JPH0191509U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0191509U JPH0191509U JP18828487U JP18828487U JPH0191509U JP H0191509 U JPH0191509 U JP H0191509U JP 18828487 U JP18828487 U JP 18828487U JP 18828487 U JP18828487 U JP 18828487U JP H0191509 U JPH0191509 U JP H0191509U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- dicing
- dicing apparatus
- main body
- front side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Description
第１図は本考案が適用されたダイシング装置の
一実施例を示す斜視図、第２図は第１図に示した
ダイシング装置の平面図、第３図Ａ乃至Ｌはそれ
ぞれ搬送シーケンスを説明するために用いたダイ
シング装置の概略平面図、第４図乃至第６図は従
来のダイシング装置の概略平面図である。 １０……切断部、２０……洗浄部、３１……エ
レベータ、３３……ベルト搬送部、３５，３６…
…チヤツク部、３７……回転アーム、Ｐ１〜Ｐ４
……位置、Ｗ，Ｗ１〜Ｗ３……ワーク（ウエハ）
。
一実施例を示す斜視図、第２図は第１図に示した
ダイシング装置の平面図、第３図Ａ乃至Ｌはそれ
ぞれ搬送シーケンスを説明するために用いたダイ
シング装置の概略平面図、第４図乃至第６図は従
来のダイシング装置の概略平面図である。 １０……切断部、２０……洗浄部、３１……エ
レベータ、３３……ベルト搬送部、３５，３６…
…チヤツク部、３７……回転アーム、Ｐ１〜Ｐ４
……位置、Ｗ，Ｗ１〜Ｗ３……ワーク（ウエハ）
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 少なくとも加工前及び加工後のワークが位置す
る第１の位置、ワーク切断部へワークを供給する
ための第２の位置、及び切断されたワークを洗浄
する第３の位置を有し、前記第１の位置上の加工
前のワークを前記第２、第３の位置を経由して再
び第１の位置に戻すようにしたダイシング装置に
おいて、 前記第１の位置が装置本体の前面側に位置する
ように配置し、前記第１の位置に加工前のワーク
を供給しかつ第１の位置から加工後のワークを収
納するための１つのワーク供給収納部を、前記第
１の位置に対向する装置本体の前面に設けたこと
を特徴とするダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987188284U JPH0523291Y2 (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987188284U JPH0523291Y2 (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0191509U true JPH0191509U (ja) | 1989-06-15 |
| JPH0523291Y2 JPH0523291Y2 (ja) | 1993-06-15 |
Family
ID=31479386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987188284U Expired - Lifetime JPH0523291Y2 (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0523291Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05315444A (ja) * | 1992-05-11 | 1993-11-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ダイシング装置 |
| JPH10270389A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-10-09 | Seiko Seiki Co Ltd | ダイシング装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5534426A (en) * | 1978-08-31 | 1980-03-11 | Toshiba Corp | Wafer dicing device |
| JPS60214911A (ja) * | 1985-03-11 | 1985-10-28 | 株式会社日立製作所 | ダイシング装置 |
-
1987
- 1987-12-11 JP JP1987188284U patent/JPH0523291Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5534426A (en) * | 1978-08-31 | 1980-03-11 | Toshiba Corp | Wafer dicing device |
| JPS60214911A (ja) * | 1985-03-11 | 1985-10-28 | 株式会社日立製作所 | ダイシング装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05315444A (ja) * | 1992-05-11 | 1993-11-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ダイシング装置 |
| JPH10270389A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-10-09 | Seiko Seiki Co Ltd | ダイシング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0523291Y2 (ja) | 1993-06-15 |