JPH018948Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はセラミツク製電子部品の製造等に使用
されるプツシヤー式トンネル炉に関し、詳しくは
プツシヤーを利用することにより搬送路上に並置
された複数の被焼成物を順次搬送して高温加熱処
理するプツシヤー式トンネル炉に関するものであ
る。

従来の技術 セラミツク製電子部品、例えば積層セラミツク
コンデンサの製造では、セラミツク粉末、バイン
ダ及び溶剤を混合した泥状物を薄膜状に成形する
と共に乾燥させて溶剤を除去し、その後長尺な薄
膜状シートを略正方形に打ち抜き加工してスクリ
ーン印刷法等によりシート上に導電ペーストを所
定のパターンに印刷する。この電極パターンを形
成した複数枚の薄膜状シートを積層して圧着し、
この積層体を切断して多数個のチツプ部品を形成
する。更に分割された多数個のチツプ部品を高温
で加熱処理し、内部に含有するバインダを除去す
ると共にセラミツク粉末を焼成する。この焼成
後、外部電極等を上記チツプ部品に取付けること
により積層セラミツクコンデンサが製品化され
る。

ところで上述した積層セラミツクコンデンサ等
のセラミツク製電子部品の製造において前記チッ
プ部品を加熱処理するに際しては、例えばプツシ
ヤー式トンネル炉等の加熱炉が使用される。この
プツシヤー式トンネル炉の具体例を第７図及び第
８図を参照しながら説明すると、同図に於いて、
１は長尺な加熱炉で、図示しないが加熱炉１の上
下部或いは左右側壁部にはヒータ棒等の加熱手段
が設けられている。２は加熱炉１に設けられた環
状の搬送路で、加熱炉１内部の搬送炉の搬入口３
側と搬出口４側とは加熱炉１外部の搬送路によつ
て連結されている。５ａ〜５ｄは上記環状の搬送
路２の四隅ポジシヨンP₁〜P₄の近傍に配設した
プツシヤーで、各プツシヤー５ａ〜５ｄはシリン
ダ（図示せず）の作動により突出退入する。６，
６…は耐熱性材料、例えばセラミツク等からなる
台板で、この台板６，６…は所定の枚数だけ搬送
路２上に並置されている。また各台板６，６…上
には、前述した積層セラミツクコンデンサのチツ
プ部品等の被焼成物７，７…を収納した、アルミ
ナ等からなる針状の収納器８，８…が複数個（図
では４個）載置されている。

上記プツシヤー式トンネル炉の動作例を説明す
ると、まず搬送路２上の供給ポジシヨンP₀にて
台板６上に被焼成物７，７…が供給されると、各
プツシヤー５ａ〜５ｄをタイミング制御して順次
突出作動させ、上記プツシヤー５ａ〜５ｄにより
搬送路２の四隅ポジシヨンP₁〜P₄にて台板６，
６…の搬送方向を直交する方向に変更しながら、
被焼成物７，７…を載置した台板６，６…を順次
加熱炉１の搬入口３から炉内へ搬入する。加熱炉
１内に搬入された被焼成物７，７…は搬送路２上
を移送されながら加熱される。この時加熱炉１内
の温度分布は、該加熱炉１が長尺なため搬出入口
３，４近傍の両端部では比較的低い温度で、加熱
炉１の略中央部では高温度に設定されている。そ
して加熱炉１の搬出口４から搬出された処理済の
被焼成物７，７…を載置した台板６，６…が、プ
ツシヤー５ａ〜５ｄにより移送されて搬送路２上
の排出ポジシヨンP₀′に達すると、台板６，６…
から被焼成物７，７…が取り出される。

このプツシヤー式トンネル炉を使用した焼成工
程時に、上記加熱炉１内の温度プロフアイル（温
度時間変化）を測定するに際しては、通常熱電対
を使用して該熱電対を被焼成物７，７…と共に加
熱炉１内で移送させることにより行われる。即
ち、第９図に示すように加熱炉１の上部内部空間
を利用するため、加熱炉１の搬入口３の手前で予
め、熱電対９を被焼成物７，７の上方に配置した
状態で図示しないが該熱電対９を台板６，６…に
適宜の手段で固定すると共に、熱電対９の先端部
９ａを炉内の温度測定位置に応じて適宜屈曲成形
させておく。この状態でプツシヤー５ｂにより合
板６，６…が加熱炉１内に搬入されて加熱炉１内
の搬送路２上を移送され、上記熱電対９が加熱炉
１の上部円部空間に挿入配置された状態で熱電対
９の先端部９ａが加熱炉１内を移動する。上記熱
電対９の基端部には記録計（図示せず）が接続さ
れており、熱電対９の先端部９ａの移動に伴つて
検出された炉内の温度プロフアイルは記録計にて
測定される。

考案が解決しようとする問題点 上記プツシヤー式トンネル炉を使用した焼成工
程にて炉内の温度プロフアイルを測定するに際し
ては、熱電対９を台板６，６…に固定するため該
熱電対９が被焼成物７，７…に近接し、そのため
熱電対９がある箇所で引つかかり熱電対９の先端
部９ａが位置ずれして測定精度が低下する虞があ
り、上記熱電対９が被焼成物７，７…に接触して
被焼成物７，７…を崩すこともあつた。また逆に
炉内で被焼成物７，７…が崩れた場合、該被焼成
物７，７…が熱電対９に引つかかつて炉内で被焼
成物７，７…がつまる原因となつた。更に加熱炉
１の搬入口３の手前で上記熱電対９を台板６，６
…上に固定する際、及び加熱炉１の搬出口４にて
熱電対９を台板６，６…上から取り外す際に人手
を要するため自動化に困難性を伴つていた。

問題点を解決するための手段 本考案は上記問題点に鑑み提案されたもので、
プツシヤー式トンネル炉における炉内の温度プロ
フアイル測定を容易にしようとするものであり、
その技術的手段は、被焼成物を載置した複数の台
板を長尺な加熱炉内の搬送路上に並置し、プツシ
ヤーの突出作動により台板を順次加熱炉内で移送
すると共に、加熱炉内に挿入配置した熱電対を台
板と共に移動させて炉内の温度分布を測定するも
のにおいて、上記加熱炉内の上部に耐熱性のワイ
ヤを台板の移送方向に沿つて走行可能に張設し、
上記ワイヤの一部に熱電対を固定することにより
熱電対をワイヤに沿つて挿入配置すると共に該熱
電対の先端部をワイヤに吊下保持するようなした
ものである。

実施例 以下に本考案を第７図及び第８図に示すプツシ
ヤー式トンネル炉に適用した一実施例を第１図乃
至第５図を参照しながら説明する。第７図乃至第
９図と同一部分には同一参照符号を付し、その説
明を省略する。第１図乃至第３図に於いて、１０
は搬送路２の四隅ポジシヨンP₂，P₃間の上方で
プーリー１１，１１に纒掛けた無端状の耐熱性ワ
イヤ（以下単にワイヤと称す）で、このワイヤ１
０は加熱炉１内の上部で台板６，６…の移送方向
に沿つて走行可能に張設されている。

１２は上記ワイヤ１０と同様に加熱炉１内の上
部に台板６，６…の移送方向に沿つて挿入配置さ
れる熱電対で、供給スプール１３に巻き取られた
熱電対１２を上記ワイヤ１０の一部に固定するこ
とにより熱電対１２の先端部１２ａをワイヤ１０
に吊下保持する。尚、加熱炉１内の上部に張設さ
れたワイヤ１０及び該ワイヤ１０に沿つて挿入配
置される熱電対１２は、加熱炉１の天井部に台板
６，６…の移送方向に沿つて設けられた溝１４に
収納され、上記台板６，６…の移送方向と直交す
る方向にワイヤ１０及び熱電対１２が位置ずれす
ることを防止している。

このプツシヤー式トンネル炉では、第７図にも
示すように搬送路２上の供給ポジシヨンP₀にて
台板６上に被焼成物７，７…が供給されると、従
来要領と同様にプツシヤー５ａ〜５ｄの突出作動
により被焼成物７，７…を載置した台板６，６…
を順次加熱炉１に搬入する。そして加熱炉１に搬
入された台板６，６…上の被焼成物７，７…は加
熱炉１内の搬送路２上を移送されながら加熱さ
れ、更に加熱炉１の搬出口４から搬出されて搬送
路２上の排出ポジシヨンP₀′に達すると、台板６，
６…上から処理済の被焼成物７，７…が取り出さ
れる。

上記プツシヤー式トンネル炉を使用した焼成工
程時に、上記加熱炉１内の温度プロフアイルを測
定するに際しては、まず第４図に示すように熱電
対１２の先端部が１２ａが加熱炉１内の所望の温
度測定位置に配置されるように吊下保持した状態
でプーリー１１，１１を回転駆動させてワイヤ１
０を、加熱炉１の天井部に形成した溝１４内で第
板６，６…の移送方向に走行させる。このワイヤ
１０の走行速度はプツシヤー５ａ〜５ｄによる台
板６，６…の移送速度と完全に一致させる。これ
によりプツシヤー５ａ〜５ｄの突出作動で台板
６，６…を加熱炉１に搬入すると共に、ワイヤ１
０に沿つて熱電対１２を加熱炉１の溝１４に挿入
させる。第２図及び第３図にも示すように上記熱
電対１２が溝１４に挿通されながら、該熱電対１
２の先端部１２ａはワイヤ１０から吊下保持され
た状態で所望の温度測定位置を保ちながら加熱炉
１内を台板６，６の移送と同期して移動する。上
記熱電対１２の基端部には従来要領と同様に記録
計（図示せず）が接続されており、熱電対１２の
先端部１２ａの移動に伴つ検出された温度プロフ
アイルは記録計にて測定される。そして第５図に
示すように加熱炉１の搬出口４から処理済の被焼
成物７，７…を載置した台板６，６…を搬出する
と共に、熱電対１２の先端部１２ａに接続する台
板６が搬送路２の四隅ポジシヨンP₃に達すると
上記熱電対１２の先端部１２ａが搬送路２から逃
げるため、熱電対１２にじやまされることなくプ
ツシヤー５ｃにより台板６，６…を搬出方向と直
交する方向に移送することができる。熱電対１２
の回収は熱電対１２の先端部１２ａを適宜の手段
にてワイヤ１０に掛止してプーリー１１，１１を
逆回転駆動させることにより加熱炉１の搬入口３
側へ移送して初期位置に復帰させる。

尚、上記実施例では熱電対１２をワイヤ１０の
一部に固定し、熱電対１２の先端部１２ａをワイ
ヤ１０から吊下保持して先端部１２ａを加熱炉１
内の温度測定位置に配置し、この状態でワイヤ１
０を台板６，６…の移送と同期させて走行させて
いるが、本考案はこれに限定されることなく、第
６図に示すようにワイヤ１０から吊下保持された
熱電対１２′の先端部１２a′を一旦台板６，６間
に挾み込んだ状態で加熱炉１内の温度測定位置に
配置し、上記ワイヤ１０を纒掛けしたプーリー１
１，１１に駆動源を設けず、台板６，６…を移送
させることにより該台板６，６間に挾持した熱電
対１２′の先端部１２a′を牽引するようにして加
熱炉１内を移動させるようにしてもよい。

また前記実施例では加熱炉１の天井部に溝１４
を設け、該溝１４内にワイヤ１０及び熱電対１
２，１２′を収納させて台板６，６…の搬送方向
と直交する方向への位置ずれを防止しているが、
上記ワイヤ１０の張設状態及び走行状態が上記位
置ずれを起こさないような状態に保たれているな
らば、必ずしも上記溝１４を設ける必要もない。

考案の効果 本考案によれば、熱電対により炉内の温度プロ
フアイルを測定するに際し、上記熱電対の先端部
を、加熱炉内の上部に張設したワイヤから吊下保
持した状態で熱電対を移動させるため、従来のよ
うに熱電対を台板上に固定する必要がなく、且
つ、加熱炉から搬出された台板の移送に支障なく
上記加熱炉から出てくる熱電対を自動的に停止さ
せることが可能となるので作業者が不要となり自
動化が実現容易となる。また熱電対はワイヤと共
に加熱炉内の上部に張設されているため、台板上
の被焼成物に近接しないので熱電対が被焼成物に
接触して台板上の被焼成物を崩す虞もなく、更に
熱電対自体も引つかかることがないので、温度プ
ロフアイル測定を容易に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第５図は本考案に係るプツシヤー式
トンネル炉の一実施例を説明するためのもので、
第１図はプツシヤー式トンネル炉を示す側面図、
第２図は第１図の要部拡大断面図、第３図は第２
図のＡ−Ａ線に沿う側断面図、第４図は加熱炉の
搬入口側を示す部分斜視図、第５図は加熱炉の搬
出口側を示す部分斜視図、第６図は本考案の他の
実施例を示す要部拡大断面図である。第７図は従
来のプツシヤー式トンネル炉の具体例を示す平面
図、第８図は第７図のＢ−Ｂ線に沿う側断面図、
第９図は温度プロフアイル測定時における加熱炉
内を示す要部拡大断面図である。 １……加熱炉、２……搬送炉、５ａ〜５ｄ……
プツシヤー、６……台板、７……被焼成物、１０
……ワイヤ、１２，１２′……熱電対、１２ａ，
１２a′……先端部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被焼成物を載置した複数の台板を長尺な加熱炉
   内の搬送路上に並置し、プツシヤーの突出作動に
   より台板を順次加熱炉内で移送すると共に、加熱
   炉内に挿入配置した熱電対を台板と共に移動させ
   て炉内の温度分布を測定するものにおいて、上記
   加熱炉内の上部に耐熱性のワイヤを台板の移送方
   向に沿つて走行可能に張設し、上記ワイヤの一部
   に熱電対を固定することにより熱電対をワイヤに
   沿つて挿入配置すると共に該熱電対の先端部をワ
   イヤに吊下保持するようになしたことを特徴とす
   るプツシヤー式トンネル炉。