JPH0123111Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はセラミツク製電子部品の製造等に使用
されるプツシヤー式トンネル炉に関し、詳しくは
プツシヤーを利用することにより搬送路上に並置
された複数の被焼成物を順次搬送して高温加熱処
理するプツシヤー式トンネル炉に関するものであ
る。

従来の技術 セラミツク製電子部品、例えば積層セラミツク
コンデンサの製造では、セラミツク粉末、バイン
ダ及び溶剤を混合した泥状物を薄膜状に成形する
と共に乾燥させて溶剤を除去し、その後長尺な薄
膜状シートを略正方形に打ち抜き加工してスクリ
ーン印刷法等によりシート上に電極を導電ペース
トにて所定のパターンにて印刷する。この電極を
形成した複数枚の薄膜状シートを積層して圧着
し、この積層体を切断して多数個のチツプ部品を
形成する。更に分割された多数個のチツプ部品を
高温で加熱処理し、内部に含有するバインダを除
去すると共にセラミツク粉末を焼成する。この焼
成後、外部電極等を上記チツプ部品に取付けるこ
とにより積層セラミツクコンデンサが製品化され
る。

ところで上述した積層セラミツクコンデンサ等
のセラミツク製電子部品の製造において前記チツ
プ部品を加熱処理するに際しては、例えばプツシ
ヤー式トンネル炉等の加熱炉が使用される。この
プツシヤー式トンネル炉の具体例を第４図及び第
５図を参照しながら説明すると、同図に於いて、
１は長尺な加熱炉で、図示しないが加熱炉１の上
下部或いは左右側壁部にはヒータ棒等の加熱手段
が設けられている。２は加熱炉１に設けられた環
状の搬送路で、加熱炉１内部の搬送路の搬入口３
側と搬出口４側とは加熱炉１外部の搬送路によつ
て連結されている。５ａ〜５ｄは上記環状の搬送
路２の四隅ポジシヨンP₁〜P₄の近傍に配設した
プツシヤーで、プツシヤー５ａ〜５ｄはシリンダ
（図示せず）の作動により突出退入する。６，６
…は耐熱性材料、例えばセラミツク等からなる台
板で、この台板６，６…は所定の枚数だけ搬送路
２上に並置されている。また各台板６，６…上に
は、前述した積層セラミツクコンデンサのチツプ
部品等の被焼成物７，７…を収納した、アルミナ
等からなる鉢状の収納器８，８…が複数個（図で
は４個）載置されている。

上記プツシヤー式トンネル炉の動作例を説明す
ると、まず搬送路２上の供給ポジシヨンP₀にて
台板６上に被焼成物７，７…が供給されると、各
プツシヤー５ａ〜５ｄをタイミング制御して順次
突出作動させ、上記プツシヤー５ａ〜５ｄにより
搬送路２の四隅ポジシヨンP₁〜P₄にて台板６，
６…の搬送方向を直交する方向に変更しながら、
被焼成物７，７…を載置した台板６，６…を順次
加熱炉１の搬入口３から炉内へ搬入する。加熱炉
１内に搬入された被焼成物７，７…は搬送路２上
を移送されながら加熱される。この時加熱炉１内
の温度分布は、該加熱炉１が長尺なため搬出入口
３，４近傍の両端部では比較的低い温度で、加熱
炉１の略中央部では高温度に設定されている。そ
して加熱炉１の搬出口４からの搬出された処理済
の被焼成物７，７…を載置した台板６，６…が、
プツシヤー５ａ〜５ｄにより移送されて搬送路２
上の排出ポジシヨンP₀′に達すると、台板６，６
…から被焼成物７，７…が取り出される。

このプツシヤー式トンネル炉を使用した焼成工
程時に、上記加熱炉１内の温度プロフアイル（温
度時間変化）を測定するに際しては、通常熱電対
を使用して該熱電対を被焼成物７，７…と共に加
熱炉１内で移送させることにより行われる。即
ち、第６図に示すように加熱炉１の上部内部空間
を利用するため、加熱炉１の搬入口３の手前で予
め熱電対９を被焼成物７，７の上方に配置した状
態で、図示しないが該熱電対９を台板６，６…に
適宜の手段で固定すると共に、熱電対９の先端部
９ａを炉内の温度測定位置に応じて適宜屈曲成形
させておく。この状態でプツシヤー５ｂにより台
板６，６…が加熱炉１内に搬入されて加熱炉１内
の搬送路２上を移送され、上記熱電対９が加熱炉
１の上部内部空間に挿入配置された状態で熱電対
９の先端部９ａが加熱炉１内を移動する。上記熱
電対９の基端部には記録計（図示せず）が接続さ
れており、熱電対９の先端部９ａの移動に伴つて
検出された炉内の温度プロフアイルは記録計にて
測定される。

考案が解決しようとする問題点 上記プツシヤー式トンネル炉を使用した焼成工
程にて炉内の温度プロフアイルを測定するに際し
ては、熱電対９が加熱炉１の天井面と被焼成物
７，７…との狭い上部内部空間に挿入配置される
ため、熱電対９がある箇所で引つかかり熱電対９
の先端部９ａが位置ずれして測定精度が低下する
虞があり、上記熱電対９が被焼成物７，７…に接
触して被焼成物７，７…を崩すこともあつた。ま
た逆に炉内で被焼成物７，７…が崩れた場合、該
被焼成物７，７…が熱電対９に引つかかつて炉内
で被焼成物７，７…がつまる原因となつた。更に
加熱炉１の搬入口３の手前で上記熱電対９を台板
６，６…上に固定する際、及び加熱炉１の搬出口
４にて熱電対９を台板６，６…上から取り外す際
に人手を要するため自動化に困難性を伴つてい
た。

問題点を解決するための手段 本考案は上記問題点に鑑み提案されたもので、
プツシヤー式トンネル炉における炉内の温度プロ
フアイル測定を容易にしようとするものであり、
その技術的手段は被焼成物を載置した複数の台板
を長尺な加熱炉内の搬送路上に並置し、プツシヤ
ーの突出作動により台板を順次加熱炉内で移送す
ると共に、加熱炉内に挿入配置した熱電対を台板
と共に移動させて炉内の温度分布を測定するもの
において、上記台板の移送方向に沿つて加熱炉内
の搬送路に溝を形成し、該溝内に先端部を屈曲成
形した熱電対を挿通させて先端部を２台の台板の
側面部にて挾持し、熱電対の先端部を上方に突出
させるようになしたものである。

実施例 以下に本考案を第４図及び第５図に示すプツシ
ヤー式トンネル炉に適用した実施例を第１図乃至
第３図を参照しながら説明する。第４図乃至第６
図と同一部分には同一参照符号を付しその説明を
省略する。本考案の特徴は加熱炉１に設けられた
環状の搬送路２′にある。即ち第１図乃至第３図
に示すように加熱炉１の内部の搬送路及び該加熱
炉１の搬出入口３，４の外部近傍の搬送路、即ち
四隅ポジシヨンP₂とP₃との間の搬送路２′に台板
６，６…の移送方向に沿つて溝１０を形成する。

第４図にも示すように搬送路２′上の供給ポジ
シヨンP₀にて台板６上に被焼成物７，７…が供
給されると、従来要領と同様にプツシヤー５ａ〜
５ｄの突出作動により被焼成物７，７…を載置し
た台板６，６…を順次加熱炉１に搬入する。そし
て加熱炉１に搬入された台板６，６…上の被焼成
物７，７…は加熱炉１内の搬送路２′上を移送さ
れながら加熱され、更に加熱炉１の搬出口４から
搬出されて搬送路２′上の排出ポジシヨンP₀′に達
すると、台板６，６…上から処理済の被焼成物
７，７…が取り出される。

このプツシヤー式トンネル炉を使用した焼成工
程時に、上記加熱炉１内の温度プロフアイルを測
定するに際しては、まず第２図に示すように熱電
対９′の先端部９a′を屈曲成形させて起立保持し
た状態で上記熱電対９′を搬送路２′の四隅ポジシ
ヨンP₂にて溝１０に挿入配置する。その後、先
行する台板６と後続の台板６との間で上記熱電対
９′の先端部９a′を挟み込んで先端部９a′を所定
の温度測定位置に配置し、更にプツシヤー５ｂの
突出作動により台板６，６…を加熱炉１に搬入す
ると共に、熱電対９′を搬送路２′の溝１０に挿通
させていく。第１図にも示すように熱電対９′が
溝１０に挿通されながら、該熱電対９′の先端部
９a′が台板６，６間から突出した状態で加熱炉１
内を移動する。上記熱電対９′の基端部には従来
要領と同様に記録計（図示せず）が接続されてお
り、熱電対９′の先端部９a′の移動に伴つて検出
された温度プロフアイルは記録計にて測定され
る。そして第３図に示すように加熱炉１の搬出口
４から処理済の被焼成物７，７…を載置した台板
６，６…を搬出すると共に、熱電対９′が搬送路
２′の溝１０に挿通され、且つ起立状態に屈曲成
形された熱電対９′の先端部９a′を挟持している
台板６，６の内後続する台板６が搬送路２′の四
隅ポジシヨンP₃までくると、上記熱電対９′の先
端部９a′が搬送路２′から逃げるため、熱電対
９′にじやまされることなくプツシヤー５ｃによ
り台板６，６…を搬出方向と直交する方向に移送
することができる。上記熱電対９′の回収も該熱
電対９′の先端部９a′を変形させて一直線状にし、
熱電対９′を溝１０に挿通させながら加熱炉１の
搬入口３側に引き戻したり、或いは熱電対９′の
先端部９a′をそのままの状態にして熱電対９′の
基端部を記録計から取り外し、熱電対９′を溝１
０に挿通させながら加熱炉１の搬出口４側に引き
出したりすれば、上記熱電対９′を容易に回収す
ることが可能である。

考案の効果 本考案によれば、熱電対により炉内の温度プロ
フアイルを測定するに際し、上記熱電対の先端部
を台板間に挟み込んだ状態で熱電対を移動させる
ため、従来のように熱電対を台板上に固定する必
要がなく、且つ、熱電対が搬送路の溝に挿通され
ているため、加熱炉から搬出された台板の移送に
支障なく上記加熱炉から出てくる熱電対が自動的
に停止するので作業者が不要となり自動化が実現
容易となる。また熱電対は搬送路の溝に挿通され
て台板の下方に位置するため、台板上の被焼成物
を崩すことなく、更に熱電対自体も引つかかるこ
ともないので、温度プロフアイル測定を容易に行
うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本考案に係るプツシヤー式
トンネル炉の一実施例を説明するためのもので、
第１図は加熱炉の一部を示す部分断面図、第２図
は加熱炉の搬入口側を示す部分斜視図、第３図は
加熱炉の搬出口側を示す部分斜視図である。第４
図は従来のプツシヤー式トンネル炉の具体例を示
す平面図、第５図は第４図のＡ−Ａ線に沿う側断
面図、第６図は温度プロフアイル測定時における
加熱炉内を示す部分断面図である。 １……加熱炉、２，２′……搬送路、５ａ〜５
ｄ……プツシヤー、６……台板、７……被焼成
物、９，９′……熱電対、９ａ，９a′……先端部、
１０……溝。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 被焼成物を戴置した複数の台板を長尺な加熱炉
   内の搬送路上に並置し、、プツシヤーの突出作動
   により台板を順次加熱炉内で移送すると共に、加
   熱炉内に挿入配置した熱電対を台板と共に移動さ
   せて炉内の温度分布を測定するものにおいて、 上記台板の移送方向に沿つて加熱炉内の搬送炉
   に溝を形成し、該溝内に先端部を屈曲成形した熱
   電対を挿通させて先端部を２台の台板の側面部に
   て挾持し、熱電対の先端部を上方に突出させるよ
   うになしたことを特徴とするプツシヤー式トンネ
   ル炉。