JPS58178358A - 感光性材料塗布装置 - Google Patents
感光性材料塗布装置Info
- Publication number
- JPS58178358A JPS58178358A JP57063022A JP6302282A JPS58178358A JP S58178358 A JPS58178358 A JP S58178358A JP 57063022 A JP57063022 A JP 57063022A JP 6302282 A JP6302282 A JP 6302282A JP S58178358 A JPS58178358 A JP S58178358A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive material
- substrate
- bottom plate
- material coating
- spinner head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この艶用は、スピン回転を用いてプラグインタイブの基
板上に感光性材料を塗布するための装置に関するもので
ある。
板上に感光性材料を塗布するための装置に関するもので
ある。
従来上の種の装置として第１図に示すものがあった。図
において、（１）はプラグインタイブの基板、（２）は
そのビンであシ、（３）はこの基板（１）を固定して回
転させるスピナーヘッドであり、（４）は上記基板（１
）のビン（２）をさし込むための穴、（５）はスピナー
ヘッド（３）の回転軸である。
において、（１）はプラグインタイブの基板、（２）は
そのビンであシ、（３）はこの基板（１）を固定して回
転させるスピナーヘッドであり、（４）は上記基板（１
）のビン（２）をさし込むための穴、（５）はスピナー
ヘッド（３）の回転軸である。
次に動作について説明する。蒸着工程等により金属薄膜
を形成されたプラグインタイブの基板（１）を、そのビ
ン（２）が穴（４）にさし込まれるようにしてスピナー
ヘッド（３）に固定させ、基板（１）上面に感光性材料
を滴下し、回転軸（５）を回転駆動してスピナーヘッド
（３）を回転させることによってプラグイン基板（１）
を回転させ、基板（１）上に感光性材料の薄膜を形成す
る。
を形成されたプラグインタイブの基板（１）を、そのビ
ン（２）が穴（４）にさし込まれるようにしてスピナー
ヘッド（３）に固定させ、基板（１）上面に感光性材料
を滴下し、回転軸（５）を回転駆動してスピナーヘッド
（３）を回転させることによってプラグイン基板（１）
を回転させ、基板（１）上に感光性材料の薄膜を形成す
る。
従来の感光性材料塗布装置は以上のように構成されてい
るので、基板のビンを穴にさし込む時に曲がったビンの
形状を矯正せねばならず、回転時に感光性材料が周囲に
飛び散ってスピナーヘッド上に付着し、スピナーヘッド
の連続使用が困難になり、また、基板の連続搬送が出来
なくて自動化が不可能であるなどの欠点があった。
るので、基板のビンを穴にさし込む時に曲がったビンの
形状を矯正せねばならず、回転時に感光性材料が周囲に
飛び散ってスピナーヘッド上に付着し、スピナーヘッド
の連続使用が困難になり、また、基板の連続搬送が出来
なくて自動化が不可能であるなどの欠点があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、Ａを吸着可能な紙板と、基板を位
置決めする突起と、周囲に側壁を形成することにより、
基板の位置決めが容易で、感光性材料の飛散を防止して
ハンドリングが容易となり、基板の連続搬送が出来て自
動化が可能な感光性材料塗布装置を提供することを目的
としている。
めになされたもので、Ａを吸着可能な紙板と、基板を位
置決めする突起と、周囲に側壁を形成することにより、
基板の位置決めが容易で、感光性材料の飛散を防止して
ハンドリングが容易となり、基板の連続搬送が出来て自
動化が可能な感光性材料塗布装置を提供することを目的
としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図において、（６）はプラグイン基板（１）を装着する
感光性材料塗布装置の本体、（７〕はその底面が真空吸
着可能な状態に仕上げられた底抜、（８）は底板（７Ｊ
の中央に基板（１）を位置決めするための突起、（９）
は基板（１）の装着部位の周囲に形成された側壁、Ｑｑ
は底板（５）の底面を真空吸着して回転するスビナーヘ
ンド、ｔｏｎ−ｔその回転軸である。
図において、（６）はプラグイン基板（１）を装着する
感光性材料塗布装置の本体、（７〕はその底面が真空吸
着可能な状態に仕上げられた底抜、（８）は底板（７Ｊ
の中央に基板（１）を位置決めするための突起、（９）
は基板（１）の装着部位の周囲に形成された側壁、Ｑｑ
は底板（５）の底面を真空吸着して回転するスビナーヘ
ンド、ｔｏｎ−ｔその回転軸である。
次に動作について説明する。蒸着工程等により金属薄膜
を形成した基板（１）を、その外周が突起（８）に接す
るようにして装置本体（６）の中央に装着し、底板（７
）の底面をスピナーへッドリｑにより真空吸着し、基板
（１）上に感光性材料を滴下して回転させ、基板（１）
上に感光性材料の薄膜を形成する。
を形成した基板（１）を、その外周が突起（８）に接す
るようにして装置本体（６）の中央に装着し、底板（７
）の底面をスピナーへッドリｑにより真空吸着し、基板
（１）上に感光性材料を滴下して回転させ、基板（１）
上に感光性材料の薄膜を形成する。
なお・、上記実施例では円形の側壁を設けたもの全示し
たが、矩形の側壁を設けてもよい。
たが、矩形の側壁を設けてもよい。
以上のように、この発明によれば、位置決め用に突起を
構成したので基板の装着が容易になり、側壁と真空吸着
可能な底板を構成したので、感光性材料の外部への飛散
を防止して−・ンドリンクが容易となり、基板の自動搬
送が可能となって感光性材料塗布工程を自動化できる効
果がある。
構成したので基板の装着が容易になり、側壁と真空吸着
可能な底板を構成したので、感光性材料の外部への飛散
を防止して−・ンドリンクが容易となり、基板の自動搬
送が可能となって感光性材料塗布工程を自動化できる効
果がある。
第１図は従来の感光性材料塗布装置を示す斜視図、第２
図はこの発明の一実施例による感光性材料塗布装置を示
す斜視図である。 図において、（１）は被塗布基板、（７）は底板、（８
）は突起、（９）は側壁、叫はスピンナーヘッドである
０なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す０ 代理人 葛野信−（外１名） 第１頁の続き ０発 明 者 三橋順− 宝塚市中山五月台３−２４−２ 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭５’ｌ−６５０２１４号
２、発明の名称 感光性材料塗布装置３、補正をす
る者 ＳＮ：：；誓。 ５・補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 以上
図はこの発明の一実施例による感光性材料塗布装置を示
す斜視図である。 図において、（１）は被塗布基板、（７）は底板、（８
）は突起、（９）は側壁、叫はスピンナーヘッドである
０なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す０ 代理人 葛野信−（外１名） 第１頁の続き ０発 明 者 三橋順− 宝塚市中山五月台３−２４−２ 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭５’ｌ−６５０２１４号
２、発明の名称 感光性材料塗布装置３、補正をす
る者 ＳＮ：：；誓。 ５・補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 以上
Claims (1)
- （１）表面にその所定部位に載置される被塗布基板を位
置決めする突起と上記所定部位を囲む側壁とが設けられ
裏面は真空吸着可能な平面度を有するように形成された
底板、および、上記底板をその裏面において真空吸着し
て回転させるスピンナーヘッドを備えたことを特徴とす
る感光性材料塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57063022A JPS58178358A (ja) | 1982-04-13 | 1982-04-13 | 感光性材料塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57063022A JPS58178358A (ja) | 1982-04-13 | 1982-04-13 | 感光性材料塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58178358A true JPS58178358A (ja) | 1983-10-19 |
| JPH0314171B2 JPH0314171B2 (ja) | 1991-02-26 |
Family
ID=13217275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57063022A Granted JPS58178358A (ja) | 1982-04-13 | 1982-04-13 | 感光性材料塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58178358A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6096822U (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-02 | 沖電気工業株式会社 | スピナ−ヘツド |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8334132B2 (en) | 2006-11-09 | 2012-12-18 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Process for production of a betaine such as carnitine |
-
1982
- 1982-04-13 JP JP57063022A patent/JPS58178358A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6096822U (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-02 | 沖電気工業株式会社 | スピナ−ヘツド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0314171B2 (ja) | 1991-02-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60120389A (ja) | マイクロシヤツタを有するデバイスの製法 | |
| JPH0314171B2 (ja) | ||
| JPH10218364A (ja) | ウエハ保持用ステージ | |
| JPH0334050B2 (ja) | ||
| JPS6342526Y2 (ja) | ||
| JPH042754Y2 (ja) | ||
| JPH0446858Y2 (ja) | ||
| JPS6130282Y2 (ja) | ||
| JPH027514A (ja) | 半導体基板湿式処理装置 | |
| JPH0716531A (ja) | 真空吸着式スピナー、これを用いた塗布液の塗布方法および塗膜の現像方法 | |
| JPS5855976Y2 (ja) | スピンコ−タ− | |
| JPH03170933A (ja) | 樹脂膜形成用板状基板 | |
| JPS63260025A (ja) | 回転塗布装置 | |
| JPH04151667A (ja) | レジスト膜形成方法 | |
| JPH0528754Y2 (ja) | ||
| JPH05181161A (ja) | パターン形成用ガラス基板 | |
| JPS6074597A (ja) | 厚膜印刷方法 | |
| JPS59117219A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH02126964A (ja) | 吸着装置 | |
| JPH03281772A (ja) | マグネットチャック式基板ホルダー | |
| JPH0731924A (ja) | 塗布装置 | |
| JPS58177181A (ja) | 回転式塗布装置 | |
| JPH01216566A (ja) | ハイブリッドｉｃの製造方法 | |
| JPH01113919A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01268017A (ja) | 回路基板 |