JPH02126964A - 吸着装置 - Google Patents
吸着装置Info
- Publication number
- JPH02126964A JPH02126964A JP63279490A JP27949088A JPH02126964A JP H02126964 A JPH02126964 A JP H02126964A JP 63279490 A JP63279490 A JP 63279490A JP 27949088 A JP27949088 A JP 27949088A JP H02126964 A JPH02126964 A JP H02126964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction cup
- exhaust pipe
- substrate
- suction
- serves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、スピンコータの吸着装置に関する。
本発明は、上面に基板吸着用の多数の小孔を有する長方
形の吸着盤の下面中央に回転軸を兼ねた排気筒を有する
吸着装置の、吸着盤の外側に排気筒と同心状に円形平板
を設けた吸着装置である。
形の吸着盤の下面中央に回転軸を兼ねた排気筒を有する
吸着装置の、吸着盤の外側に排気筒と同心状に円形平板
を設けた吸着装置である。
従来の技術では、第２図イの上面図および口の側面図に
示すように、長方形の吸着盤２の下面中央部に回転軸を
兼ねた排気筒３を圧入または切削等で設け、その吸着盤
２の上面に吸着用の小孔５を多数設けた吸着装置１の、
吸着盤２上に基板６を載置し、排気筒３より排気するこ
とにより吸着盤２上に基板６を吸着し、排気筒３を回転
することにより吸着盤２に吸着した基板６を回転し、基
板６表面に塗料をスピンコードしていた。
示すように、長方形の吸着盤２の下面中央部に回転軸を
兼ねた排気筒３を圧入または切削等で設け、その吸着盤
２の上面に吸着用の小孔５を多数設けた吸着装置１の、
吸着盤２上に基板６を載置し、排気筒３より排気するこ
とにより吸着盤２上に基板６を吸着し、排気筒３を回転
することにより吸着盤２に吸着した基板６を回転し、基
板６表面に塗料をスピンコードしていた。
しかしながら従来技術の吸着装置では、吸着盤が長方形
で、吸着盤外周各点における回転半径が異なるので、ス
ピンコード時、吸着盤の回転により振動が発生する。こ
の振動が基板に伝達され、基板が大型である場合、また
は基板板厚が薄い場合特に大きくなり、スピンコード時
の基板表面の塗料のコーティングが不均一になる。
で、吸着盤外周各点における回転半径が異なるので、ス
ピンコード時、吸着盤の回転により振動が発生する。こ
の振動が基板に伝達され、基板が大型である場合、また
は基板板厚が薄い場合特に大きくなり、スピンコード時
の基板表面の塗料のコーティングが不均一になる。
そこで前記課題を解決するために本発明は、上面に基板
吸着用の多数の小孔を有する長方形の吸着盤の下面中央
に回転軸を兼ねた排気筒を有する吸着装置の、吸着盤の
外側に排気筒と同心状に円形平板を設けるように構成す
る。
吸着用の多数の小孔を有する長方形の吸着盤の下面中央
に回転軸を兼ねた排気筒を有する吸着装置の、吸着盤の
外側に排気筒と同心状に円形平板を設けるように構成す
る。
本発明は、上面に基板吸着用の多数の小孔を有する長方
形の吸着盤の下面中央に回転軸を兼ねた排気筒を有する
吸着装置の、吸着盤の外側に排気筒と同心状に円形平板
を設けることにより、吸着盤の回転時の振動の発生を抑
制し、スピンコード時の基板表面の塗料のコーティング
を均一にすることができる。
形の吸着盤の下面中央に回転軸を兼ねた排気筒を有する
吸着装置の、吸着盤の外側に排気筒と同心状に円形平板
を設けることにより、吸着盤の回転時の振動の発生を抑
制し、スピンコード時の基板表面の塗料のコーティング
を均一にすることができる。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。なお、従来例の構成と同一部分については同一符号を
付する。
。なお、従来例の構成と同一部分については同一符号を
付する。
第１図イ、口は本発明の一実施例の吸着装置の上面図お
よび側面図である。
よび側面図である。
第１図イ、口に示すように本発明の吸着装置ｌは長方形
の吸着盤２と、吸着盤２の下面中央に設けられた円筒状
の排気筒３および吸着盤２の外側に設けられた排気筒３
と同心状の円板４より構成されており、吸着盤２には、
その上面に吸着用の小孔５が多数設けられている。そし
て排気筒３から排気することにより吸着盤２上面の気圧
を低くして、吸着盤２上に載置された基板６を吸着し、
排気筒３を回転軸として回転することにより吸着盤２上
に吸着された基板６を回転させ、基板表面に塗料のスピ
ンコードを行う。
の吸着盤２と、吸着盤２の下面中央に設けられた円筒状
の排気筒３および吸着盤２の外側に設けられた排気筒３
と同心状の円板４より構成されており、吸着盤２には、
その上面に吸着用の小孔５が多数設けられている。そし
て排気筒３から排気することにより吸着盤２上面の気圧
を低くして、吸着盤２上に載置された基板６を吸着し、
排気筒３を回転軸として回転することにより吸着盤２上
に吸着された基板６を回転させ、基板表面に塗料のスピ
ンコードを行う。
吸着盤２は、その外側に排気筒３と同心状の円板４が設
けられているため、吸着盤２の外周は円板４の外周で構
成されるので、外周各点における回転半径が同一になり
、吸着盤２を回転した時の振動の発生を抑制できる。そ
して振動が発生しないので、スピンコード時の基板表面
のｌＪｔのコーティングを均一にすることができる。
けられているため、吸着盤２の外周は円板４の外周で構
成されるので、外周各点における回転半径が同一になり
、吸着盤２を回転した時の振動の発生を抑制できる。そ
して振動が発生しないので、スピンコード時の基板表面
のｌＪｔのコーティングを均一にすることができる。
円板４の板厚については、吸着盤２と同一の厚さにした
場合、遠心力を均一に発生させることができ、振動の発
生が抑えられるが、塗料が吸着盤２と基板６の間に回り
込むおそれがあり、その上、吸着盤２の重量が大きくな
り、大きな回転駆動力を必要とし装置および消費電力が
大きくなる。そこで円板４の板厚を吸着盤２の板厚に対
対し１／２から１未満の値の間で最適な値を選び、塗料
の吸着盤２と基板６の間への回り込みを排除し、あわせ
て振動の発生と駆動力のバランスを得る。また円板４は
吸着盤２と一体に切削加工等で製作するのが望ましいが
、材料および加工コストがかさむので、円板４を別体で
製作し、吸着盤２に固定して使用することによりコスト
ダウンをはかることもある。
場合、遠心力を均一に発生させることができ、振動の発
生が抑えられるが、塗料が吸着盤２と基板６の間に回り
込むおそれがあり、その上、吸着盤２の重量が大きくな
り、大きな回転駆動力を必要とし装置および消費電力が
大きくなる。そこで円板４の板厚を吸着盤２の板厚に対
対し１／２から１未満の値の間で最適な値を選び、塗料
の吸着盤２と基板６の間への回り込みを排除し、あわせ
て振動の発生と駆動力のバランスを得る。また円板４は
吸着盤２と一体に切削加工等で製作するのが望ましいが
、材料および加工コストがかさむので、円板４を別体で
製作し、吸着盤２に固定して使用することによりコスト
ダウンをはかることもある。
本発明は、表面に基板吸着用の多数の小孔を有する長方
形の吸着盤の下面中央に回転軸を兼ねた排気筒を有する
吸着装置の、吸着盤の外側に排気筒と同心状に円形平板
を設けるという簡単な構成をとることにより、吸着装置
の製作コストの上昇を抑えるとともに、吸着盤の回転時
の振動の発生を抑制する効果がある。
形の吸着盤の下面中央に回転軸を兼ねた排気筒を有する
吸着装置の、吸着盤の外側に排気筒と同心状に円形平板
を設けるという簡単な構成をとることにより、吸着装置
の製作コストの上昇を抑えるとともに、吸着盤の回転時
の振動の発生を抑制する効果がある。
またスピンコード時に基板が振動を抑えることができる
ので、基板表面の塗料のコーティングを均一にでき、ス
ピンコード品の品質を損なわないで作成できる効果があ
る。
ので、基板表面の塗料のコーティングを均一にでき、ス
ピンコード品の品質を損なわないで作成できる効果があ
る。
第１図イ、口は本発明の一実施例の吸着装置の上面図お
よび側面図、第２図イ、口は従来例の上面図および側面
図である。 図において、 １・・・・・吸着装置 ２・・・・・吸着盤 ３・・・・・排気筒 ４・・・・・円板 ・小孔 ・基板 である。 イ 上面図 ロ イ則面図 本免明の実施例 第１図
よび側面図、第２図イ、口は従来例の上面図および側面
図である。 図において、 １・・・・・吸着装置 ２・・・・・吸着盤 ３・・・・・排気筒 ４・・・・・円板 ・小孔 ・基板 である。 イ 上面図 ロ イ則面図 本免明の実施例 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 上面に基板吸着用の多数の小孔を有する長方形の吸着盤
の下面中央に回転軸を兼ねた排気筒を有する吸着装置に
おいて、 前記吸着盤の外側に前記排気筒と同心状に円形平板を設
けたことを特徴とする吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279490A JPH02126964A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279490A JPH02126964A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 吸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126964A true JPH02126964A (ja) | 1990-05-15 |
Family
ID=17611773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63279490A Pending JPH02126964A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02126964A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178057A (en) * | 1989-03-09 | 1993-01-12 | State Of Israel-Ministry Of Agriculture | Apparatus for removing pulp from fruit |
| WO2025205702A1 (ja) * | 2024-03-28 | 2025-10-02 | ホヤ レンズ タイランド リミテッド | 眼鏡レンズの製造方法 |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP63279490A patent/JPH02126964A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178057A (en) * | 1989-03-09 | 1993-01-12 | State Of Israel-Ministry Of Agriculture | Apparatus for removing pulp from fruit |
| WO2025205702A1 (ja) * | 2024-03-28 | 2025-10-02 | ホヤ レンズ タイランド リミテッド | 眼鏡レンズの製造方法 |
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