JPH02105111U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH02105111U
JPH02105111U JP11981689U JP11981689U JPH02105111U JP H02105111 U JPH02105111 U JP H02105111U JP 11981689 U JP11981689 U JP 11981689U JP 11981689 U JP11981689 U JP 11981689U JP H02105111 U JPH02105111 U JP H02105111U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
interference
image signal
head surface
objective lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11981689U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0733128Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP11981689U priority Critical patent/JPH0733128Y2/ja
Publication of JPH02105111U publication Critical patent/JPH02105111U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0733128Y2 publication Critical patent/JPH0733128Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案にかかるヘツド姿勢計測装置を
利用した磁気ヘツド自動組み立て装置の例を示す
ブロツク図、第２図は本考案に適用可能なオート
フオーカス装置の例を説明するための特性線図、
第３図は同上オートフオーカス装置の別の特性線
図、第４図は同上特性の一部のデータを０にする
ことを示す線図、第５図は上記オートフオーカス
装置の動作を示すフローチヤート、第６図は上記
磁気ヘツド自動組み立て装置の動作を示すフロー
チヤート、第７図はテレビカメラを通して得られ
るヘツド面の画像の例を示す正面図、第８図は本
考案に適用可能な顕微鏡光学系の例を示す光学配
置図、第９図は同上顕微鏡光学系を用いたヘツド
姿勢計測動作の例を示すフローチヤート、第１０
図はヘツド姿勢計測の原理を概略的に示す説明図
、第１１図はヘツドの異なる姿勢での上記計測原
理を示す説明図、第１２図は本考案の前提として
考えたヘツド姿勢計測に用いることができる顕微
鏡光学系の例を示す光学配置図である。 １，２……ヘツド、４……顕微鏡、５……テレ
ビカメラ、１７……干渉縞、４１……干渉対物レ
ンズ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 干渉対物レンズを有する顕微鏡を通して画像信
    号を得るテレビカメラを用い、上記干渉対物レン
    ズの光軸上にあるヘツド面の画像信号と上記干渉
    対物レンズによりヘツド面に発生した干渉縞の画
    像信号とを上記テレビカメラから画像処理装置に
    入力し、上記ヘツド面及び干渉縞の画像信号を画
    像処理することによりヘツドの姿勢を計測するヘ
    ツド姿勢計測装置であつて、上記テレビカメラと
    ヘツド面との間隔は、少なくともヘツド面への合
    焦位置から干渉縞への合焦位置までの範囲におい
    て上記干渉対物レンズの光軸上で変更可能であり
    、テレビカメラを通じて入力される上記ヘツド面
    の画像信号と干渉縞の画像信号とを画像処理して
    ヘツドの姿勢を計測することを特徴とするヘツド
    姿勢計測装置。
JP11981689U 1988-10-20 1989-10-13 ヘッド姿勢計測装置 Expired - Fee Related JPH0733128Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11981689U JPH0733128Y2 (ja) 1988-10-20 1989-10-13 ヘッド姿勢計測装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63-137162 1988-10-20
JP13716288 1988-10-20
JP11981689U JPH0733128Y2 (ja) 1988-10-20 1989-10-13 ヘッド姿勢計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02105111U true JPH02105111U (ja) 1990-08-21
JPH0733128Y2 JPH0733128Y2 (ja) 1995-07-31

Family

ID=31718884

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11981689U Expired - Fee Related JPH0733128Y2 (ja) 1988-10-20 1989-10-13 ヘッド姿勢計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0733128Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04177108A (ja) * 1990-11-13 1992-06-24 Canon Inc 物体の姿勢測定方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04177108A (ja) * 1990-11-13 1992-06-24 Canon Inc 物体の姿勢測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0733128Y2 (ja) 1995-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3202185B2 (ja) アーク溶接工程で溶接線自動追跡のためのビジョンセンサー及びビジョン処理技法
JPH02105111U (ja)
JPH0255211U (ja)
JP2575848B2 (ja) 画像処理方法
JPS63217214A (ja) ３次元位置計測装置
JPH0493704A (ja) 動作解析装置
JPS6021911U (ja) 表面粗さ測定装置
JP2529688Y2 (ja) 位置計測装置
JPS607047U (ja) マイクロレンズの球面収差測定装置
JPH05329793A (ja) 視覚センサ
JPS6425713U (ja)
JPS5960639U (ja) 測距用センサ−の光路長調整装置
JP2526543B2 (ja) 物体の高さ測定装置
JPH0117896Y2 (ja)
JPS5949904U (ja) 距離測定装置
JPH04203914A (ja) 撮像装置
JPS62114310U (ja)
JPS5881727U (ja) 磁気ヘツド取付角度検査装置
JPS61121066U (ja)
JPH09113224A (ja) ３次元位置姿勢測定用マーク、及び３次元位置姿勢測定方法及び装置
JPS6056015U (ja) 測距装置
JPS59114404A (ja) 磁気ヘツドの形状および取付姿勢測定方法
JPS6189148U (ja)
JPS5823936B2 (ja) 半導体ペレットのボンデイングパッドの位置検出装置
JPS5838119U (ja) イメ−ジセンサ

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees