９を介
して前記大気開放領域１８とハウジング１外部とを連通
させて大気が流出入するようにしている。したかって、
前記軸受押え部材１４の下端部が該大気開放領域１８中
の大気に晒されるようになっている。

次に、この実施例の作動を説明する。

モータ９によりロータ駆動軸５を高速回転させると、ロ
ータ６のロータｉ６ａが一体に高速回転し、図示しない
被排気容器中の気体をポンプ内に吸込み、ポンプ室３を
介して排気孔１６からインプ外へ排気する。このとき、
真空室２をなすポンプ室３および機械室４中の気体も排
気されるので、該ポンプ室３および祷緘宝４を士窩育舎
升能〉なる。また、この排気時にはロータ駆動軸５の高
速回転により軸受８に摩擦熱が発生する。しかし、かか
る熱は熱伝導性の高い軸受押え部材１４に伝導され、さ
らに、該軸受押え部材１４の下端部は大気開放領域１８
中において大気に晒されているので、該軸受押え部材１
４に伝導された熱は大気に伝達され、孔１９からハウジ
ング１外へ放ｒｔｊ、される。したがって、従来のよう
な放熱が悪いために軸受８の寿命が短くなる等といった
不都合を解消することができる。なお、軸受７はハウジ
ング１に接触しているので過熱は生じにくく、したがっ
て短寿命化等の問題は少ない。

なお、本発明は前記実施例に限られないのは勿論であり
、例えば第２図に示すように、ハウジング２１のベース
２１ａの底壁２１ａ″と軸受押え部材２２どの間にベロ
ーズ２３を介設し、該ベローズ２３によって真空室２４
から隔離して大気開放領域２５を形成し、孔２６から大
気を流出入させて該大気に晒した軸受押え部材２２を冷
却するようにしてもよい。なお、２７は反ロータ側の軸
受、２８はロータ駆動軸、２９はタンパである。また、
第３図に示すように、ダンパ３１にシール機能も兼備さ
せるとともにハウジング３２の下端側壁に孔３３を穿設
し、該ダンパ３１とＯリング１７により真空室３４か、
ら隔離される大気開放領域３５に軸受押え部材３６とと
もに反ロータ側の軸受３７も直接晒すようにしたもので
あってもよい。なお、３８はロータ駆動軸、３９はバス
である。

さらに、第４図に示すように、タンパ機能とシール機能
を兼ねる上下のダイヤフラム４１によって大気開放領域
４２を真空室４３と隔離して設け、該大気開放領域４２
中にロータ駆動軸４４の下端４４ａとこれを支持する反
ロータ側の軸受４５および該軸受４５を囲繞する軸受押
え部材４・６を配設し、ハウジング４７の下端側壁に穿
設した孔４８を介して前記大気開放領域４２に大気を流
出入させて該大気に前記軸受押え部材４６を晒すように
したものも本発明に含まれる。なお、４９はバネである
。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可
能である。

（へ）効果以上、説明したように、本発明は、ロータ駆動軸の反ロ
ータ側の端部を支持する軸受の過熱を防止でき、軸受や
潤滑用グリスの短寿命化、さらにはポンプ排気特性の悪
化といった不都合を防止することができるターボ分子ポ
ンプを提供できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図、第２図は
本発明の他の実施例の要部を示す断面図、第３図は本発
明のさらに他の実施例の要部を示す断面図、第４図は本
発明のさらに他の実施例の要部を示す断面図である。 ■、２１．３２．４７−拳ψハウジング？、２４．３４
．４３・拳争汀六′１５．２８．３８．４４譬Φ・ロータ駆動軸６・・−ロー
タ８．２７，３７．４５−−φ反ロータ側軸受１４．２２
．３６．４６＠・１１＠受押え部材１８２５．３５，４
２・１１−大気開放領域代理人　弁理士　赤澤−セ第１図６− 第２図斧第３図

Claims

【特許請求の範囲】

ロータ駆動軸を回転可能に支持する軸受と、この軸受を
ダンパを介して支承するハウシングと、このハウジング
内に設けられ駆動時に高真空状態となる真空室とを具備
してなるターボ分子ポンプにおいて、前記ロータ駆動軸
の反ロータ側端部を支持する軸受の近傍に前記真空室と
隔離して大気開放領域を設け、この大気開放領域に存在
する大気に該軸受または該軸受に接触する熱伝導性の高
い部材を晒したことを特徴とするターボ分子ポンプ。