JPH02115246U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02115246U JPH02115246U JP2496289U JP2496289U JPH02115246U JP H02115246 U JPH02115246 U JP H02115246U JP 2496289 U JP2496289 U JP 2496289U JP 2496289 U JP2496289 U JP 2496289U JP H02115246 U JPH02115246 U JP H02115246U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion beam
- ion
- sample surface
- irradiation device
- scans
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン照射装置
の基本的な構成を示す概念図、第２図はその一部
を拡大して示す概念図、第３図は前記イオン照射
装置による試料表面の処理の様子を簡略化して示
す斜視図、第４図はこの考案の他の実施例の基本
的な構成を示す概念図、第５図および第６図は従
来のイオン照射装置におけるイオンビームによる
試料の処理を説明するための図である。 １７……イオンビーム、１９……試料、２２，
２５……集束用電極、２６……集束用電源。
の基本的な構成を示す概念図、第２図はその一部
を拡大して示す概念図、第３図は前記イオン照射
装置による試料表面の処理の様子を簡略化して示
す斜視図、第４図はこの考案の他の実施例の基本
的な構成を示す概念図、第５図および第６図は従
来のイオン照射装置におけるイオンビームによる
試料の処理を説明するための図である。 １７……イオンビーム、１９……試料、２２，
２５……集束用電極、２６……集束用電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 照射方向に垂直な断面が線状であるイオンビー
ムで試料表面を走査し、この試料表面の処理を行
うようにしたイオン源照射装置において、 前記イオンビームの両側にそれぞれ対向して、
前記イオンビームと同極性の電位を与えた少なく
とも一対の集束用電極を設けたことを特徴とする
イオン照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2496289U JPH02115246U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2496289U JPH02115246U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02115246U true JPH02115246U (ja) | 1990-09-14 |
Family
ID=31245265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2496289U Pending JPH02115246U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02115246U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000100748A (ja) * | 1998-09-24 | 2000-04-07 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1989
- 1989-03-03 JP JP2496289U patent/JPH02115246U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000100748A (ja) * | 1998-09-24 | 2000-04-07 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |