JPH02116019A - 磁気ディスク - Google Patents
磁気ディスクInfo
- Publication number
- JPH02116019A JPH02116019A JP26821888A JP26821888A JPH02116019A JP H02116019 A JPH02116019 A JP H02116019A JP 26821888 A JP26821888 A JP 26821888A JP 26821888 A JP26821888 A JP 26821888A JP H02116019 A JPH02116019 A JP H02116019A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic disk
- magnetic
- oxygen
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気ディスク、更に詳しくは優れた、かつ安
定した結晶配向性をもつ磁気記録媒体膜を有する磁気デ
ィスクに関する。
定した結晶配向性をもつ磁気記録媒体膜を有する磁気デ
ィスクに関する。
フロッピーディスク、ハードディスク等の磁気ディスク
を製造する際、ターゲットと基板の間にマスクを設ける
か、ターゲット径を小さくし、スパッタ法によりスパッ
タ粒子を斜めに基板に入射させる方法が知られている（
特開昭６２−８２５１６号、同６２−８２５１７号）。
を製造する際、ターゲットと基板の間にマスクを設ける
か、ターゲット径を小さくし、スパッタ法によりスパッ
タ粒子を斜めに基板に入射させる方法が知られている（
特開昭６２−８２５１６号、同６２−８２５１７号）。
このようにして、非磁性基板上に、第１層として、例え
ばＣｒ層、第２層として例えばＣｏ、 Ｃｏ−Ｎｉ層が
積層された磁気ディスクが製造される。
ばＣｒ層、第２層として例えばＣｏ、 Ｃｏ−Ｎｉ層が
積層された磁気ディスクが製造される。
しかしながら、このような磁気ディスク（第１層の非磁
性Ｃｒの膜厚は１０００〜６０００人、第２層の磁性Ｃ
ｏもしくはＣｏ−Ｎｉの膜厚は２５０〜５００人）は、
保磁力Ｈｃが１２０００ｅ程度、Ｈｃの周方向とその静
磁気特性が充分なものではない。
性Ｃｒの膜厚は１０００〜６０００人、第２層の磁性Ｃ
ｏもしくはＣｏ−Ｎｉの膜厚は２５０〜５００人）は、
保磁力Ｈｃが１２０００ｅ程度、Ｈｃの周方向とその静
磁気特性が充分なものではない。
本発明の目的は、このような事情に鑑み、静磁気特性が
可及的に向上した磁気ディスクを提供することにある。
可及的に向上した磁気ディスクを提供することにある。
本発明は、前記目的を達成するものとして、非磁性基板
上に、実質的にＣｒからなる第１層、およびＣｏ−Ｎｉ
系もしくはＣｏ系磁気記録媒体膜である第２層が形成さ
れてなる磁気ディスクにおいて、該第２層中に酸素を含
有せしめたことを特徴とするものである。
上に、実質的にＣｒからなる第１層、およびＣｏ−Ｎｉ
系もしくはＣｏ系磁気記録媒体膜である第２層が形成さ
れてなる磁気ディスクにおいて、該第２層中に酸素を含
有せしめたことを特徴とするものである。
（作 用〕
以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明の磁気ディスクにおいて、まず、非磁性基板とし
ては、ＡＩｌ、Ｎ１−Ｐ下地が施されたＡｌ、Ａ１１ｏ
ｓ、耐熱性プラスチック、ガラスなどが使用できる。
ては、ＡＩｌ、Ｎ１−Ｐ下地が施されたＡｌ、Ａ１１ｏ
ｓ、耐熱性プラスチック、ガラスなどが使用できる。
次に、この非磁性基板上に、第１層として形成されるＣ
ｒ層は、実質的にＣｒからなるものであり、Ｃｒ単味で
も、Ｃｕｓ Ｔａｓ Ｗ％ Ｎｂｓ Ｔｉｓ Ｖ％ Ｚ
ｒｓ ＭＯ％Ｚｎなどの元素が添加されていてもよい。
ｒ層は、実質的にＣｒからなるものであり、Ｃｒ単味で
も、Ｃｕｓ Ｔａｓ Ｗ％ Ｎｂｓ Ｔｉｓ Ｖ％ Ｚ
ｒｓ ＭＯ％Ｚｎなどの元素が添加されていてもよい。
また、このＣｒ層には、酸素が１０重量％以下含有せし
められていることが好ましい、この酸素は、第１層とし
て形成されるＣｒ層の結晶配向性、ひいては第２層のＣ
ｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層の結晶配向性を向上させ、Ｈｃ
およびＨｃ比を向上させる。この量が１０％を超えると
、第１層のＣｒ層の表面に酸化膜が生成し、第２層のＣ
ｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層にエピタキシャル成長が不可能
になり易くなるため、磁気特性が急激に劣化する。
められていることが好ましい、この酸素は、第１層とし
て形成されるＣｒ層の結晶配向性、ひいては第２層のＣ
ｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層の結晶配向性を向上させ、Ｈｃ
およびＨｃ比を向上させる。この量が１０％を超えると
、第１層のＣｒ層の表面に酸化膜が生成し、第２層のＣ
ｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層にエピタキシャル成長が不可能
になり易くなるため、磁気特性が急激に劣化する。
更に、前記Ｃｒ層上に形成される第２層のＣｏ−Ｎｉ層
は、３０重量％以下のＮｉを含有するのが好ましい、３
０％を超えると、この層の残留磁化が大幅に減少し、磁
気特性が劣化する。また、第２層のＣｏもしくはＣｏ−
Ｎｉ層には、酸素が含有せしめられていることが必要で
あり、その量は、好ましくは重量にて５００ｐｐ−〜１
０％である。この酸素はＨｅおよびＨｃ比を向上させる
ために添加含有させる。
は、３０重量％以下のＮｉを含有するのが好ましい、３
０％を超えると、この層の残留磁化が大幅に減少し、磁
気特性が劣化する。また、第２層のＣｏもしくはＣｏ−
Ｎｉ層には、酸素が含有せしめられていることが必要で
あり、その量は、好ましくは重量にて５００ｐｐ−〜１
０％である。この酸素はＨｅおよびＨｃ比を向上させる
ために添加含有させる。
これは、酸素が結晶粒を微細化すると共に結晶粒界に偏
析し、結晶粒を孤立化させることによると推察される。
析し、結晶粒を孤立化させることによると推察される。
酸素量が５００ｐｐ＋ｗ未満では、上記酸素の効果が希
薄であるのみならず、成膜時装置内で発生する酸素を主
とする微量の不純物ガスにより、磁気ディスクの静磁気
特性が成膜ごとにバラつき易くなる。一方、１０％を超
えると、第２層のＣｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層が酸化し静
磁気特性が劣化する。
薄であるのみならず、成膜時装置内で発生する酸素を主
とする微量の不純物ガスにより、磁気ディスクの静磁気
特性が成膜ごとにバラつき易くなる。一方、１０％を超
えると、第２層のＣｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層が酸化し静
磁気特性が劣化する。
本発明の第１層、第２層の膜は、スパッタリング法、真
空蒸着法、イオンブレーティング法などにより形成する
ことができる。
空蒸着法、イオンブレーティング法などにより形成する
ことができる。
以下、本発明の実施例を比較例、従来例と共に説明する
。
。
実施例１
厚さ１．５鶴の、Ｎ１−Ｐめっき下地が施されたＡ１基
板上に、マグネトロンスパッタ装置を用いて、第１層と
して膜厚３０００人のＣｒ単味層、第２ＮとしてＮｉ２
Ｏ重量％、残部Ｃｏからなり、膜厚５００人の磁気記録
媒体膜を形成した。この際の成膜条件はいずれの試験に
おいても次の通りであった。
板上に、マグネトロンスパッタ装置を用いて、第１層と
して膜厚３０００人のＣｒ単味層、第２ＮとしてＮｉ２
Ｏ重量％、残部Ｃｏからなり、膜厚５００人の磁気記録
媒体膜を形成した。この際の成膜条件はいずれの試験に
おいても次の通りであった。
第１表
注：酸素ガスは、バリアプルリークバルブを用いて導入
した。
した。
得られた磁気ディスクは切断し、各々、組成分析と磁気
特性の評価に供した。組成分析は、Ｓ■ＭＳ分析および
化学分析を併用し、また、磁気特性は、振動試料型磁力
計により測定した。
特性の評価に供した。組成分析は、Ｓ■ＭＳ分析および
化学分析を併用し、また、磁気特性は、振動試料型磁力
計により測定した。
得られた結果を第２表に示す。
実施例２
第１層を形成する際、Ｎｂを重量にて１．５％添加した
以外は、実施例１と同様にして磁気ディスクを得て、評
価に供した。また、添加したＮｂの組成分析はＢＰＭＡ
分析によった。
以外は、実施例１と同様にして磁気ディスクを得て、評
価に供した。また、添加したＮｂの組成分析はＢＰＭＡ
分析によった。
得られた結果を第３表に示す。
以上から明らかなように、本発明により、従来の、第２
層としてのＣｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層に実質的に酸素を
含有せしめない磁気ディスクに比較して、静磁気特性を
著しく向上せしめることができる。
層としてのＣｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層に実質的に酸素を
含有せしめない磁気ディスクに比較して、静磁気特性を
著しく向上せしめることができる。
また、本発明は制御容易な酸素導入により製造すること
ができるので、良好な配向性のものを成膜ごとにバラツ
かせず、安定して提供することができる。
ができるので、良好な配向性のものを成膜ごとにバラツ
かせず、安定して提供することができる。
特許出願人住友金属鉱山株式会社
Claims (1)
- （１）非磁性基板上に、実質的にＣｒからなる第１層、
およびＣｏ−Ｎｉ系もしくはＣｏ系磁気記録媒体膜であ
る第２層が形成されてなる磁気ディスクにおいて、該第
２層中に酸素を含有せしめたことを特徴とする磁気ディ
スク。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26821888A JPH02116019A (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 磁気ディスク |
| EP19890305008 EP0342966A3 (en) | 1988-05-18 | 1989-05-17 | Magnetic disc |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26821888A JPH02116019A (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 | 磁気ディスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02116019A true JPH02116019A (ja) | 1990-04-27 |
Family
ID=17455554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26821888A Pending JPH02116019A (ja) | 1988-05-18 | 1988-10-26 | 磁気ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02116019A (ja) |
-
1988
- 1988-10-26 JP JP26821888A patent/JPH02116019A/ja active Pending
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