JPH0212101A - 石英ガラス系ロッドレンズ - Google Patents
石英ガラス系ロッドレンズInfo
- Publication number
- JPH0212101A JPH0212101A JP16095588A JP16095588A JPH0212101A JP H0212101 A JPH0212101 A JP H0212101A JP 16095588 A JP16095588 A JP 16095588A JP 16095588 A JP16095588 A JP 16095588A JP H0212101 A JPH0212101 A JP H0212101A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz glass
- rod lens
- glass rod
- rod
- fluorine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1415—Reactant delivery systems
- C03B19/1423—Reactant deposition burners
- C03B19/143—Plasma vapour deposition
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
- C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
- C03B2203/10—Internal structure or shape details
- C03B2203/22—Radial profile of refractive index, composition or softening point
- C03B2203/26—Parabolic or graded index [GRIN] core profile
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、医療用等に用いられる極細径イメージファ
イバの先端に取付けられる石英系ロッドレンズに関する
もので、耐熱、耐放射線に優れたロッドレンズに関する
ものである。
イバの先端に取付けられる石英系ロッドレンズに関する
もので、耐熱、耐放射線に優れたロッドレンズに関する
ものである。
（従来の技術）
従来のこの種のロッドレンズは多成分系ガラスからなる
ものであり、イオン交換によって作られていてなだらか
な屈折率分布を有している為に非常に良い特性を示し、
広（世の中で使用されている。
ものであり、イオン交換によって作られていてなだらか
な屈折率分布を有している為に非常に良い特性を示し、
広（世の中で使用されている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら多成分系ガラスは耐薬品性、耐熱性、耐放
射線等に劣るため、これらに優れた石英ガラスのロッド
レンズが望まれている。石英ガラスの場合、屈折率のコ
ントロールはＧｅＯ□Ｐ２Ｏ５、Ｂａ５ｓ等の金属酸化
物をドープするという方法が一般的であるが、これらは
ほとんど熱拡散しないのでなだらかなプロファイルが得
られない。そのためコア径１００μｍ程度であれば使用
できるが、３００μｍ程度になると良い画像が得られな
いというのが実情である。
射線等に劣るため、これらに優れた石英ガラスのロッド
レンズが望まれている。石英ガラスの場合、屈折率のコ
ントロールはＧｅＯ□Ｐ２Ｏ５、Ｂａ５ｓ等の金属酸化
物をドープするという方法が一般的であるが、これらは
ほとんど熱拡散しないのでなだらかなプロファイルが得
られない。そのためコア径１００μｍ程度であれば使用
できるが、３００μｍ程度になると良い画像が得られな
いというのが実情である。
（課題を解決するための手段）
この発明は、以上の観点からドーパントとして拡散速度
の大きいフッ素のみを用いてプロファイルの形成を図っ
たもので、石英ガラスを主成分とし、その中心部から半
径方向外方に向かってフッ素の添加量を増加させて屈折
率を減少させたものである。
の大きいフッ素のみを用いてプロファイルの形成を図っ
たもので、石英ガラスを主成分とし、その中心部から半
径方向外方に向かってフッ素の添加量を増加させて屈折
率を減少させたものである。
製法としては予め石英ガラスのロッドを作り、この周り
に火炎加水分解法によりＳｉＯ□のガラス微粒子からな
る層を堆積させ、これをフッ素含有ガス雰囲気で透明ガ
ラス化させる方法、あるいは石英ガラスロッドの周りに
プラズマ法により直接ガラス化されたフッ素を含む５ｉ
Ｏｚガラス層を多数層堆積させ、その際層毎に次第にフ
ッ素の含有量を増加するようにして半径方向に屈折率分
布を付ける方法が挙げられる。この方法によれば層間の
熱拡散が十分に行われプロファイルにゆらぎのないなだ
らかなものが得られるため３００〜ｔ、ｏ ｏ 。
に火炎加水分解法によりＳｉＯ□のガラス微粒子からな
る層を堆積させ、これをフッ素含有ガス雰囲気で透明ガ
ラス化させる方法、あるいは石英ガラスロッドの周りに
プラズマ法により直接ガラス化されたフッ素を含む５ｉ
Ｏｚガラス層を多数層堆積させ、その際層毎に次第にフ
ッ素の含有量を増加するようにして半径方向に屈折率分
布を付ける方法が挙げられる。この方法によれば層間の
熱拡散が十分に行われプロファイルにゆらぎのないなだ
らかなものが得られるため３００〜ｔ、ｏ ｏ 。
μｍ程度の径の大きなものでも十分使用に供することが
できる。
できる。
母日Ｉ＃
第１図は、この発明方法の一例であるプラズマ法を示し
たので、ｌは石英ガラスロッドでその軸の周りに回転さ
れるとともにその軸方向にトラバースされる。２は後述
する方法によって石英ガラスロッド１の外周に堆積され
たＦドープ石英ガラス層で外側に向かって次第にＦのド
ープ量が増大される。３はプラズマ発生装置で、耐火物
バイブ３１の周りに高周波コイル３２が巻回されていて
プラズマ４を発生させる。５はプラズマ炎４内に５ｉＣ
１４および０□を供給するバイブ、６はＣＦ４供給バイ
ブである。か（してプラズマ反応によってＦがドープさ
れたＳｉＯ□が生成され石英ガラスロッド１の外周に堆
積される。なおバイブロ内へのＣＦ。
たので、ｌは石英ガラスロッドでその軸の周りに回転さ
れるとともにその軸方向にトラバースされる。２は後述
する方法によって石英ガラスロッド１の外周に堆積され
たＦドープ石英ガラス層で外側に向かって次第にＦのド
ープ量が増大される。３はプラズマ発生装置で、耐火物
バイブ３１の周りに高周波コイル３２が巻回されていて
プラズマ４を発生させる。５はプラズマ炎４内に５ｉＣ
１４および０□を供給するバイブ、６はＣＦ４供給バイ
ブである。か（してプラズマ反応によってＦがドープさ
れたＳｉＯ□が生成され石英ガラスロッド１の外周に堆
積される。なおバイブロ内へのＣＦ。
の供給量は所定時間毎に増加されるようになされていて
堆積されたガラスの屈折率は外側に向かうにつれて低下
する。次にＦドープ５ｉＯｚが生成された石英ガラスロ
ッドを所定時間加熱してＦを拡散させて半径方向になだ
らかな屈折率分布をもったガラスロッドとする。最後に
このロッドをファイバ化して所望の径のロッドレンズと
する。
堆積されたガラスの屈折率は外側に向かうにつれて低下
する。次にＦドープ５ｉＯｚが生成された石英ガラスロ
ッドを所定時間加熱してＦを拡散させて半径方向になだ
らかな屈折率分布をもったガラスロッドとする。最後に
このロッドをファイバ化して所望の径のロッドレンズと
する。
（実施例）
予め用意した直径３ ｍｍ 、長さ５００ ｍｍ の
石英ガラスロッドＩを２０ ｒｐｍで回転させつつ軸方
向に５０ ｍｍ ７分の速度でトラバースさせる。一方
Ａｒプラズマガスをバイブ３１内に供給しつつ高周波コ
イル３２にｌ ＯＭＨｚを印加してＡｒプラズマ炎４を
発生させるとともにバイブ５内に５ＩＣ１４を２００Ｓ
ＣＣｍ 、 ０２を３００ ｓｃｃｍ、バイブロ内にＣ
Ｆ、を２０ ｓｃｃｍづつ１時間流してＦを０．２モル
％含む５ｉＯｚガラスを０．５ ｍｍ厚さに堆積させた
。引続き他の条件を変えずに順次ＣＦ４の製置なｌ Ｏ
ｓｃｃｍづつ増加させて同一厚さの層を１０層形成し、
外径１３ ｍｍのロッドとした。次にこのロッドを１５
００’ｃの炉に２０時間入れて熱拡散を図った。最後に
このロッドを３００μｍにファイバ化し２ ｍｍの長さ
に切断してロッドレンズとした。このロッドレンズは中
心部の解像度７０ラインベア／ｍｍ、周辺部の解像度４
０ラインベア／ｍｍであって非常に良い特性を示した。
石英ガラスロッドＩを２０ ｒｐｍで回転させつつ軸方
向に５０ ｍｍ ７分の速度でトラバースさせる。一方
Ａｒプラズマガスをバイブ３１内に供給しつつ高周波コ
イル３２にｌ ＯＭＨｚを印加してＡｒプラズマ炎４を
発生させるとともにバイブ５内に５ＩＣ１４を２００Ｓ
ＣＣｍ 、 ０２を３００ ｓｃｃｍ、バイブロ内にＣ
Ｆ、を２０ ｓｃｃｍづつ１時間流してＦを０．２モル
％含む５ｉＯｚガラスを０．５ ｍｍ厚さに堆積させた
。引続き他の条件を変えずに順次ＣＦ４の製置なｌ Ｏ
ｓｃｃｍづつ増加させて同一厚さの層を１０層形成し、
外径１３ ｍｍのロッドとした。次にこのロッドを１５
００’ｃの炉に２０時間入れて熱拡散を図った。最後に
このロッドを３００μｍにファイバ化し２ ｍｍの長さ
に切断してロッドレンズとした。このロッドレンズは中
心部の解像度７０ラインベア／ｍｍ、周辺部の解像度４
０ラインベア／ｍｍであって非常に良い特性を示した。
（発明の効果）
この発明は、以上のようにフッ素のみをドーパントとし
て含む石英ガラス系ロッドレンズであるので屈折率分布
にゆらぎのない優れたものが得られる。
て含む石英ガラス系ロッドレンズであるので屈折率分布
にゆらぎのない優れたものが得られる。
第１図は、この発明の石英ガラス系ロッドレンズを得る
ための一実施例を示す説明図。 図において、１：石英ガラスロッド、４：プラズマ炎、
５ ： ５ｉＣ１＋ 、 Ｌ供給バイブ、６ ： ＣＦ
、 供給バイブ。
ための一実施例を示す説明図。 図において、１：石英ガラスロッド、４：プラズマ炎、
５ ： ５ｉＣ１＋ 、 Ｌ供給バイブ、６ ： ＣＦ
、 供給バイブ。
Claims (1)
- 石英ガラスを主成分とし、中心部から半径方向外方に向
かってフッ素のドープ量が増加されて屈折率が減少され
てなる直径３００〜１０００μｍのフッ素ドープ石英ガ
ラス系ロッドレンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16095588A JPH0212101A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 石英ガラス系ロッドレンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16095588A JPH0212101A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 石英ガラス系ロッドレンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0212101A true JPH0212101A (ja) | 1990-01-17 |
Family
ID=15725807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16095588A Pending JPH0212101A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 石英ガラス系ロッドレンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0212101A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0565648A (ja) * | 1991-09-06 | 1993-03-19 | Alps Electric Co Ltd | 光学素子およびその製造方法 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP16095588A patent/JPH0212101A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0565648A (ja) * | 1991-09-06 | 1993-03-19 | Alps Electric Co Ltd | 光学素子およびその製造方法 |
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