JPH02101187A - スタンパの製造方法 - Google Patents
スタンパの製造方法Info
- Publication number
- JPH02101187A JPH02101187A JP25160388A JP25160388A JPH02101187A JP H02101187 A JPH02101187 A JP H02101187A JP 25160388 A JP25160388 A JP 25160388A JP 25160388 A JP25160388 A JP 25160388A JP H02101187 A JPH02101187 A JP H02101187A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stamper
- master
- grooves
- width
- lands
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 11
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光メモリー用スタンバの製造方法に関する。
［従来の技術］
従来、スタンパの製造は以下のような工程で行われてい
た。平滑なガラス原盤上にレジストをコートし、レーザ
ー光を集光してレジストを感光させて現像し、感光した
部分を溝として形成する。
た。平滑なガラス原盤上にレジストをコートし、レーザ
ー光を集光してレジストを感光させて現像し、感光した
部分を溝として形成する。
次に表面に導体の膜を形成してその上にニッケルの薄板
を電気鋳造法によって形成してガラス原盤から剥離し、
裏面を研磨してから洗浄してレジストを剥離してスタン
パとする方法である。例えば、トラックピッチが１．６
訓であって、溝幅が１゜０ ）ｙｎのスタンパを得るに
は、レジストコート原盤に０． ６μ１０幅の溝を１．
６判ピッチでレーザーカッティングすればよいのである
。
を電気鋳造法によって形成してガラス原盤から剥離し、
裏面を研磨してから洗浄してレジストを剥離してスタン
パとする方法である。例えば、トラックピッチが１．６
訓であって、溝幅が１゜０ ）ｙｎのスタンパを得るに
は、レジストコート原盤に０． ６μ１０幅の溝を１．
６判ピッチでレーザーカッティングすればよいのである
。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、従来技術では、レーザービームの集束スポット
径が約０． ４〜０，６側であるレーザーカッティング
装置を使用するために、現像上がりで１． ｏ、ｕＩ
ｎ内外の幅、即ちスタンパで０．６１１ｍ程度の溝を得
ることはかなり回能であった。現像上がりでこうした幅
の広い溝を得ようとすると、レーザーパワーを大きくす
る、現像時間を長くする、２つの集束レーザー光を用い
る、または、集束レーザー光の焦点をレジスト表面から
故意にずらす等の方法を用いなければならないという問
題点を有していた。レーザーパワーを大きくすることは
、光学系へのダメージを大きくする点、時にはカッティ
ングスピードを小さくしてカッティングしなければなら
ないという点から好ましくない、また、現像時間を長く
すると溝形状に悪影響が出るし、２つの集束レーザー光
を用いるには、２ビームのレーザーカッティング装置が
必要となる。集束レーザー光の焦点を故意にレジスト表
面からずらすと、レジスト表面上のスポットの大きさを
一定に保つために、離しい制御が必要となる。
径が約０． ４〜０，６側であるレーザーカッティング
装置を使用するために、現像上がりで１． ｏ、ｕＩ
ｎ内外の幅、即ちスタンパで０．６１１ｍ程度の溝を得
ることはかなり回能であった。現像上がりでこうした幅
の広い溝を得ようとすると、レーザーパワーを大きくす
る、現像時間を長くする、２つの集束レーザー光を用い
る、または、集束レーザー光の焦点をレジスト表面から
故意にずらす等の方法を用いなければならないという問
題点を有していた。レーザーパワーを大きくすることは
、光学系へのダメージを大きくする点、時にはカッティ
ングスピードを小さくしてカッティングしなければなら
ないという点から好ましくない、また、現像時間を長く
すると溝形状に悪影響が出るし、２つの集束レーザー光
を用いるには、２ビームのレーザーカッティング装置が
必要となる。集束レーザー光の焦点を故意にレジスト表
面からずらすと、レジスト表面上のスポットの大きさを
一定に保つために、離しい制御が必要となる。
そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決するた
め、通常のレーザーカッティングや現像工程を変更する
ことなく、幅の狭い溝を有するスタンパを得ることを目
的とする。
め、通常のレーザーカッティングや現像工程を変更する
ことなく、幅の狭い溝を有するスタンパを得ることを目
的とする。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明のスタンパの製造方法
は光メモリー用スタンバのマスタリングにおいて、所望
のスタンパのトラックピッチと該スタンパの溝幅との差
を溝幅とするメタルマスターを製造し、該メタルマスタ
ーから転写によって該スタンパを製造することを特徴と
する。
は光メモリー用スタンバのマスタリングにおいて、所望
のスタンパのトラックピッチと該スタンパの溝幅との差
を溝幅とするメタルマスターを製造し、該メタルマスタ
ーから転写によって該スタンパを製造することを特徴と
する。
［作用コ
例えば、トラックピッチが１． ６１ＬＩＩ＋、溝幅が
０６ 、ｕｒｎであるスタンパを得ようとすれば、トラ
ックピッチが１．６ＪＪＪｎ、 溝幅が１． ＯＪ
ｉｍであるメタルマスターを製造して、このメタルマス
ターからスタンパを転写すればよいのである。このメタ
ルマスターを製造するには、現像上がりで０．６１Ｌｍ
幅の溝を形成すればよい。
０６ 、ｕｒｎであるスタンパを得ようとすれば、トラ
ックピッチが１．６ＪＪＪｎ、 溝幅が１． ＯＪ
ｉｍであるメタルマスターを製造して、このメタルマス
ターからスタンパを転写すればよいのである。このメタ
ルマスターを製造するには、現像上がりで０．６１Ｌｍ
幅の溝を形成すればよい。
［実施例］
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図において、メタルマスター１上には、マスター溝２と
マスターランド３が形成されている。マスター溝２の幅
は、トラックピッチの半分よりも大きく、マスターラン
ド３０幅は、トラックピッチからマスター溝２の幅を引
いたものに等しい。スタンパ４上には、スタンパ溝５と
スタンパランド６が形成されている。スタンパ溝５は、
マスターランド３を転写して形成したものであり、スタ
ンパランド６は、マスター溝２を転写して形成したもの
である。従って、例えば、メタルマスター１のトラック
ピッチが１． ６１Ｉｍ、マスター溝の幅が１．０側、
マスターランドの幅がＯ，ｆｇｍであるとすると、スタ
ンパ４のトラックピッチは１．６ｗｎ、スタンバ溝の幅
は０．６μｓ、スタンパランドの幅は１． ０ｇｍにな
る。メタルマスター１からスタンパ４を転写するには、
電気鋳造法等を用いる。
図において、メタルマスター１上には、マスター溝２と
マスターランド３が形成されている。マスター溝２の幅
は、トラックピッチの半分よりも大きく、マスターラン
ド３０幅は、トラックピッチからマスター溝２の幅を引
いたものに等しい。スタンパ４上には、スタンパ溝５と
スタンパランド６が形成されている。スタンパ溝５は、
マスターランド３を転写して形成したものであり、スタ
ンパランド６は、マスター溝２を転写して形成したもの
である。従って、例えば、メタルマスター１のトラック
ピッチが１． ６１Ｉｍ、マスター溝の幅が１．０側、
マスターランドの幅がＯ，ｆｇｍであるとすると、スタ
ンパ４のトラックピッチは１．６ｗｎ、スタンバ溝の幅
は０．６μｓ、スタンパランドの幅は１． ０ｇｍにな
る。メタルマスター１からスタンパ４を転写するには、
電気鋳造法等を用いる。
このメタルマスター１は、通常、第２図に示すように、
現像上がりのガラスマスター７にニッケルメッキを施し
て作製される。ガラスマスター７はガラス原盤８上に形
成されたレジスト溝９とレジストランド１０から成る。
現像上がりのガラスマスター７にニッケルメッキを施し
て作製される。ガラスマスター７はガラス原盤８上に形
成されたレジスト溝９とレジストランド１０から成る。
レジスト溝９は、集束されたレーザー光によって感光し
た部分が、現像によって溶出して形成されたものである
。従って、レジスト溝９の幅は、集束レーザー光のスポ
ット径に大きく依存する。一般に、レジスト付きガラス
原盤に情報を書き込むレーザーカッティング装置は、Ａ
ｒレーザーやＨｅ−Ｃｄレーザー等の短波長のレーザー
を用い、ＮＡが０． ９以上の大きな開口数をもつ対物
レンズによってレーザー光を集束するから、集束レーザ
ースポット径は、０．４〜０． ６μｓ程度の小さいも
のとなる。以上のような理由がら、レジスト溝９の幅は
０．４〜０．６．ｕＩｎ程度となるのが普通であるから
、レジストランド１００幅は１．０〜１． ２ｊ１ｍと
なる。スタンパ溝５の幅をＯ，Ｊｌｆｆｌ、スタンパラ
ンド５の幅を１．０μｓにするには、ガラスマスター７
のレジスト溝９の幅を０． ６μｓにすればよいのであ
る。
た部分が、現像によって溶出して形成されたものである
。従って、レジスト溝９の幅は、集束レーザー光のスポ
ット径に大きく依存する。一般に、レジスト付きガラス
原盤に情報を書き込むレーザーカッティング装置は、Ａ
ｒレーザーやＨｅ−Ｃｄレーザー等の短波長のレーザー
を用い、ＮＡが０． ９以上の大きな開口数をもつ対物
レンズによってレーザー光を集束するから、集束レーザ
ースポット径は、０．４〜０． ６μｓ程度の小さいも
のとなる。以上のような理由がら、レジスト溝９の幅は
０．４〜０．６．ｕＩｎ程度となるのが普通であるから
、レジストランド１００幅は１．０〜１． ２ｊ１ｍと
なる。スタンパ溝５の幅をＯ，Ｊｌｆｆｌ、スタンパラ
ンド５の幅を１．０μｓにするには、ガラスマスター７
のレジスト溝９の幅を０． ６μｓにすればよいのであ
る。
［発明の効果］
以上述べた本発明のスタンパ製造方法によれば、メタル
マスターからスタンパへの転写という簡単な１工程を加
えるだけで、幅の広いランド部すなわち幅の狭いグルー
プを有するスタンパを容易に得ることができる。
マスターからスタンパへの転写という簡単な１工程を加
えるだけで、幅の広いランド部すなわち幅の狭いグルー
プを有するスタンパを容易に得ることができる。
第１図は本発明のスタンパ製造方法を示す断面図。
第２図はメタルマスターの製造方法を示す断面図。
メ
タルマスター
マスター溝
マスターランド
スタンバ
スタンバ溝
スタンバランド
ガラスマスター
ガラス原盤
レジスト溝
レジストランド
以上
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人弁理土鈴木喜三部（他１名）
葡１諷
箋２図
Claims (1)
- 光メモリー用スタンパのマスタリングにおいて、所望の
スタンパのトラックピッチと該スタンパの溝幅との差を
溝幅とするメタルマスターを製造し、該メタルマスター
から転写によって該スタンパを製造することを特徴とす
るスタンパの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25160388A JPH02101187A (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | スタンパの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25160388A JPH02101187A (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | スタンパの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02101187A true JPH02101187A (ja) | 1990-04-12 |
Family
ID=17225278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25160388A Pending JPH02101187A (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | スタンパの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02101187A (ja) |
-
1988
- 1988-10-05 JP JP25160388A patent/JPH02101187A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5503963A (en) | Process for manufacturing optical data storage disk stamper | |
| US5051340A (en) | Master for optical element replication | |
| JP2000507734A (ja) | 光データ記憶ディスク・スタンパの製造方法 | |
| CA2233448A1 (en) | Optical digital media recording and reproduction system | |
| JPH04248145A (ja) | 高密度光ディスクの作製方法 | |
| JPH04205936A (ja) | 転写用成形媒体およびその製造方法 | |
| US5699848A (en) | Method for manufacturing a replica stamper | |
| JPH02149691A (ja) | 金属マトリックスの製造方法 | |
| US5312718A (en) | Method of manufacturing dies for pressing optical disks | |
| US6793780B2 (en) | Stamper forming method | |
| JP2517161B2 (ja) | 光ディスク原盤およびマスタ―スタンパ―の製造方法 | |
| JPS61296549A (ja) | 光メモリ素子の製造方法 | |
| JPH01188332A (ja) | 情報記録担体の成形スタンパとその製造方法 | |
| JPS6185649A (ja) | スタンパの製造方法 | |
| JPS6047255A (ja) | 情報原盤の製造方法 | |
| JPH09212923A (ja) | 光デイスク原盤の製造方法 | |
| JPH03253591A (ja) | 電鋳装置 | |
| JPH0440642A (ja) | 光ディスクのスタンパ作製方法 | |
| JPS62183047A (ja) | 光学式記録媒体の製造方法 | |
| JPS63148443A (ja) | 光デイスク用マザ−の製造方法 | |
| JPS61273760A (ja) | 光磁気デイスクの製造方法 | |
| JPH02249154A (ja) | 光ディスク原盤 | |
| JPS62214532A (ja) | スタンパの製造方法 | |
| JPH0210536A (ja) | 光ディスク基板の製造方法 | |
| JPS60131654A (ja) | 情報記録用スタンパ− |