JPH02126422A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、強磁性金属薄膜を磁気記＠層とする磁気記録
媒体の製造方法に関する。

従来の技術 磁気記録の分野に６いては、高密度記録化が近年来要望
されており、これに応えるものとして金属薄膜型の磁気
記録媒体の開発が進められている。

一般に、強磁性金属薄膜は短波長記録に適した特性を有
する反面、磁気ヘッドやシリンダとの摩擦係数が大きく
て摩耗や損傷を受は易いこと、さらに耐候性が十分と言
えないことなどの欠点を有する。このため、従来より磁
性１上に種々の保護膜層を形成させて上記欠点を改良す
る試みが多く提案されている。現在のところ、カーボン
のスパッタや炭化本床系ガスのブラスマＣＶＤによるダ
イヤモンド状カーボンｌ膜層による保護が有望視されて
いるくたとえば特開昭５３−１４３２０６号公報、特開
昭５９−１２７２３２＠公報、特開昭５９−２１３０３
０号公報、特開昭６１−１４２５２５号公報等）。

発明が解決しようとする課題 本発明者らは種々の検討の結果、ダイヤモンド状カーボ
ンＷＩ膜庖は前述の実用特性の改善に効果があることが
確認されたものの、所定の性能を満足する条件下で通常
の方法で形成すると、成膜速度が数人／ｓｅｃと極めて
低いことがわかった。

このような成膜速度では特に一番用途の多いテープ状の
磁気記録媒体への展開は難しく、高速化が必要とされる
。

本発明は、上記問題を解決するもので、量産性に優れた
ダイヤモンド状カーボン簿説層を有する磁気記録媒体の
製造方法を提供でることを目的とするものである。

課題を解決するための手段 上記問題を解決するために、本発明の磁気記録媒体の製
造方法は、強磁性金ｆｌＩ簿膜層自身を対向放電電極の
片方の電極として用い、この強磁性金属薄膜層の電極に
マイナス電圧を印加し、導入した炭化水素系ガスによる
グロー放電を発生させ、強磁性金属薄膜図表面にダイヤ
モンド状カーボン薄膜を形成させるようにしたものであ
る。

さらに、ダイヤモンド状カーボン薄膜を形成する際に、
その欣雷成ＷＸ！領域で磁気記録媒体の端部を保護テー
プで覆いながら形成させるようにしたものである。

作用 上記構成により、強磁性金属Ｗｉｖ層をマイナス電極と
してグロー放電を発生させると、その前面に多量の正の
空間電荷が形成され、これが強い電界を生じて、強磁性
金属８８８表面への陽イオンの突入やそれにともなう電
子放出を加速し、放電成膜領域の中ではこの部分が最も
活性となる。したがって導入した炭化水素系ガスの分解
、重合が強磁性金属薄ＷＡ層表面で最も進行すると考え
られ、これが成膜速度の向上となってあられれる。

このとき、強磁性金属薄膜層を電極として使用すること
から、新たな問題も生ずる。すなわち、電界集中しやす
い端部をトリガーして異常マーク放電が多発するように
なり、この放電が発生すると、その端部を中心に電流が
集中し、結果として強磁性金属薄膜層が樹枝状に飛散し
、重欠陥を生じさせる。これを防ぐ目的で端部を保護テ
ープで覆いながら形成する。特に、印加するマイナス電
圧を増加させ、反応をさらに促進させるときに、この保
護テープは有効に作用する。

実施例 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を図面に基づい
て説明する。

第２図は本発明より得られる磁気記録媒体の断面図であ
る。第２図において、１はポリエチレンテレフタレート
、ポリイミド、ポリアミド、ポリカーボネイトなどの高
分子フィルム、２は鉄、コバルト、ニッケルなどの強磁
性金属を主要構成とする合金を電気メツキ、無電解メツ
キ、スパッタリング、蒸着、イオンブレーティングなど
の方法により形成した強磁性金属薄＃！Ａ層、３はダイ
ヤモンド状カーボン１膜層である。

第１図は本発明を実施するのに用いたカーボン゛薄膜形
成装置の一例を示す概略構成である。このｖｔ置は、真
空ポンプ４が接続された真空容器５内に供給ロール６、
巻取ロール７とから成る原反走行系と、端面保護テープ
８の走行系と、放電電極関連部材、モノマーガス供給管
９から成る放電成膜系が組み込まれている。真空容器５
内は真空ポンプ４により１０−４〜１０−’　ｔｏｒｒ
まで排気され、その後モノマーガス供給管９よりメタン
ガスを中心とした炭化水素系ガスが、場合に応じてアル
ゴンがスなどと混合きれて７０−１〜１０−３　ｔｏｒ
ｒの真空度となるまで導入される。

被処理原反１０は６〜２０μｍ厚さのポリエチレンテレ
フタレートの高分子フィルム１上に０．２μｍ膜厚のコ
バルトニッケル斜め蒸肴膜の強磁性金属ｉ１１膜２を形
成させた磁気記録媒体を代表として用いた。最初は供給
ロール６に捲回されていて、成膜が始まると順次引き出
され、終了すると巻取ロール７に捲回される。搬送速度
は必要とされるダイヤモンド状カーボン′ＰＩＪＷＡ厚
に応じて１〜３０ｎ／＋！ｉｎに調整可能となっている
。放電成膜領域は隔壁１１により供給ロール６、巻取ロ
ール７の側と仕切られている。その中にａｔされている
対向電極１２には正の電圧を、もう一方の電極となる強
磁性金１ｍ膜層２には通電ローラ１３を介して負の電圧
がそれぞれ印加できるように電源１４に接続されている
。このとき商用周波交流、高周波交流も効果はあるが、
直流が最も効果が発揮される。また、異常アーク放電を
防ぐために、被処理原反１０の両端部を保護するように
被処理原反１０と平行接触させて端面保護テープ８を走
行させる。これは第２図に示すように、供給ロール・巻
取ロール方式でもよいし、エンドレス方式でもよい。ま
た、材質としても高分子フィルムでも金ｆｉ箔でもかま
わない。金属油を使用した場合は、通電ローラ１３の代
わりに、これを介してマイナス電圧を強磁性金属簿膜層
２に印加するようにしてもよい。さて、以上のような製
造方法で作製した試料をテープＡと呼ぶことにする。

さらに、比較例として端面保護テープ８を用いずに成膜
して試作したものをテープＢ、強磁性金属薄膜層２をマ
イナス電極とせずに被処理原反１０をサンドイッチする
ような位置に別のマイナス電憧を設けて成膜して試作し
たものをテープＣと呼ぶことにする。

この実験では、各々メタン−アルゴンガス雰囲気中で８
００Ｖの直流電圧を印加し、放電成膜領域を約４０　Ｃ
１ｒに規定し、被処理原反搬送速度以外を同一とした条
件でダイヤモンド状カーボン簿膜層を１００人形成させ
た。

このとき、テープＡと８は１０〜１５１１／１ｎという
高速の被処理原反搬送速度で製作でき、一方テープＣは
１　ｍ／ｍｉｎであった。また、テープＢの作製時にお
いては、異常アーク放電が数１０回元生し、それにとも
なって強磁性金属薄膜層の欠損が見られた。

本実施例の高速の成膜速度で形成したテープＡと従来方
式で成膜したテープＣの膜質比較のために、その保護効
果すなわち高温高湿の耐候試験とスチル野命試験を検討
した。その結果、両者には差異がないことが確認され、
保護膜として有効であることがわかった。

発明の効果 以上のように本発明によれば、ダイヤモンド状カーボン
薄膜を強磁性金属薄膜層上に高速で、かつ欠陥を生ずる
こと無く形成できるといったすぐれた効果があり、また
、得られたアモリファスカーボン簿幌の保護効果も従来
と同様のレベルである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に用いたカーボン薄膜形成装
置の概要図、第２図は本発明の方法により製造した磁器
記録媒体の一例を示す断面図である。 １・・・高分子フィルム、２・・・強磁性金属薄膜層、
３・・・ダイヤモンド状カーボン１ｌＷＡ層、４・・・
真空ポンプ、５・・・真空容器、６・・・供給ロール、
７・・・巻取ロール、８・・・端面保護テニプ、９・・
・モノマーガス供給管、１０・・・被処理原反、１１・
・・隔壁、１２・・・対向電極、１３・・・通電ローラ
。 代理人　　　森　　本　　義　　弘 第２図 ９−−−モノマー力−スイ＃昏？トを に−・・補処理麿及 １２−　　対商電紬 ｔ３−−−五雷ローラ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、非磁性基板上に強磁性金属薄膜層を設けた磁気記録
   媒体の製造方法であつて、前記強磁性金属薄膜層にマイ
   ナス電圧を印加し、炭化水素系ガスを導入し、グロー放
   電を発生させて前記強磁性金属薄膜層表面にダイヤモン
   ド状カーボン薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法。 ２、ダイヤモンド状カーボン薄膜を形成する際に、磁気
   記録媒体の端部を保護テープで覆いながら形成する請求
   項１記載の磁気記録媒体の製造方法。