JPH052607B2 - - Google Patents
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- JPH052607B2 JPH052607B2 JP63273170A JP27317088A JPH052607B2 JP H052607 B2 JPH052607 B2 JP H052607B2 JP 63273170 A JP63273170 A JP 63273170A JP 27317088 A JP27317088 A JP 27317088A JP H052607 B2 JPH052607 B2 JP H052607B2
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273170A JPH02120221A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | シリカ粒子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273170A JPH02120221A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | シリカ粒子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02120221A JPH02120221A (ja) | 1990-05-08 |
| JPH052607B2 true JPH052607B2 (de) | 1993-01-12 |
Family
ID=17524074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63273170A Granted JPH02120221A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | シリカ粒子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02120221A (de) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4895556B2 (ja) * | 2005-09-07 | 2012-03-14 | 株式会社トクヤマ | シリカ系酸化物粒子の製造方法 |
| JP5704740B2 (ja) * | 2009-10-23 | 2015-04-22 | 株式会社日本触媒 | 有機無機複合粒子の製造方法 |
| JP5558796B2 (ja) * | 2009-12-03 | 2014-07-23 | 株式会社日本触媒 | 微粒子の製造方法 |
| JP7491081B2 (ja) * | 2020-06-22 | 2024-05-28 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子の製造方法、シリカゾルの製造方法、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841810A (ja) * | 1981-09-07 | 1983-03-11 | Tokuyama Soda Co Ltd | 複合修復材 |
| DE3616133A1 (de) * | 1985-09-25 | 1987-11-19 | Merck Patent Gmbh | Kugelfoermige sio(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-partikel |
| JPS62207356A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-11 | Nippon Shokubai Kagaku Kogyo Co Ltd | 滑り性改良方法 |
| JPS6374911A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 微細球状シリカの製造法 |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP63273170A patent/JPH02120221A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02120221A (ja) | 1990-05-08 |
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