JPH0196646U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0196646U JPH0196646U JP19419087U JP19419087U JPH0196646U JP H0196646 U JPH0196646 U JP H0196646U JP 19419087 U JP19419087 U JP 19419087U JP 19419087 U JP19419087 U JP 19419087U JP H0196646 U JPH0196646 U JP H0196646U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abnormal phenomenon
- ion implanter
- data file
- error code
- storing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims 11
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 claims 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図はこの考案の一実施例の構成を示すブロ
ツク図、第２図は同じくハードウエア構成を示す
ブロツク図、第３図はイオン注入装置の動作を示
すフローチヤート、第４図は推論の方法を概略図
である。 １……要求手段、２……受信手段、３……第１
の記憶手段、４……第２の記憶手段、５……推論
手段、６……表示手段。
ツク図、第２図は同じくハードウエア構成を示す
ブロツク図、第３図はイオン注入装置の動作を示
すフローチヤート、第４図は推論の方法を概略図
である。 １……要求手段、２……受信手段、３……第１
の記憶手段、４……第２の記憶手段、５……推論
手段、６……表示手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 異常現象発生時における各部の運転パラメータ
値を異常現象発生時データフアイルとして記憶保
持するとともに異常現象の種類を示すエラーコー
ドを記憶保持しかつ異常現象発生を示すメツセー
ジを表示するイオン注入装置に対してケーブルで
接続され、前記イオン注入装置との間で各種信号
の受け渡しを行うイオン注入装置用故障診断装置
であつて、 前記イオン注入装置の異常発生時に前記イオン
注入装置に対してエラーコードおよび異常現象発
生時データフアイルを要求する要求手段と、前記
イオン注入装置から送信されるエラーコードおよ
び異常現象発生時データフアイルを受信する受信
手段と、この受信手段により受信したエラーコー
ドおよび異常現象発生時データフアイルを記憶す
る第１の記憶手段と、前記イオン注入装置の故障
原因およびその復旧方法と異常現象の種類を示す
エラーコードおよび異常現象発生時における各部
の運転パラメータ値との関係を示す知識データベ
ースを記憶した第２の記憶手段と、前記第２の記
憶手段に記憶した知識データベースを元にして前
記第１の記憶手段に記憶されたエラーコードおよ
び異常現象発生時データフアイル中の異常現象発
生時における各部の運転パラメータ値から故障原
因およびその復旧方法を推定する推論手段と、こ
の推論手段の推定結果を表示する表示手段とを備
えたイオン注入装置用故障診断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19419087U JPH0196646U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19419087U JPH0196646U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0196646U true JPH0196646U (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=31484931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19419087U Pending JPH0196646U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0196646U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61206149A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-12 | Hitachi Ltd | イオン打込装置 |
-
1987
- 1987-12-21 JP JP19419087U patent/JPH0196646U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61206149A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-12 | Hitachi Ltd | イオン打込装置 |
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