JPH0197300U - - Google Patents
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- JPH0197300U JPH0197300U JP19290387U JP19290387U JPH0197300U JP H0197300 U JPH0197300 U JP H0197300U JP 19290387 U JP19290387 U JP 19290387U JP 19290387 U JP19290387 U JP 19290387U JP H0197300 U JPH0197300 U JP H0197300U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- electron beam
- scan
- tube
- irradiation device
- Prior art date
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- Granted
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 7
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Description
第１図は本考案の走査機構によるダブルウイン
ドウ電子線走査軌跡を示す平面図。第２図はその
ような走査軌跡を生ずるためのＹ方向、Ｘ方向走
査波形図。ａがＹ方向、ｂがＸ方向走査波形であ
る。第３図は従来例のダブルウインドウ電子線走
査軌跡を示す平面図。第４図は第３図の走査軌跡
を生ずるためのＹ方向、Ｘ方向走査波形図。第５
図は走査型電子線照射装置の上部のみの正面図。
第６図は走査管下部の照射窓の部分の断面図。 １……走査管、２……走査管フランジ、３……
窓箔押えフランジ、４……照射窓、５……窓箔、
６……被処理物、１０……水冷パイプ。
ドウ電子線走査軌跡を示す平面図。第２図はその
ような走査軌跡を生ずるためのＹ方向、Ｘ方向走
査波形図。ａがＹ方向、ｂがＸ方向走査波形であ
る。第３図は従来例のダブルウインドウ電子線走
査軌跡を示す平面図。第４図は第３図の走査軌跡
を生ずるためのＹ方向、Ｘ方向走査波形図。第５
図は走査型電子線照射装置の上部のみの正面図。
第６図は走査管下部の照射窓の部分の断面図。 １……走査管、２……走査管フランジ、３……
窓箔押えフランジ、４……照射窓、５……窓箔、
６……被処理物、１０……水冷パイプ。
Claims (1)
- 高真空中に於て電子線を発生し、これを加速し
、下方の拡がつた走査管に於て長手方向であるｙ
方向と、これに直角なｘ方向に電子線を走査し、
走査管下部のふたつの照射窓の窓箔を通して電子
線を大気中へ飛出させ、被処理物に照射すること
とし、ｙ方向走査、ｘ方向走査は走査管の上部に
設けたマグネツトのコイルにそれぞれ三角波、矩
形波を同期して流す事によつて行う事とした電子
線照射装置に於て、ｘ方向走査に要する時間をτ
として、ｘ方向走査の切換え時刻よりτ／２後に
、ｙ方向走査を切換える事とした電子線照射装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19290387U JPH0518720Y2 (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19290387U JPH0518720Y2 (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0197300U true JPH0197300U (ja) | 1989-06-28 |
| JPH0518720Y2 JPH0518720Y2 (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=31483730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19290387U Expired - Lifetime JPH0518720Y2 (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518720Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP19290387U patent/JPH0518720Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0518720Y2 (ja) | 1993-05-18 |
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