JPH0211679B2 - - Google Patents
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- JPH0211679B2 JPH0211679B2 JP31359386A JP31359386A JPH0211679B2 JP H0211679 B2 JPH0211679 B2 JP H0211679B2 JP 31359386 A JP31359386 A JP 31359386A JP 31359386 A JP31359386 A JP 31359386A JP H0211679 B2 JPH0211679 B2 JP H0211679B2
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- workpiece
- pallet
- plating
- conveying
- transporting
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は噴射ノズルからめつき液を噴射しなが
らワークをめつき処理するめつき処理装置のワー
ク搬送用パレツトに関する。
らワークをめつき処理するめつき処理装置のワー
ク搬送用パレツトに関する。
(従来技術及びその問題点)
(1) 従来のめつき処理装置は、複数のワークをそ
れぞれ直接噴射ノズルの上方のトツププレート
45に載せ、めつき処理終了後も各ワークを単
独でトツププレート45から取出すように構成
されている。従つてワークの供給取出し作業の
能率の点で問題がある。
れぞれ直接噴射ノズルの上方のトツププレート
45に載せ、めつき処理終了後も各ワークを単
独でトツププレート45から取出すように構成
されている。従つてワークの供給取出し作業の
能率の点で問題がある。
(2) 異種、異形状のワークをめつき処理する場
合、その形状ごとにトツププレートが必要とな
り、経済的にも負担が大きく、またその段取り
作業、工数も著しく大きいものである。
合、その形状ごとにトツププレートが必要とな
り、経済的にも負担が大きく、またその段取り
作業、工数も著しく大きいものである。
(3) ワークをトツププレートに嵌合し、トツププ
レートごと次工程へ搬送するように構成されて
いる場合には、トツププレートに付着しためつ
き液の持ち出し両が著しく大きくなるものであ
る。
レートごと次工程へ搬送するように構成されて
いる場合には、トツププレートに付着しためつ
き液の持ち出し両が著しく大きくなるものであ
る。
(発明の目的)
本発明の目的は、複数のワークを同時に簡単に
供給あるいは取出すことができるようにすると共
に、各種寸法のワークについて、共通のパレツト
でめつき作業を行えるようにすること及びめつき
液持ち出し量を減少させることである。
供給あるいは取出すことができるようにすると共
に、各種寸法のワークについて、共通のパレツト
でめつき作業を行えるようにすること及びめつき
液持ち出し量を減少させることである。
(問題を解決するための手段)
上記問題を解決するために本発明は、ワーク搬
送用パレツトを上部に載置したトツププレートの
下側からめつき液が噴射されるめつき液のワーク
搬送用パレツトにおいて、前記ワーク搬送用パレ
ツトには搬送用受け部、こま支持部を持つたこま
支持孔が設けられ、こま支持孔にはワーク外形寸
法に対応したワーク支持部と該ワーク支持部に連
設しためつき液を通過し得るめつき孔を有するこ
まが嵌合されており、前記こまはワーク搬送用パ
レツトに交換自在に嵌合されている。
送用パレツトを上部に載置したトツププレートの
下側からめつき液が噴射されるめつき液のワーク
搬送用パレツトにおいて、前記ワーク搬送用パレ
ツトには搬送用受け部、こま支持部を持つたこま
支持孔が設けられ、こま支持孔にはワーク外形寸
法に対応したワーク支持部と該ワーク支持部に連
設しためつき液を通過し得るめつき孔を有するこ
まが嵌合されており、前記こまはワーク搬送用パ
レツトに交換自在に嵌合されている。
(実施例)
第1図は本発明によるワーク搬送用パレツトの
平面図を示しており、この第1図において、ワー
ク搬送方向を前方とすると、パレツトPは、左右
方向に長い前後1対のフレーム11と、該フレー
ム11に連結材13を介して固着されたボデイプ
レート12を備え、プレート12にはこま支持孔
15が形成されている。フレーム11の左右両端
部には後述の搬送ビーム51が支持される前後に
長い角形の搬送用受け部17が左右1対固着さ
れ、また該搬送用受け部17よりも内方側に間隔
を隔てた部分には前後に長いそり20が左右1対
固着されている。搬送用受け部17及びそり20
の中央部にはそれぞれ位置決め用のピン孔22が
形成されている。
平面図を示しており、この第1図において、ワー
ク搬送方向を前方とすると、パレツトPは、左右
方向に長い前後1対のフレーム11と、該フレー
ム11に連結材13を介して固着されたボデイプ
レート12を備え、プレート12にはこま支持孔
15が形成されている。フレーム11の左右両端
部には後述の搬送ビーム51が支持される前後に
長い角形の搬送用受け部17が左右1対固着さ
れ、また該搬送用受け部17よりも内方側に間隔
を隔てた部分には前後に長いそり20が左右1対
固着されている。搬送用受け部17及びそり20
の中央部にはそれぞれ位置決め用のピン孔22が
形成されている。
第1図の矢視部側面を示す第2図において、
プレート12はフレーム11よりも間隔を隔てた
下方に位置しており、各こま支持孔15の内周縁
にはそれぞれこま支持部(段部)15aが形成さ
れている。そり20の下面は凹状のそり面20a
が形成され、後述のローデイングローラ52やチ
エーンローラ72が当接する。
プレート12はフレーム11よりも間隔を隔てた
下方に位置しており、各こま支持孔15の内周縁
にはそれぞれこま支持部(段部)15aが形成さ
れている。そり20の下面は凹状のそり面20a
が形成され、後述のローデイングローラ52やチ
エーンローラ72が当接する。
第3図は本発明のめつき装置のめつき処理部分
の断面図であり、トツププレート45の上部に搬
送用パレツトPのプレート部12が載置され、さ
らにワーク搬送用パレツトPのプレート部12に
はこま支持部15aを持つたこま支持孔15が形
成され、このこま支持孔15に第4図、第5図に
示すような各種正方形状のこま25,25′か交
換自在に挿入されている。
の断面図であり、トツププレート45の上部に搬
送用パレツトPのプレート部12が載置され、さ
らにワーク搬送用パレツトPのプレート部12に
はこま支持部15aを持つたこま支持孔15が形
成され、このこま支持孔15に第4図、第5図に
示すような各種正方形状のこま25,25′か交
換自在に挿入されている。
このこま25,25′には、ワーク外形寸法に
対応してワーク支持部26aと電極部を持つたノ
ズル46より噴射されるめつき液を通過しうるめ
つき孔26が形成されており、ワークをパツキン
G2を介して嵌合すると共にトツププレート45
とパツキンG1を介して載置されることとなる。
対応してワーク支持部26aと電極部を持つたノ
ズル46より噴射されるめつき液を通過しうるめ
つき孔26が形成されており、ワークをパツキン
G2を介して嵌合すると共にトツププレート45
とパツキンG1を介して載置されることとなる。
第4、第5図は各種ワークサイズに対応した正
方形状のこま25,25′を示すものであり、即
ち第4図のこま25にはワーク外形寸法WAのワ
ークWが丁度嵌り合う大きさのワーク支持部26
aが形成され、一方第5図のこま25′にはワー
ク外形寸法WBのワークW′が丁度嵌り合う大き
さのワーク支持部26′aが形成されている。
方形状のこま25,25′を示すものであり、即
ち第4図のこま25にはワーク外形寸法WAのワ
ークWが丁度嵌り合う大きさのワーク支持部26
aが形成され、一方第5図のこま25′にはワー
ク外形寸法WBのワークW′が丁度嵌り合う大き
さのワーク支持部26′aが形成されている。
第6図は本発明のワーク搬送用パレツトを使用
するめつき処理装置の縦断面略図を示しており、
この第6図において、ワーク供給側を後部としワ
ーク搬送方向を前方とすると、めつき処理部1の
後方にローデイング部2が配置されており、めつ
き処理部1の前部に水洗部3及び水浸漬部4が順
次配置されている。ローデイング部2の後端部か
ら水洗部3の後端部迄の間に渡つては、パレツト
搬送装置8が設けられ、水洗部3の後端部から浸
漬部4の前端部迄に渡つてはパレツト搬送用コン
ベア装置10が配置されている。
するめつき処理装置の縦断面略図を示しており、
この第6図において、ワーク供給側を後部としワ
ーク搬送方向を前方とすると、めつき処理部1の
後方にローデイング部2が配置されており、めつ
き処理部1の前部に水洗部3及び水浸漬部4が順
次配置されている。ローデイング部2の後端部か
ら水洗部3の後端部迄の間に渡つては、パレツト
搬送装置8が設けられ、水洗部3の後端部から浸
漬部4の前端部迄に渡つてはパレツト搬送用コン
ベア装置10が配置されている。
ローデイング部2は左右1対のローデイングロ
ーラ52を備えている。水洗部3は前後3列に水
洗ケース61を備えると共に、パレツト通路66
を有し、通路66の上下にはそれぞれ水噴射ノズ
ル63が配置され、通路66に向かい水を噴射す
るようになつている。ケース61の下側には受け
皿64及び回収タンク65が配置されている。
ーラ52を備えている。水洗部3は前後3列に水
洗ケース61を備えると共に、パレツト通路66
を有し、通路66の上下にはそれぞれ水噴射ノズ
ル63が配置され、通路66に向かい水を噴射す
るようになつている。ケース61の下側には受け
皿64及び回収タンク65が配置されている。
水浸漬部4には底浅のプール67が配置されて
おり、プール67には水が注入されている。また
コンベア装置10の後端部にはアンロード部81
が配置されている。
おり、プール67には水が注入されている。また
コンベア装置10の後端部にはアンロード部81
が配置されている。
めつき処理部1は第8図に示すように取付フレ
ーム30に台板31を備え、台板上に噴射めつき
用セルブロツク32が設けられている。各セルに
はパレツトPの各こま支持孔15に対応するめつ
き液噴射ノズル46がそれぞれ内蔵されている。
台板31の左右両側には上方に突出するステー3
5が配置されており、ステー35の上端面には上
方突出状の位置決めピン36がそれぞれ設けられ
ている。ステー35の左右の間隔はパレツトPの
そり20の間隔に合致している。セルブロツク3
2の上方には上下に移動可能なシリンダー40を
備えた上部ホルダー37が配置されており、ワー
クを押さえ、給電を行なう。
ーム30に台板31を備え、台板上に噴射めつき
用セルブロツク32が設けられている。各セルに
はパレツトPの各こま支持孔15に対応するめつ
き液噴射ノズル46がそれぞれ内蔵されている。
台板31の左右両側には上方に突出するステー3
5が配置されており、ステー35の上端面には上
方突出状の位置決めピン36がそれぞれ設けられ
ている。ステー35の左右の間隔はパレツトPの
そり20の間隔に合致している。セルブロツク3
2の上方には上下に移動可能なシリンダー40を
備えた上部ホルダー37が配置されており、ワー
クを押さえ、給電を行なう。
搬送装置8としては、左右1対のビームガイド
50及び左右1対の搬送ビーム51が備えられて
おり、上記ビームガイド50の昇降動作と搬送ビ
ーム51の前後方向の移動動作により、搬送ビー
ム51は第7図に示すようなスクエア動作を行え
るようになつている。即ち第7図において、搬送
ビーム51は実線の位置を起点として、上昇、前
進、下降、後退(戻り)の行程を繰返すことがで
きる。Sは前後方向の移動ストロークを示してい
る。
50及び左右1対の搬送ビーム51が備えられて
おり、上記ビームガイド50の昇降動作と搬送ビ
ーム51の前後方向の移動動作により、搬送ビー
ム51は第7図に示すようなスクエア動作を行え
るようになつている。即ち第7図において、搬送
ビーム51は実線の位置を起点として、上昇、前
進、下降、後退(戻り)の行程を繰返すことがで
きる。Sは前後方向の移動ストロークを示してい
る。
なお搬送ビーム51は第8図に示すようにビー
ムガイド50よりも内方側へと突出し、その内周
端部の上面がパレツトPの両端搬送用受け部17
に当接し、搬送用パレツトPを持ち上げることが
できるようになつている。
ムガイド50よりも内方側へと突出し、その内周
端部の上面がパレツトPの両端搬送用受け部17
に当接し、搬送用パレツトPを持ち上げることが
できるようになつている。
次にめつき処理及び水洗作業等について説明す
る。
る。
(1) 第4図のようなワークWのめつきを行なう場
合には、そのワークWの外形寸法WAに合うこ
ま25を選び、パレツトPの各こま支持孔15
の支持部15aにそれぞれこま25を載せ、各
こま25のワーク支持部26aにワークW(例
えば集積回路の基板)をそれぞれ載せる。
合には、そのワークWの外形寸法WAに合うこ
ま25を選び、パレツトPの各こま支持孔15
の支持部15aにそれぞれこま25を載せ、各
こま25のワーク支持部26aにワークW(例
えば集積回路の基板)をそれぞれ載せる。
ワークWはそのめつき面を下側にしてこま2
5に載せられる。
5に載せられる。
また第5図のような異なつた外形寸法WBの
ワークW′をめつきする場合には、そのワーク
W′の外形寸法WBに合うこま25′を選び、パ
レツトPの各こま支持孔15のこま支持部15
aにそれぞれこま25′を載せ、各こま25′の
ワーク支持部26aにワークW′がそれぞれ載
せられる。
ワークW′をめつきする場合には、そのワーク
W′の外形寸法WBに合うこま25′を選び、パ
レツトPの各こま支持孔15のこま支持部15
aにそれぞれこま25′を載せ、各こま25′の
ワーク支持部26aにワークW′がそれぞれ載
せられる。
(2) 例えば第4図のワークWをこま25を介して
載せた搬送用パレツトPは、ローデイング部2
の上に載せられる。この時搬送用パレツトPは
第2図のそり20がローデイングローラ52の
上に載り、搬送ビーム51は後方位置でしかも
ビームガイド50と共に下降している。
載せた搬送用パレツトPは、ローデイング部2
の上に載せられる。この時搬送用パレツトPは
第2図のそり20がローデイングローラ52の
上に載り、搬送ビーム51は後方位置でしかも
ビームガイド50と共に下降している。
(3) ビームガイド50、搬送ビーム51は共に上
昇し、それによりローデイング部2の搬送用パ
レツトPをローデイングローラ52から搬送用
受け部17部分(第2図)を介して持ち上げ
る。
昇し、それによりローデイング部2の搬送用パ
レツトPをローデイングローラ52から搬送用
受け部17部分(第2図)を介して持ち上げ
る。
続いて搬送ビーム51が前方に移動して搬送
用パレツトPをめつき処理部1内まで搬送し、
下降することにより搬送パレツトPを第8図の
ように位置決めピン36を有したステー35の
上に載せ、そして搬送ビーム51は後方に戻
る。
用パレツトPをめつき処理部1内まで搬送し、
下降することにより搬送パレツトPを第8図の
ように位置決めピン36を有したステー35の
上に載せ、そして搬送ビーム51は後方に戻
る。
搬送用パレツトPは位置決めピン36により
前後、左右方向の位置決めがなされ、各ワーク
Wは第3図のようにめつき噴射ノズル46の上
に位置する。
前後、左右方向の位置決めがなされ、各ワーク
Wは第3図のようにめつき噴射ノズル46の上
に位置する。
(4) パレツトPをめつき処理部1にセツトし終え
ると、第8図の上部ホルダー37が下降しワー
クを押さえると共にワークに給電する。
ると、第8図の上部ホルダー37が下降しワー
クを押さえると共にワークに給電する。
(5) 噴射ノズル46からめつき液がワークWの下
面(めつき面)に向けて噴射され、それにより
めつき面に金めつきが施される。噴射されため
つき液は第6図のめつきタンク33に戻され
る。
面(めつき面)に向けて噴射され、それにより
めつき面に金めつきが施される。噴射されため
つき液は第6図のめつきタンク33に戻され
る。
(6) めつき処理が終ると上部ホルダー37が上昇
し、続いて搬送ビーム51が上昇してその前半
分でめつき処理部内の搬送用パレツトPを持ち
上げ、前方に移動してコンベア装置10の始端
部まで運び、下降することにより搬送用パレツ
トPをコンベア装置10のチエーンローラ72
に載せる。
し、続いて搬送ビーム51が上昇してその前半
分でめつき処理部内の搬送用パレツトPを持ち
上げ、前方に移動してコンベア装置10の始端
部まで運び、下降することにより搬送用パレツ
トPをコンベア装置10のチエーンローラ72
に載せる。
(7) チエーンローラ72には第2図の搬送用パレ
ツトPのそり20が支持され、前方へと搬送さ
れる。そして第6図の水洗部3の通路66内を
通過する。水洗部3はシヤワー部61と下部循
環槽65で構成される。それぞれは3段の向流
シヤワー洗浄方式を採用し、洗浄水はシヤワー
ノズル63より噴射される。3段向流シヤワー
洗浄を設けることにより各槽での洗浄効果は向
上し、次工程への原液の汲み込みは皆無とな
る。よつてワークの洗浄は小さな給水量で可能
となり、かかる廃水処理装置への水量負荷とし
ては極端に小さなものとなり、装備コストも廉
価となるメリツトを有する。
ツトPのそり20が支持され、前方へと搬送さ
れる。そして第6図の水洗部3の通路66内を
通過する。水洗部3はシヤワー部61と下部循
環槽65で構成される。それぞれは3段の向流
シヤワー洗浄方式を採用し、洗浄水はシヤワー
ノズル63より噴射される。3段向流シヤワー
洗浄を設けることにより各槽での洗浄効果は向
上し、次工程への原液の汲み込みは皆無とな
る。よつてワークの洗浄は小さな給水量で可能
となり、かかる廃水処理装置への水量負荷とし
ては極端に小さなものとなり、装備コストも廉
価となるメリツトを有する。
(8) 搬送用パレツトPは水洗部3を通過後、中間
ローラ部77において下降してプール67内に
浸漬され、ストツクされる。即ちプール67内
に浸漬することによりめつき面の乾燥や酸化を
防止する。ストツクされる搬送用パレツトPに
対してはチエーンローラ72は滑動或は転動す
る。プール67内の搬送用パレツトPはアンロ
ード部81から順次取出される。
ローラ部77において下降してプール67内に
浸漬され、ストツクされる。即ちプール67内
に浸漬することによりめつき面の乾燥や酸化を
防止する。ストツクされる搬送用パレツトPに
対してはチエーンローラ72は滑動或は転動す
る。プール67内の搬送用パレツトPはアンロ
ード部81から順次取出される。
(別の実施例)
(1) 図示の実施例は金めつき処理に適用した例を
示しているが、噴射式の銀めつき処理等各種噴
射式めつきに適用できる。
示しているが、噴射式の銀めつき処理等各種噴
射式めつきに適用できる。
(2) 図の説明では2種類のこましか開示していな
いが、各種ワークの寸法に応じたワーク支持部
を有する各種のこまを用いることができる。た
だしそれらの外形寸法は第4図、第5図のもの
と同一である。
いが、各種ワークの寸法に応じたワーク支持部
を有する各種のこまを用いることができる。た
だしそれらの外形寸法は第4図、第5図のもの
と同一である。
(発明の効果)
以上説明したように本発明は:
(1) 複数のワークを嵌合したこまを支持できる搬
送用パレツトであり、パレツト自体に搬送装置
8に支持される搬送用受け部17を備えている
ので、ワークを同時にめつき処理部1に供給で
き、かつ同時に取出すこともでき、従来のよう
に1つずつめつき処理部1にワークを載せる必
要はなくなり、ワークの供給取出し作業の能率
が向上する。
送用パレツトであり、パレツト自体に搬送装置
8に支持される搬送用受け部17を備えている
ので、ワークを同時にめつき処理部1に供給で
き、かつ同時に取出すこともでき、従来のよう
に1つずつめつき処理部1にワークを載せる必
要はなくなり、ワークの供給取出し作業の能率
が向上する。
(2) ボデイプレート12にこま支持孔15を形成
すると共に各こま支持孔15にこま支持部15
aを形成し、各こま支持部15aに、各種サイ
ズのワークの外形に対応する寸法のワーク支持
部をそれぞれ有する同一外形のワーク支持用こ
ま25,25′を交換自在に載せるようにして
いるので、こまの種類を変更するだけで各種サ
イズのワークに対してパレツトPを共通化でき
る。
すると共に各こま支持孔15にこま支持部15
aを形成し、各こま支持部15aに、各種サイ
ズのワークの外形に対応する寸法のワーク支持
部をそれぞれ有する同一外形のワーク支持用こ
ま25,25′を交換自在に載せるようにして
いるので、こまの種類を変更するだけで各種サ
イズのワークに対してパレツトPを共通化でき
る。
即ち各種サイズのワークに対して共通の搬送
用パレツトPによりめつき処理できるので、ワ
ーク毎に搬送用パレツトを製造して交換する必
要はなく、搬送用パレツト の製造及び管理コストを節約できると共に段取
り替え作業の能率も向上する。
用パレツトPによりめつき処理できるので、ワ
ーク毎に搬送用パレツトを製造して交換する必
要はなく、搬送用パレツト の製造及び管理コストを節約できると共に段取
り替え作業の能率も向上する。
(3) 第3図のようにトツププレート45と、搬送
用パレツトPに嵌合されたコマ25,25′が
パツキンG1を介して載置され、またコマ2
5,25′ではワークWがパツキンG2を介し
て嵌合されるようにすると、めつき液が付着す
るのはコマ25,25′のめつき孔26及びワ
ークの表面のみである。
用パレツトPに嵌合されたコマ25,25′が
パツキンG1を介して載置され、またコマ2
5,25′ではワークWがパツキンG2を介し
て嵌合されるようにすると、めつき液が付着す
るのはコマ25,25′のめつき孔26及びワ
ークの表面のみである。
このワークが嵌合されたこま25,25′を
搬送用パレツトPにて搬送するため、全面がめ
つき液の付着したトツププレートに直接嵌合さ
れたワークをトツププレートごと搬送する必要
はなく、めつき液の持ち出し量を著しく少なく
することができ、めつき液のロス、液管理のコ
ズト大幅に節約できる。
搬送用パレツトPにて搬送するため、全面がめ
つき液の付着したトツププレートに直接嵌合さ
れたワークをトツププレートごと搬送する必要
はなく、めつき液の持ち出し量を著しく少なく
することができ、めつき液のロス、液管理のコ
ズト大幅に節約できる。
第1図は本発明による搬送用パレツトの平面
図、第2図は第1図の矢視部側面図、第3図は
めつき処理装置のめつき処理部の断面図、第4、
第5図はそれぞれ各種ワークサイズ用のこまの断
面図、第6図はめつき処理装置の側面略図、第7
図は搬送装置の移動状態を示す側面略図、第8図
は第6図の−断面拡大図である。 8……搬送装置、12……ボデイプレート、1
5……こま支持孔、15a……こま支持部、17
……搬送用受け部、25,25′……ワーク支持
用こま、26,26′……めつき孔、26a,2
6a′……ワーク支持部、46……めつき液噴射ノ
ズル。
図、第2図は第1図の矢視部側面図、第3図は
めつき処理装置のめつき処理部の断面図、第4、
第5図はそれぞれ各種ワークサイズ用のこまの断
面図、第6図はめつき処理装置の側面略図、第7
図は搬送装置の移動状態を示す側面略図、第8図
は第6図の−断面拡大図である。 8……搬送装置、12……ボデイプレート、1
5……こま支持孔、15a……こま支持部、17
……搬送用受け部、25,25′……ワーク支持
用こま、26,26′……めつき孔、26a,2
6a′……ワーク支持部、46……めつき液噴射ノ
ズル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 ワークの搬送用パレツトを上部に載置したト
ツププレートの下側からめつき液が噴射されるめ
つき液のワーク搬送用パレツトにおいて、前記ワ
ーク搬送用パレツトには搬送用受け部、こま支持
部を持つたこま支持孔が設けられ、こま支持孔に
はワーク外形寸法に対応したワーク支持部と該ワ
ーク支持部に連設しためつき液を通過し得るめつ
き孔を有するこまが嵌合されており、前記こまは
ワーク搬送用パレツトに交換自在に嵌合されてい
ることを特徴とするめつき処理装置のワーク搬送
用パレツト。 2 前記こま、ワーク搬送用パレツト及びトツプ
プレートの間で、噴射されためつき液が外部に漏
出しない程度に気密に保持されている特許請求の
範囲第1項記載のめつき処理装置のワーク搬送用
パレツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31359386A JPS63166991A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | めつき処理装置のワ−ク搬送用パレツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31359386A JPS63166991A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | めつき処理装置のワ−ク搬送用パレツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63166991A JPS63166991A (ja) | 1988-07-11 |
| JPH0211679B2 true JPH0211679B2 (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=18043182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31359386A Granted JPS63166991A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | めつき処理装置のワ−ク搬送用パレツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63166991A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0834211B2 (ja) * | 1989-05-02 | 1996-03-29 | 日本電装株式会社 | めっき装置 |
| CN202925122U (zh) * | 2012-08-28 | 2013-05-08 | 南通市申海工业技术科技有限公司 | 核反应堆堆内构件表面处理工艺装置 |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP31359386A patent/JPS63166991A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63166991A (ja) | 1988-07-11 |
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Legal Events
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