JPH02125651A - リードフレーム - Google Patents
リードフレームInfo
- Publication number
- JPH02125651A JPH02125651A JP63279851A JP27985188A JPH02125651A JP H02125651 A JPH02125651 A JP H02125651A JP 63279851 A JP63279851 A JP 63279851A JP 27985188 A JP27985188 A JP 27985188A JP H02125651 A JPH02125651 A JP H02125651A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- island
- semiconductor chip
- lead frame
- slits
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/30—Die-attach connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/90—Bond pads, in general
- H10W72/931—Shapes of bond pads
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/731—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
- H10W90/736—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はリードフレームに関する。
樹脂封止型半導体装置の普及に伴い、その信頼性がます
ます重要となってきた。
ます重要となってきた。
特に大型の半導体チップのアイランドの密着性は重要問
題である。
題である。
第2図は従来のリードフレームの一例の平面図である。
リードフレームは、平行に離間して延在する2本のフレ
ーム枠5と、両フレーム枠と吊りリード2によって連結
せられるアイランド1aと、先端部分がアイランド1と
近接する如く囲んで設けられ、かつタイバー4の支持せ
られる複数本のり−ド3による銅合金の金属帯板で構成
されていた。
ーム枠5と、両フレーム枠と吊りリード2によって連結
せられるアイランド1aと、先端部分がアイランド1と
近接する如く囲んで設けられ、かつタイバー4の支持せ
られる複数本のり−ド3による銅合金の金属帯板で構成
されていた。
二点鎖線に示すように、ICチップ7は銀ベースをノズ
ル噴射したグイボンディング材のベーキングによりアイ
ランド1に溶着された後、リード3と共に樹脂封止され
る。
ル噴射したグイボンディング材のベーキングによりアイ
ランド1に溶着された後、リード3と共に樹脂封止され
る。
上述した従来のリードフレームでは、半導体チップ、リ
ードフレーム材及びグイボンディング材の各熱膨張係数
が大きく異なるため、グイボンディング材のベーキング
などのその後の製造工程で熱が加わる場合に、熱応力が
半導体チップとリードフレーム間に生じ、半導体チップ
がアイランドから剥離することがあった。
ードフレーム材及びグイボンディング材の各熱膨張係数
が大きく異なるため、グイボンディング材のベーキング
などのその後の製造工程で熱が加わる場合に、熱応力が
半導体チップとリードフレーム間に生じ、半導体チップ
がアイランドから剥離することがあった。
また密着性を確認する温度サイクル試験などにおいては
、熱応力が繰返し負荷させるため半導体チップとダイボ
ンディング材間に疲労によるクラックが発生するという
欠点があった 本発明の目的は、半導体チップの密着性の良いアイラン
ドを有するリードフレームを提供することにある。
、熱応力が繰返し負荷させるため半導体チップとダイボ
ンディング材間に疲労によるクラックが発生するという
欠点があった 本発明の目的は、半導体チップの密着性の良いアイラン
ドを有するリードフレームを提供することにある。
本発明のリードフレームは、半導体チップを載置するア
イランドの周辺を複数リードが取囲む領域を金属帯板に
連続して設けたリードフレームにおいて、前記アイラン
ドに該アイランド内をほぼ均等区分するように複数のス
リットを設けて構成されている。
イランドの周辺を複数リードが取囲む領域を金属帯板に
連続して設けたリードフレームにおいて、前記アイラン
ドに該アイランド内をほぼ均等区分するように複数のス
リットを設けて構成されている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図(a)及び(b)は本発明の第1の実施例の平面
図及びA−A’線断面図である。
図及びA−A’線断面図である。
第1図(a)に示すように、リードフレームは、アイラ
ンド1に短冊型のスリット6が設けられていることが異
る点以外は第2図の従来のリードフレームと同一である
。
ンド1に短冊型のスリット6が設けられていることが異
る点以外は第2図の従来のリードフレームと同一である
。
アイランド1には、はぼ均等分割になるように長辺方向
に六つ及び短辺方向に三つのスリット6が設けられてい
る。
に六つ及び短辺方向に三つのスリット6が設けられてい
る。
第1図(b)に示すように、ICチップ7は銀のダイボ
ンディング層8を介してアイランド1の表面に溶着され
ている。
ンディング層8を介してアイランド1の表面に溶着され
ている。
ここで、スリット6の上をICチップ7が覆っているが
、アイランド1の各区分にはスリット6によって各部で
の分散変形が可能である。
、アイランド1の各区分にはスリット6によって各部で
の分散変形が可能である。
アイランド1の外形寸法は第2図の従来のアイランド1
aと同じ寸法であるが、スリット6により分割されてい
るので、外形寸法の変形量は少なくできる。
aと同じ寸法であるが、スリット6により分割されてい
るので、外形寸法の変形量は少なくできる。
実際は、ICチップ7とアイランド1はダイボンディン
グ材の銀で溶着されているため、変形せず熱応力として
半導体チップ7とアイランド1の間に負荷されているこ
とになる。
グ材の銀で溶着されているため、変形せず熱応力として
半導体チップ7とアイランド1の間に負荷されているこ
とになる。
従って本発明によるリードフレームは、アイランドにス
リットを設けることによって熱応力を緩和できる効果が
ある。
リットを設けることによって熱応力を緩和できる効果が
ある。
本発明の第2の実施例は、アイランド1のスリット6内
にシリコーン樹脂を充填してなっている。
にシリコーン樹脂を充填してなっている。
その場合は、モールド整形した後もスリット6内にシリ
コーン樹脂があるので樹脂封止は入り込まないため、ア
イランド1の変形を吸収する働きをスリット6が失なわ
ないという利点がある。
コーン樹脂があるので樹脂封止は入り込まないため、ア
イランド1の変形を吸収する働きをスリット6が失なわ
ないという利点がある。
なおスリット内に充填する物質は弾性係数が小さく伸縮
性に富むものであればよい。
性に富むものであればよい。
以上説明したように本発明は、リードフレームのアイラ
ンド内ゆスリットを設けることにより、製造工程上で加
えられる熱、および樹脂封止後に周囲環境の温度変化に
よる半導体チップのリードフレーム間に発生する熱応力
を低減でき、半導体チップがアイランドから剥離しない
効果がある。
ンド内ゆスリットを設けることにより、製造工程上で加
えられる熱、および樹脂封止後に周囲環境の温度変化に
よる半導体チップのリードフレーム間に発生する熱応力
を低減でき、半導体チップがアイランドから剥離しない
効果がある。
第1図(a)及び(b)は本発明の第1の実施例の平面
図及びA−A′線断面図、第2図は従来のリードフレー
ムの一例の平面図である。 1・・・アイランド、2・・・吊リード、3・・・リー
ド、4・・・タイバー、5・・・フレーム枠、6・・・
スリット、7・・・ICチップ、8・・・ダイボンディ
ング層。
図及びA−A′線断面図、第2図は従来のリードフレー
ムの一例の平面図である。 1・・・アイランド、2・・・吊リード、3・・・リー
ド、4・・・タイバー、5・・・フレーム枠、6・・・
スリット、7・・・ICチップ、8・・・ダイボンディ
ング層。
Claims (1)
- 半導体チップを載置するアイランドの周辺を複数リード
が取囲む領域を金属帯板に連続して設けたリードフレー
ムにおいて、前記アイランドに該アイランド内をほぼ均
等区分するように複数のスリットを設けたことを特徴と
するリードフレーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279851A JPH0777257B2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | リードフレーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279851A JPH0777257B2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | リードフレーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02125651A true JPH02125651A (ja) | 1990-05-14 |
| JPH0777257B2 JPH0777257B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=17616824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63279851A Expired - Lifetime JPH0777257B2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | リードフレーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777257B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5264730A (en) * | 1990-01-06 | 1993-11-23 | Fujitsu Limited | Resin mold package structure of integrated circuit |
| JPH05315523A (ja) * | 1991-05-17 | 1993-11-26 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
| JPH0590960U (ja) * | 1992-05-08 | 1993-12-10 | 株式会社三井ハイテック | リードフレーム |
| US5397915A (en) * | 1991-02-12 | 1995-03-14 | Matsushita Electronics Corporation | Semiconductor element mounting die pad including a plurality of extending portions |
| US5574310A (en) * | 1991-05-17 | 1996-11-12 | Fujitsu Limited | Semiconductor package for surface mounting with reinforcing members on support legs |
| US5708294A (en) * | 1995-02-28 | 1998-01-13 | Nec Corporation | Lead frame having oblique slits on a die pad |
| US5831332A (en) * | 1991-05-17 | 1998-11-03 | Fujitsu Limited | Semiconductor package for surface mounting |
| JP2003017625A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Sony Corp | インターポーザおよび半導体パッケージ |
| US9718384B2 (en) | 2014-08-13 | 2017-08-01 | Grammer Ag | Vehicle seat with adjustable backrest |
| US9827881B2 (en) | 2014-08-13 | 2017-11-28 | Grammer Ag | Vehicle seat with adjustable backrest |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS525584U (ja) * | 1975-06-27 | 1977-01-14 | ||
| JPS554983A (en) * | 1978-06-27 | 1980-01-14 | Nec Kyushu Ltd | Lead frame for semiconductor device |
| JPS5766655A (en) * | 1980-10-09 | 1982-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | Lead frame for semiconductor device |
| JPS6042735U (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-26 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
| JPS62137859A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-20 | Nec Corp | リ−ドフレ−ム |
-
1988
- 1988-11-04 JP JP63279851A patent/JPH0777257B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS525584U (ja) * | 1975-06-27 | 1977-01-14 | ||
| JPS554983A (en) * | 1978-06-27 | 1980-01-14 | Nec Kyushu Ltd | Lead frame for semiconductor device |
| JPS5766655A (en) * | 1980-10-09 | 1982-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | Lead frame for semiconductor device |
| JPS6042735U (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-26 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
| JPS62137859A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-20 | Nec Corp | リ−ドフレ−ム |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5264730A (en) * | 1990-01-06 | 1993-11-23 | Fujitsu Limited | Resin mold package structure of integrated circuit |
| US5397915A (en) * | 1991-02-12 | 1995-03-14 | Matsushita Electronics Corporation | Semiconductor element mounting die pad including a plurality of extending portions |
| JPH05315523A (ja) * | 1991-05-17 | 1993-11-26 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
| US5574310A (en) * | 1991-05-17 | 1996-11-12 | Fujitsu Limited | Semiconductor package for surface mounting with reinforcing members on support legs |
| US5831332A (en) * | 1991-05-17 | 1998-11-03 | Fujitsu Limited | Semiconductor package for surface mounting |
| US5861669A (en) * | 1991-05-17 | 1999-01-19 | Fujitsu Limited | Semiconductor package for surface mounting |
| JPH0590960U (ja) * | 1992-05-08 | 1993-12-10 | 株式会社三井ハイテック | リードフレーム |
| US5708294A (en) * | 1995-02-28 | 1998-01-13 | Nec Corporation | Lead frame having oblique slits on a die pad |
| JP2003017625A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Sony Corp | インターポーザおよび半導体パッケージ |
| US9718384B2 (en) | 2014-08-13 | 2017-08-01 | Grammer Ag | Vehicle seat with adjustable backrest |
| US9827881B2 (en) | 2014-08-13 | 2017-11-28 | Grammer Ag | Vehicle seat with adjustable backrest |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0777257B2 (ja) | 1995-08-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2929273B2 (ja) | ボールグリッドアレイ半導体パッケージ用ユニットpcbキャリヤフレーム及びこれを用いるボールグリッドアレイ半導体パッケージの製造方法 | |
| US5888847A (en) | Technique for mounting a semiconductor die | |
| US5633528A (en) | Lead frame structure for IC devices with strengthened encapsulation adhesion | |
| JP2003133499A (ja) | リードフレーム及びその製造方法並びに該リードフレームを用いた半導体装置の製造方法 | |
| JP2001237361A (ja) | 小さな持上げマウントパッドを有するリードフレーム | |
| KR20000017634A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
| US4951120A (en) | Lead frame and semiconductor device using the same | |
| JPH02125651A (ja) | リードフレーム | |
| JPH0384958A (ja) | マルチチップパッケージの製造方法 | |
| JP2679664B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
| JPS62136059A (ja) | 樹脂封止半導体装置用リ−ドフレ−ム | |
| JPH08204107A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
| JPS63293963A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
| JPH06295971A (ja) | 半導体装置及びそのリードフレーム | |
| JP2564596B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH01278757A (ja) | リードフレーム | |
| JP3626831B2 (ja) | リードフレーム | |
| JPS6344750A (ja) | 樹脂封止型半導体装置の製造方法およびこれに用いるリ−ドフレ−ム | |
| JPS6447063A (en) | Structure of lead frame | |
| JP2705983B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH04168759A (ja) | 半導体装置及びリードフレームとその製造方法 | |
| KR0119651B1 (ko) | 반도체 패키지용 리드프레임의 탑재판 구조 | |
| JPS63133554A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH02192758A (ja) | リードフレーム及び半導体装置の製造方法 | |
| JPH02105545A (ja) | 樹脂封止型半導体装置の製造方法 |