JPS6274350U - - Google Patents
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- JPS6274350U JPS6274350U JP16741185U JP16741185U JPS6274350U JP S6274350 U JPS6274350 U JP S6274350U JP 16741185 U JP16741185 U JP 16741185U JP 16741185 U JP16741185 U JP 16741185U JP S6274350 U JPS6274350 U JP S6274350U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- photodiode
- diffusion
- impurity
- diffused
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
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- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
第1図は本考案光半導体装置の第1実施例の構
成を示す平面図、第2図はその要部拡大断面図、
第3図は本考案光半導体装置の第2実施例の構成
を示す平面図、第4図は本考案光半導体装置の第
3実施例の構成を示す平面図、第5図はその要部
拡大断面図である。 1……シリコン基板、2……フオトダイオード
、3……不感帯、4……拡散キヤリヤ吸収帯、5
……P形拡散層、6……電極、7……シリコン酸
化膜、8……N+層、9……P形拡散層、10…
…短絡用N+層拡散層、11……電極、12……
N+拡散層、13……電極。
成を示す平面図、第2図はその要部拡大断面図、
第3図は本考案光半導体装置の第2実施例の構成
を示す平面図、第4図は本考案光半導体装置の第
3実施例の構成を示す平面図、第5図はその要部
拡大断面図である。 1……シリコン基板、2……フオトダイオード
、3……不感帯、4……拡散キヤリヤ吸収帯、5
……P形拡散層、6……電極、7……シリコン酸
化膜、8……N+層、9……P形拡散層、10…
…短絡用N+層拡散層、11……電極、12……
N+拡散層、13……電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体基板の適所に、該基板の導電型と反
対の導電型を形成する不純物を選択的に拡散して
フオトダイオードを形成してなる光半導体装置に
おいて、 上記フオトダイオードを構成する拡散面の近傍
に、上記不純物と同型の不純物を選択的に拡散す
ると共に、形成される拡散面と上記半導体基板と
を短絡してなる拡散キヤリヤ吸収帯を設けて、同
一基板の他の領域からフオトダイオードへの拡散
キヤリヤ流れ込みを減少する構成としたことを特
徴とする光半導体装置。 (2) 上記フオトダイオードを構成する拡散面の
近傍に、上記基板と同型の不純物を高濃度に選択
拡散した部分を設け、この高濃度拡散部と、上記
拡散キヤリヤ吸収帯とを電極で接続して、該拡散
キヤリヤ吸収帯と基板とを短絡してなる実用新案
登録請求の範囲第1項記載の光半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16741185U JPS6274350U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16741185U JPS6274350U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6274350U true JPS6274350U (ja) | 1987-05-13 |
Family
ID=31099313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16741185U Pending JPS6274350U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6274350U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06350122A (ja) * | 1993-06-08 | 1994-12-22 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体光検出素子 |
| JP2011159984A (ja) * | 2003-10-20 | 2011-08-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体光検出素子及び放射線検出装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5140790A (ja) * | 1974-10-04 | 1976-04-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | |
| JPS552113B2 (ja) * | 1975-03-01 | 1980-01-18 | ||
| JPS5730348A (en) * | 1980-07-03 | 1982-02-18 | Ibm | Method of forming mutual connection wire |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP16741185U patent/JPS6274350U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5140790A (ja) * | 1974-10-04 | 1976-04-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | |
| JPS552113B2 (ja) * | 1975-03-01 | 1980-01-18 | ||
| JPS5730348A (en) * | 1980-07-03 | 1982-02-18 | Ibm | Method of forming mutual connection wire |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06350122A (ja) * | 1993-06-08 | 1994-12-22 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体光検出素子 |
| JP2011159984A (ja) * | 2003-10-20 | 2011-08-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体光検出素子及び放射線検出装置 |
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