JPH02113199U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02113199U JPH02113199U JP2085689U JP2085689U JPH02113199U JP H02113199 U JPH02113199 U JP H02113199U JP 2085689 U JP2085689 U JP 2085689U JP 2085689 U JP2085689 U JP 2085689U JP H02113199 U JPH02113199 U JP H02113199U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- beam irradiation
- irradiation device
- processing chamber
- processed
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例である電子線照射装
置の概略正面図、第２図はその整流板の概略拡大
斜視図、第３図はガス供給管周囲の概略拡大図、
第４図は整流板の応用例を示す概略図、第５図は
従来の電子線照射装置の概略正面図、第６図はそ
のガス供給管の概略斜視図、第７図はガス供給管
周囲の概略拡大図である。 １…整流板、１０…電子線発生部、１１…窓部
、２０…処理室、２１…照射部、２２…搬入口、
２３…搬出口、２４…ガス供給管、２４ａ…噴射
口、Ａ…被処理物、Ｓ…隙間。
置の概略正面図、第２図はその整流板の概略拡大
斜視図、第３図はガス供給管周囲の概略拡大図、
第４図は整流板の応用例を示す概略図、第５図は
従来の電子線照射装置の概略正面図、第６図はそ
のガス供給管の概略斜視図、第７図はガス供給管
周囲の概略拡大図である。 １…整流板、１０…電子線発生部、１１…窓部
、２０…処理室、２１…照射部、２２…搬入口、
２３…搬出口、２４…ガス供給管、２４ａ…噴射
口、Ａ…被処理物、Ｓ…隙間。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) シート状の被処理物を搬入する搬入口と前
記被処理物を搬出する搬出口とが設けられた処理
室と、該処理室内の電子線を照射する照射部の手
前に設けられ且つ不活性ガスを供給するガス供給
管とを有する電子線照射装置において、前記ガス
供給管の前記搬入口側近傍に、整流板を上端が前
記処理室の天井に当接し、下端部が前記被処理物
に近接するように設けたことを特徴とする電子線
照射装置。 (2) 前記整流板は断面が略ノ字状又は略レ字状
に形成されたものである請求項１記載の電子線照
射装置。 (3) 前記整流板が着脱自在又は回動可能である
請求項１又は２記載の電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2085689U JPH02113199U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2085689U JPH02113199U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02113199U true JPH02113199U (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=31237583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2085689U Pending JPH02113199U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02113199U (ja) |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP2085689U patent/JPH02113199U/ja active Pending