JPH02120221A - シリカ粒子の製造方法 - Google Patents

シリカ粒子の製造方法

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片山 英孝
Kuniharu Nakayoshi
中吉 邦治
Takeyuki Suzuki
健之 鈴木
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007070163A (ja) * 2005-09-07 2007-03-22 Tokuyama Corp シリカ系酸化物粒子の製造方法
JP2011089069A (ja) * 2009-10-23 2011-05-06 Nippon Shokubai Co Ltd 有機無機複合粒子の製造方法
JP2011116864A (ja) * 2009-12-03 2011-06-16 Nippon Shokubai Co Ltd 微粒子の製造方法
JP2022001545A (ja) * 2020-06-22 2022-01-06 三菱ケミカル株式会社 シリカ粒子の製造方法、シリカゾルの製造方法、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5841810A (ja) * 1981-09-07 1983-03-11 Tokuyama Soda Co Ltd 複合修復材
JPS6272514A (ja) * 1985-09-25 1987-04-03 メルク・パテント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 球状SiO↓2粒子
JPS62207356A (ja) * 1986-03-07 1987-09-11 Nippon Shokubai Kagaku Kogyo Co Ltd 滑り性改良方法
JPS6374911A (ja) * 1986-09-19 1988-04-05 Shin Etsu Chem Co Ltd 微細球状シリカの製造法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5841810A (ja) * 1981-09-07 1983-03-11 Tokuyama Soda Co Ltd 複合修復材
JPS6272514A (ja) * 1985-09-25 1987-04-03 メルク・パテント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 球状SiO↓2粒子
JPS62207356A (ja) * 1986-03-07 1987-09-11 Nippon Shokubai Kagaku Kogyo Co Ltd 滑り性改良方法
JPS6374911A (ja) * 1986-09-19 1988-04-05 Shin Etsu Chem Co Ltd 微細球状シリカの製造法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007070163A (ja) * 2005-09-07 2007-03-22 Tokuyama Corp シリカ系酸化物粒子の製造方法
JP2011089069A (ja) * 2009-10-23 2011-05-06 Nippon Shokubai Co Ltd 有機無機複合粒子の製造方法
JP2011116864A (ja) * 2009-12-03 2011-06-16 Nippon Shokubai Co Ltd 微粒子の製造方法
JP2022001545A (ja) * 2020-06-22 2022-01-06 三菱ケミカル株式会社 シリカ粒子の製造方法、シリカゾルの製造方法、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法

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