JPH02105179U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02105179U JPH02105179U JP1387289U JP1387289U JPH02105179U JP H02105179 U JPH02105179 U JP H02105179U JP 1387289 U JP1387289 U JP 1387289U JP 1387289 U JP1387289 U JP 1387289U JP H02105179 U JPH02105179 U JP H02105179U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- window
- diamond film
- film
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案のダイヤモンドウインドーを
用いた半導体Ｘ線検出器の断面図、第２図は、従
来の半導体Ｘ線検出器の断面図、第３図は、Ｘ線
透過率を示す図、第４図は、膜にかかる応力の模
式図、第５図は、本考案のダイヤモンドウインド
ーの製造工程を示す工程断面図である。 １…ベリリウムウインドー、２…半導体Ｘ線検
出素子、３…トランジスター、４…ダイヤモンド
ウインドー、５…Ｓｉウエハー、６…ダイヤモン
ド膜、７…ろうマスク。
用いた半導体Ｘ線検出器の断面図、第２図は、従
来の半導体Ｘ線検出器の断面図、第３図は、Ｘ線
透過率を示す図、第４図は、膜にかかる応力の模
式図、第５図は、本考案のダイヤモンドウインド
ーの製造工程を示す工程断面図である。 １…ベリリウムウインドー、２…半導体Ｘ線検
出素子、３…トランジスター、４…ダイヤモンド
ウインドー、５…Ｓｉウエハー、６…ダイヤモン
ド膜、７…ろうマスク。
Claims (1)
- ダイヤモンド膜を窓材とした光学窓において、
前記ダイヤモンド膜の形状を凹面形状にしたこと
を特徴とするダイヤモンドウインドー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1387289U JPH02105179U (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1387289U JPH02105179U (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02105179U true JPH02105179U (ja) | 1990-08-21 |
Family
ID=31224561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1387289U Pending JPH02105179U (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02105179U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10244144A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 圧力隔壁 |
| JP2011153831A (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | 原子力プラントの放水路放射線モニタ装置 |
-
1989
- 1989-02-08 JP JP1387289U patent/JPH02105179U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10244144A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 圧力隔壁 |
| JP2011153831A (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | 原子力プラントの放水路放射線モニタ装置 |