JPH0196999A - 電子部品チップ整列装置 - Google Patents
電子部品チップ整列装置Info
- Publication number
- JPH0196999A JPH0196999A JP62255461A JP25546187A JPH0196999A JP H0196999 A JPH0196999 A JP H0196999A JP 62255461 A JP62255461 A JP 62255461A JP 25546187 A JP25546187 A JP 25546187A JP H0196999 A JPH0196999 A JP H0196999A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- alignment
- space
- wall surface
- entrance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、複数個の電子部品チップ(受動部品、能動
部品、その他、電気部品も含む。)を、それぞれ、所定
の方向に向けた整列状態とするための電子部品チップ整
列装置に関するもので、特に、このような電子部品チッ
プ整列装置内での複数個の電子部品チップの移動を円滑
にするための改良に関するものである。
部品、その他、電気部品も含む。)を、それぞれ、所定
の方向に向けた整列状態とするための電子部品チップ整
列装置に関するもので、特に、このような電子部品チッ
プ整列装置内での複数個の電子部品チップの移動を円滑
にするための改良に関するものである。
[関連の技術]
本件出願人は、先に出願した特願昭61−257926
号、特願昭62−96925号、等の出願において、電
子部品チップを供給するための装置に対して複数個の電
子部品チップを供給するために用いる電子部品チップ収
納カセットを提案した。
号、特願昭62−96925号、等の出願において、電
子部品チップを供給するための装置に対して複数個の電
子部品チップを供給するために用いる電子部品チップ収
納カセットを提案した。
上述の電子部品チップ収納カセットは、基本的には、複
数個の電子部品チップと、これら電子部品チップを収納
する収納空間を内部に備えるとともに電子部品チップを
排出するための排出口か収納空間に連通して形成された
、ケースと、排出口を閉じる開放可能な蓋と、を備えて
いる。このような電子部品チップ収納カセットは、その
まま、電子部品製造業者が電子部品チップを出荷する際
の包装形態として適用されるばかりでなく、電子部品チ
ップの需要者側においては、これを、そのままチップマ
ウント機に装着して、複数個の電子部品チップをチップ
マウント工程に供給するために適用することができる。
数個の電子部品チップと、これら電子部品チップを収納
する収納空間を内部に備えるとともに電子部品チップを
排出するための排出口か収納空間に連通して形成された
、ケースと、排出口を閉じる開放可能な蓋と、を備えて
いる。このような電子部品チップ収納カセットは、その
まま、電子部品製造業者が電子部品チップを出荷する際
の包装形態として適用されるばかりでなく、電子部品チ
ップの需要者側においては、これを、そのままチップマ
ウント機に装着して、複数個の電子部品チップをチップ
マウント工程に供給するために適用することができる。
第4図には、電子部品チップ収納カセット1(想像線で
示す。)を用いて、チップマウント工程を実施している
状態が断面図で示されている。
示す。)を用いて、チップマウント工程を実施している
状態が断面図で示されている。
カセット1は、そのまま、チップマウント機のホッパ2
に装着される。より詳細には、ホッパ2の開口3に対し
てカセット1の排出口を向けた状態で、カセット1をホ
ッパ2に対して固定し、カセット1の蓋を開放すれば、
カセット1の収納空間内に収納されていた複数個の電子
部品チップ4は、排出口からホッパ2内に供給される。
に装着される。より詳細には、ホッパ2の開口3に対し
てカセット1の排出口を向けた状態で、カセット1をホ
ッパ2に対して固定し、カセット1の蓋を開放すれば、
カセット1の収納空間内に収納されていた複数個の電子
部品チップ4は、排出口からホッパ2内に供給される。
ホッパ2は、通常、傾けられた状態とされ、その傾斜角
5は、たとえば45度程度に選ばれる。
5は、たとえば45度程度に選ばれる。
ホッパ2内に供給された電子部品チップ4は、まず、大
部屋6内に流れ込み、次いで、小部屋7内に入り込み、
最終的に、整列通路8に至る。整列通路8は、その内部
に複数個の電子部品チップ4が図示されているように、
複数個の電子部品チップ4を、それぞれ、所定の方向に
向けた整列状態で移動するように案内する機能を有して
おり、この機能を達成するために、整列通路8の断面寸
法は、各電子部品チップ4の断面寸法との関連で選ばれ
る。
部屋6内に流れ込み、次いで、小部屋7内に入り込み、
最終的に、整列通路8に至る。整列通路8は、その内部
に複数個の電子部品チップ4が図示されているように、
複数個の電子部品チップ4を、それぞれ、所定の方向に
向けた整列状態で移動するように案内する機能を有して
おり、この機能を達成するために、整列通路8の断面寸
法は、各電子部品チップ4の断面寸法との関連で選ばれ
る。
小部屋7は、整列通路8に連通し、かつ整列通路8の人
口9側に位置するとともに、整列通路8より大きな断面
を有する空間10を規定するものである。また、大部屋
6は、小部屋7の空間10に連通ずる空間11を規定す
るものであり、この空間1]の断面は小部屋7の空間1
0の断面より大きく選ばれている。
口9側に位置するとともに、整列通路8より大きな断面
を有する空間10を規定するものである。また、大部屋
6は、小部屋7の空間10に連通ずる空間11を規定す
るものであり、この空間1]の断面は小部屋7の空間1
0の断面より大きく選ばれている。
第5図には、小部屋6から整列通路8の入口9付近に至
るまでの構成が拡大斜視図で示されている。この第5図
および第4図かられかるように、整列通路8の入口9を
規定する一壁面12は、小部屋7の空間10を規定する
一壁面13と面一に延びている。そして、壁面13は、
溝の底面を形成する状態で大部屋6にまで延びている。
るまでの構成が拡大斜視図で示されている。この第5図
および第4図かられかるように、整列通路8の入口9を
規定する一壁面12は、小部屋7の空間10を規定する
一壁面13と面一に延びている。そして、壁面13は、
溝の底面を形成する状態で大部屋6にまで延びている。
また、整列通路8の入口9付近には、外部から圧縮空気
をたとえば間欠的に導入するための吹込通路14が設け
られる。この吹込通路14を介して導入される圧縮空気
は、整列通路8の入口9付近にある電子部品チップ4を
吹飛ばし、電子部品チップ4に対して撹拌作用を及ぼす
。すなわち、ホッパ2内での電子部品チップ4の流れを
考慮したとき、たとえば小部屋7の空間10から整列通
路8の入口9に至るとき、電子部品チップ4が通過する
経路の断面積が急激に減少することがわかる。そのため
、電子部品チップ4は、整列通路8の入口9を塞ぐ傾向
があり、電子部品チップ4の円滑な流れを阻害すること
があるが、このことを防止するため、吹込通路14から
、たとえば間欠的に圧縮空気が導入されるのである。
をたとえば間欠的に導入するための吹込通路14が設け
られる。この吹込通路14を介して導入される圧縮空気
は、整列通路8の入口9付近にある電子部品チップ4を
吹飛ばし、電子部品チップ4に対して撹拌作用を及ぼす
。すなわち、ホッパ2内での電子部品チップ4の流れを
考慮したとき、たとえば小部屋7の空間10から整列通
路8の入口9に至るとき、電子部品チップ4が通過する
経路の断面積が急激に減少することがわかる。そのため
、電子部品チップ4は、整列通路8の入口9を塞ぐ傾向
があり、電子部品チップ4の円滑な流れを阻害すること
があるが、このことを防止するため、吹込通路14から
、たとえば間欠的に圧縮空気が導入されるのである。
このようにして、カセット1から与えられた複数個の電
子部品チップ4は、大部屋6および小部屋7を経て、整
列通路8に至り、整列通路8の入口9に入り込むとき、
所定の方向に向けた整列状態とされ、整列通路8によっ
て案内されて整列通路8の出口15から排出される。出
口15から排出される電子部品チップ4は、所定の方向
に整列されているので、その後、この整列状態を崩さな
いように電子部品チップ4を取扱えば、チップマウント
工程を能率的に進めることができる。
子部品チップ4は、大部屋6および小部屋7を経て、整
列通路8に至り、整列通路8の入口9に入り込むとき、
所定の方向に向けた整列状態とされ、整列通路8によっ
て案内されて整列通路8の出口15から排出される。出
口15から排出される電子部品チップ4は、所定の方向
に整列されているので、その後、この整列状態を崩さな
いように電子部品チップ4を取扱えば、チップマウント
工程を能率的に進めることができる。
[発明が解決しようとする問題点コ
第5図は、その手前にある壁面が取除かれた状態で示さ
れている。すなわち、第5図において、参照番号「16
」で示した壁面に沿うように図示を省略した壁面が実際
には位置しており、この壁面によって、小部屋7および
整列通路8ならびに大部屋6が閉じられている。したが
って、小部屋7の空間10は、参照番号「17」で示し
た幅方向寸法を有していることになる。
れている。すなわち、第5図において、参照番号「16
」で示した壁面に沿うように図示を省略した壁面が実際
には位置しており、この壁面によって、小部屋7および
整列通路8ならびに大部屋6が閉じられている。したが
って、小部屋7の空間10は、参照番号「17」で示し
た幅方向寸法を有していることになる。
第5図において、3個の電子部品チップ4が横に並んだ
状態で図示されている。これら電子部品チップ4は、偶
然にも、各々の幅方向寸法の合計が、空間10の幅方向
寸法17と一致したため、幅方向寸法17を規定する壁
面間で互いに突張り合った状態となり、動きが阻害され
た状態となっている。このようないわゆる「ブリッジ現
象」が−互生じると、たとえ吹込通路14から圧縮空気
が導入されたとしても、このブリッジ現象を起こしてい
る電子部品チップ4の連なりをなかなか容品には崩すこ
とができない。
状態で図示されている。これら電子部品チップ4は、偶
然にも、各々の幅方向寸法の合計が、空間10の幅方向
寸法17と一致したため、幅方向寸法17を規定する壁
面間で互いに突張り合った状態となり、動きが阻害され
た状態となっている。このようないわゆる「ブリッジ現
象」が−互生じると、たとえ吹込通路14から圧縮空気
が導入されたとしても、このブリッジ現象を起こしてい
る電子部品チップ4の連なりをなかなか容品には崩すこ
とができない。
なお、上述の「ブリッジ現象」は、第5図に示したよう
な態様に限らず、幅方向寸法17と電子部品チップ4の
寸法との関係で、種々の態様のものが生じ得る。すなわ
ち、複数個の電子部品チップ4の長さ方向寸法、幅方向
寸法、厚み方向寸法の各々の組合わせが偶然に幅方向寸
法17と一致したときに発生しやすい。また、このよう
な「ブリッジ現象」は、空間10の幅方向寸法17との
関連においてのみ生じるとは限らず、高さ方向寸法18
または19との関連においても生じ得る。
な態様に限らず、幅方向寸法17と電子部品チップ4の
寸法との関係で、種々の態様のものが生じ得る。すなわ
ち、複数個の電子部品チップ4の長さ方向寸法、幅方向
寸法、厚み方向寸法の各々の組合わせが偶然に幅方向寸
法17と一致したときに発生しやすい。また、このよう
な「ブリッジ現象」は、空間10の幅方向寸法17との
関連においてのみ生じるとは限らず、高さ方向寸法18
または19との関連においても生じ得る。
もっとも、上述のような「ブリッジ現象」は、それほど
高い頻度で生じることはなく、通常、ppmオーダでし
か生じないが、−旦、このような「ブリッジ現象」が生
じると、整列通路8への電子部品チップ4の供給が不可
能または困難となり、チップマウント機等における稼動
率および信頼性を高めるためには、「ブリッジ現象」が
生じる確率は実質的に零とすることが望まれる。
高い頻度で生じることはなく、通常、ppmオーダでし
か生じないが、−旦、このような「ブリッジ現象」が生
じると、整列通路8への電子部品チップ4の供給が不可
能または困難となり、チップマウント機等における稼動
率および信頼性を高めるためには、「ブリッジ現象」が
生じる確率は実質的に零とすることが望まれる。
そこで、この発明は、上述したようなホッパに代表され
る電子部品チップ整列装置において、「ブリッジ現象」
の発生を全くまたはほとんどなくすことができるように
するための改良を図ろうとするものである。
る電子部品チップ整列装置において、「ブリッジ現象」
の発生を全くまたはほとんどなくすことができるように
するための改良を図ろうとするものである。
[問題点を解決するための手段]
この発明は、複数個の電子部品チップを、それぞれ、所
定の方向に向けた整列状態で移動するように案内する整
列通路と、前記整列通路に連通し、かつ前記整列通路の
入口側に前記整列通路より大きな断面を有する空間を規
定するとともに、複数個の電子部品チップを収納するた
めの部屋と、を備える、電子部品チップ整列装置に向け
られるものであって、上述した技術的課題を解決するた
め、次のような構成を備えることが特徴である。
定の方向に向けた整列状態で移動するように案内する整
列通路と、前記整列通路に連通し、かつ前記整列通路の
入口側に前記整列通路より大きな断面を有する空間を規
定するとともに、複数個の電子部品チップを収納するた
めの部屋と、を備える、電子部品チップ整列装置に向け
られるものであって、上述した技術的課題を解決するた
め、次のような構成を備えることが特徴である。
すなわち、前記空間を規定する複数の壁面のうち少なく
とも1つには、これと対向する壁面と平行にならないよ
うに、勾配がつけられたことを特徴とするものである。
とも1つには、これと対向する壁面と平行にならないよ
うに、勾配がつけられたことを特徴とするものである。
[作用コ
この発明によれば、勾配がつけられた壁面とこれと対向
する壁面との間においては、電子部品チップが「ブリッ
ジ現象」を生じようとするとき、少なくとも一方の壁面
に対しては、面接触せず、単に線接触あるいは点接触す
る状態になる。
する壁面との間においては、電子部品チップが「ブリッ
ジ現象」を生じようとするとき、少なくとも一方の壁面
に対しては、面接触せず、単に線接触あるいは点接触す
る状態になる。
[発明の効果]
このように、この発明によれば、勾配がつけられた壁面
とこれと対向する壁面との間において、電子部品チップ
が「ブリッジ現象」を生じようとするとき、少なくとも
一方の壁面に対しては、電子部品チップは線接触または
点接触の状態となるので、まず、「ブリッジ現象」自身
が生じにくくなるとともに、たとえ「ブリッジ現象」ら
しきものが生じたとしても、それを、たとえば、吹込通
路からの圧縮空気またはその他の外力等により容易に崩
すことができる。
とこれと対向する壁面との間において、電子部品チップ
が「ブリッジ現象」を生じようとするとき、少なくとも
一方の壁面に対しては、電子部品チップは線接触または
点接触の状態となるので、まず、「ブリッジ現象」自身
が生じにくくなるとともに、たとえ「ブリッジ現象」ら
しきものが生じたとしても、それを、たとえば、吹込通
路からの圧縮空気またはその他の外力等により容易に崩
すことができる。
したがって、当該電子部品チップ整列装置内における複
数個の電子部品チップの移動が円滑になり、整列通路を
介しての電子部品チップの供給を円滑に進めることがで
きる。したがって、この発明に係る電子部品チップ整列
装置をたとえばチップマウント機に適用した場合には、
チップマウント工程を高い稼動率および高い信頼性をも
って進めることができる。
数個の電子部品チップの移動が円滑になり、整列通路を
介しての電子部品チップの供給を円滑に進めることがで
きる。したがって、この発明に係る電子部品チップ整列
装置をたとえばチップマウント機に適用した場合には、
チップマウント工程を高い稼動率および高い信頼性をも
って進めることができる。
また、この発明の効果を得るために必要なことは、空間
を規定する複数の壁面のうち少なくとも1つに勾配をつ
けることだけである。したがって、この発明を実施する
ために特別なコストアップを招くことはない。
を規定する複数の壁面のうち少なくとも1つに勾配をつ
けることだけである。したがって、この発明を実施する
ために特別なコストアップを招くことはない。
[実施例]
第1図ないし第3図には、それぞれ、この発明の第1な
いし第3の実施例が示されている。これらの図面は、前
述した第5図に対応するもので、相当の部分には、同様
の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
いし第3の実施例が示されている。これらの図面は、前
述した第5図に対応するもので、相当の部分には、同様
の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
第1図に示した第1の実施例では、小部屋7の空間10
を規定する複数の壁面のうち奥の壁面20に勾配が付さ
れている。この勾配は、空間10の断面積が整列通路8
の入口9に近づくほど狭くなる方向に向けられているこ
とが好ましい。
を規定する複数の壁面のうち奥の壁面20に勾配が付さ
れている。この勾配は、空間10の断面積が整列通路8
の入口9に近づくほど狭くなる方向に向けられているこ
とが好ましい。
第2図に示した第2の実施例では、空間10を規定する
複数の壁面のうち、上の壁面21に勾配が付されている
。この壁面21に与えられる勾配も、空間10の断面積
が入日9に近づくほど狭くなる方向に向けられているこ
とが好ましい。
複数の壁面のうち、上の壁面21に勾配が付されている
。この壁面21に与えられる勾配も、空間10の断面積
が入日9に近づくほど狭くなる方向に向けられているこ
とが好ましい。
第3図に示した第3の実施例では、空間10を規定する
複数の壁面のうち、奥の壁面20および上の壁面21の
双方に、勾配が付されている。これら勾配も、空間10
の断面積が入口9に近づくほど狭くなる方向に向けられ
ている。なお、第3の実施例では、空間10の幅方向に
対しても高さ方向に対しても、電子部品チップが「ブリ
ッジ現象」を生じることを防止でき、また「ブリッジ現
象」を容易に崩すことができる。
複数の壁面のうち、奥の壁面20および上の壁面21の
双方に、勾配が付されている。これら勾配も、空間10
の断面積が入口9に近づくほど狭くなる方向に向けられ
ている。なお、第3の実施例では、空間10の幅方向に
対しても高さ方向に対しても、電子部品チップが「ブリ
ッジ現象」を生じることを防止でき、また「ブリッジ現
象」を容易に崩すことができる。
以上、この発明を、図示の実施例に関連して説明したが
、この発明の範囲内において、その他種々の変形例が可
能である。
、この発明の範囲内において、その他種々の変形例が可
能である。
たとえば、図示の実施例では、第4図に示すように、整
列通路8がその人口9を上方に位置させるように傾斜し
た状態で延び、整列通路8内の電子部品チップ4は、自
然重力の助けを借りて出口15に向かって移動するよう
に構成されたが、整列通路8が、たとえば水平方向に延
びるように向けられ、電子部品チップ4を出口15から
たとえば真空吸引等によって引き出すようにしてもよい
。
列通路8がその人口9を上方に位置させるように傾斜し
た状態で延び、整列通路8内の電子部品チップ4は、自
然重力の助けを借りて出口15に向かって移動するよう
に構成されたが、整列通路8が、たとえば水平方向に延
びるように向けられ、電子部品チップ4を出口15から
たとえば真空吸引等によって引き出すようにしてもよい
。
また、図示の実施例では、この発明に係る電子部品チッ
プ整列装置が第4図に示したホッパ2に適用される場合
について説明したが、たとえば、電子部品チップ収納カ
セット1自身に整列通路を備えるものを用い、この整列
通路に連通ずる部屋に関連してこの発明の特徴となる構
成を採用してもよい。
プ整列装置が第4図に示したホッパ2に適用される場合
について説明したが、たとえば、電子部品チップ収納カ
セット1自身に整列通路を備えるものを用い、この整列
通路に連通ずる部屋に関連してこの発明の特徴となる構
成を採用してもよい。
また、図示の実施例では、第4図に示すように、整列通
路8に連通ずる部屋として、まず小部屋7があり、この
小部屋7に連通して大部屋6が存在するものを例示した
が、小部屋7と大部屋6とに分割されることなく、1つ
の部屋から、直接、整列通路の人口に連通ずる構成であ
ってもよい。
路8に連通ずる部屋として、まず小部屋7があり、この
小部屋7に連通して大部屋6が存在するものを例示した
が、小部屋7と大部屋6とに分割されることなく、1つ
の部屋から、直接、整列通路の人口に連通ずる構成であ
ってもよい。
また、図示の実施例では、電子部品チップ4として直方
体状のものが意図されていたが、電子部品チップの形状
は任意であり、たとえば、円板状、円筒状、などであっ
てもよい。
体状のものが意図されていたが、電子部品チップの形状
は任意であり、たとえば、円板状、円筒状、などであっ
てもよい。
第1図は、この発明の第1の実施例の主要部を拡大して
示す斜視図である。第2図は、この発明の第2の実施例
の主要部を拡大して示す斜視図である。第3図は、この
発明の第3の実施例の主要部を拡大して示す斜視図であ
る。第4図は、この発明に係る電子部品チップ整列装置
の一例としてのホッパ2の縦断面図である。第5図は、
第1図ないし第3図に対応する図であって、この発明が
解決しようとする問題点を説明するためのものである。 図において、2はホッパ(電子部品チップ整列装置)、
4は電子部品チップ、7は小部屋(部屋)、8は整列通
路、9は入日、10は空間、12は入口9を規定する一
壁面、13は空間10を規定する一壁面、14は吹込通
路、20.21は勾配がつけられた壁面である。 第4図
示す斜視図である。第2図は、この発明の第2の実施例
の主要部を拡大して示す斜視図である。第3図は、この
発明の第3の実施例の主要部を拡大して示す斜視図であ
る。第4図は、この発明に係る電子部品チップ整列装置
の一例としてのホッパ2の縦断面図である。第5図は、
第1図ないし第3図に対応する図であって、この発明が
解決しようとする問題点を説明するためのものである。 図において、2はホッパ(電子部品チップ整列装置)、
4は電子部品チップ、7は小部屋(部屋)、8は整列通
路、9は入日、10は空間、12は入口9を規定する一
壁面、13は空間10を規定する一壁面、14は吹込通
路、20.21は勾配がつけられた壁面である。 第4図
Claims (5)
- (1)複数個の電子部品チップを、それぞれ、所定の方
向に向けた整列状態で移動するように案内する整列通路
と、 前記整列通路に連通し、かつ整列通路の入口側に前記整
列通路より大きな断面を有する空間を規定するとともに
、複数個の電子部品チップを収納するための部屋と、 を備える、電子部品チップ整列装置において、前記空間
を規定する複数の壁面のうち少なくとも1つには、これ
と対向する壁面と平行にならないように、勾配がつけら
れたことを特徴とする、電子部品チップ整列装置。 - (2)前記整列通路の入口を規定する一壁面は、前記空
間を規定する一壁面と面一に延びる、特許請求の範囲第
1項記載の電子部品チップ整列装置。 - (3)前記勾配は、前記空間の断面積が前記入口に近づ
くほど狭くなる方向に向けられる、特許請求の範囲第1
項または第2項記載の電子部品チップ整列装置。 - (4)前記整列通路の入口付近には、外部から圧縮空気
を導入するための吹込通路が設けられる、特許請求の範
囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の電子部品チッ
プ整列装置。 - (5)前記整列通路は、前記入口が上方に位置するよう
に傾斜した状態で延びる、特許請求の範囲第1項ないし
第4項のいずれかに記載の電子部品チップ整列装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62255461A JPH0680926B2 (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 電子部品チップ整列装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62255461A JPH0680926B2 (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 電子部品チップ整列装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0196999A true JPH0196999A (ja) | 1989-04-14 |
| JPH0680926B2 JPH0680926B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=17279087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62255461A Expired - Lifetime JPH0680926B2 (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 | 電子部品チップ整列装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680926B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0513100U (ja) * | 1991-07-30 | 1993-02-19 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品供給装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58170840U (ja) * | 1982-05-11 | 1983-11-15 | 三菱電機株式会社 | 物体分離装置 |
| JPS61169416A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-31 | Toshiba Seiki Kk | 電子部品のつまり防止装置 |
-
1987
- 1987-10-08 JP JP62255461A patent/JPH0680926B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58170840U (ja) * | 1982-05-11 | 1983-11-15 | 三菱電機株式会社 | 物体分離装置 |
| JPS61169416A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-31 | Toshiba Seiki Kk | 電子部品のつまり防止装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0513100U (ja) * | 1991-07-30 | 1993-02-19 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品供給装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0680926B2 (ja) | 1994-10-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4309935B2 (ja) | 密閉容器の蓋開閉システム及び当該システムを用いた基板処理方法 | |
| KR100575549B1 (ko) | 포오트 도어의 유지 및 배출 시스템 | |
| US5070988A (en) | Apparatus for aligning electronic component chips | |
| JP6226190B2 (ja) | パージシステム、及び該パージシステムに供せられるポッド及びロードポート装置 | |
| US4979640A (en) | Apparatus for aligning/supplying electronic component chips | |
| KR101368706B1 (ko) | 웨이퍼 캐리어 | |
| JPH11251422A (ja) | ウェーハ収納容器 | |
| KR960035954A (ko) | 반도체 가공 장비를 위한 투입 및 방출 장치 | |
| JPH02180098A (ja) | 電子部品チップ整列供給装置 | |
| JPH0680926B2 (ja) | 電子部品チップ整列装置 | |
| JPH0196998A (ja) | 電子部品チップ整列装置 | |
| JPH02180097A (ja) | 電子部品チップ整列供給装置 | |
| JP2544965B2 (ja) | 電子部品チップ整列供給装置 | |
| JP2949248B2 (ja) | 電子部品チップ整列供給装置 | |
| JPH0811620B2 (ja) | 電子部品チップ整列供給装置 | |
| KR100525999B1 (ko) | 액정표시장치용 기판 카세트 | |
| JPH0198300A (ja) | 電子部品チップ整列装置 | |
| JPH0256317A (ja) | 電子部品チップ整列供給装置 | |
| JPH03214692A (ja) | 電子部品チップ整列供給装置 | |
| KR20050003763A (ko) | 웨이퍼용 카세트 수용 용기 | |
| KR20220005972A (ko) | 전자소자 보관함 | |
| US20250006530A1 (en) | Gas curtain device for front opening unified pod | |
| JPH0923095A (ja) | チップ状電子部品供給装置 | |
| KR200414793Y1 (ko) | 웨이퍼 지지용 선반 | |
| JP3537509B2 (ja) | 部品整列供給装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |