JPH02113345U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02113345U JPH02113345U JP2273289U JP2273289U JPH02113345U JP H02113345 U JPH02113345 U JP H02113345U JP 2273289 U JP2273289 U JP 2273289U JP 2273289 U JP2273289 U JP 2273289U JP H02113345 U JPH02113345 U JP H02113345U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- field effect
- vertical field
- view
- effect transistors
- aluminum
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は、この考案の実施例１に使用する基準
セルの平面図、第２図は、第１図中に含まれるス
クライブ領域の拡大断面図、第３図は、本考案の
実施例１の縦型電界効果トランジスタの平面図で
ある。第４図は、本考案の実施例２の縦型電界効
果トランジスタの平面図、第５図は、本考案の実
施例２に使用する基準セルの平面図である。第６
図は、従来の縦型電界効果トランジスタの平面図
、第７図は、従来の縦型電界効果トランジスタの
スクライブ領域の断面図である。 １……ゲートパツド部、２……ソースパツド部
、３……スクライブ領域、４……Ｎ型拡散層、５
……フイールドリング、６……縦型電界効果トラ
ンジスタセル、７……パツシベーシヨン膜、８…
…配線用アルミ、９……層間膜、１０……酸化膜
、１１……Ｎ型基板、１２……ソースアルミ、１
３……ゲートアルミ、１４……基準セル、１５…
…第１アルミ、１６……第２アルミ、１７……コ
ンタクト（スルーホール）、１８……ＥＱＲ、１
９……ＥＱＲ用アルミ、２０……Ｐ型拡散層。
セルの平面図、第２図は、第１図中に含まれるス
クライブ領域の拡大断面図、第３図は、本考案の
実施例１の縦型電界効果トランジスタの平面図で
ある。第４図は、本考案の実施例２の縦型電界効
果トランジスタの平面図、第５図は、本考案の実
施例２に使用する基準セルの平面図である。第６
図は、従来の縦型電界効果トランジスタの平面図
、第７図は、従来の縦型電界効果トランジスタの
スクライブ領域の断面図である。 １……ゲートパツド部、２……ソースパツド部
、３……スクライブ領域、４……Ｎ型拡散層、５
……フイールドリング、６……縦型電界効果トラ
ンジスタセル、７……パツシベーシヨン膜、８…
…配線用アルミ、９……層間膜、１０……酸化膜
、１１……Ｎ型基板、１２……ソースアルミ、１
３……ゲートアルミ、１４……基準セル、１５…
…第１アルミ、１６……第２アルミ、１７……コ
ンタクト（スルーホール）、１８……ＥＱＲ、１
９……ＥＱＲ用アルミ、２０……Ｐ型拡散層。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数の縦型電界効果トランジスタと、耐圧を決
定する外周部と、ボンデイングパツド、スクライ
ブ領域からなる基準セルを有し、 前記基準セルをアレイ状に配列したことを特徴
とする縦型電界効果トランジスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2273289U JPH02113345U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2273289U JPH02113345U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02113345U true JPH02113345U (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=31241109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2273289U Pending JPH02113345U (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02113345U (ja) |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP2273289U patent/JPH02113345U/ja active Pending