JPH02129747U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02129747U JPH02129747U JP1989038098U JP3809889U JPH02129747U JP H02129747 U JPH02129747 U JP H02129747U JP 1989038098 U JP1989038098 U JP 1989038098U JP 3809889 U JP3809889 U JP 3809889U JP H02129747 U JPH02129747 U JP H02129747U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity type
- layer
- sides
- silicon substrate
- silicon
- Prior art date
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- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
第１図は本考案の原理説明図、第２図は本考案
の実施例を示す概略断面図、第３図はヘツダへの
取付け要領の説明図、第４図は問題点の説明図、
第５図はシリコンサーモパイルの部分斜視図、第
６図はシリコンサーモパイルの概略断面図、第７
図はシリコンサーモパイルの概略平面図。 第１図で１４，１６は第１、第２導電型層、１
９は電磁波吸収体層、４１〜４４は開口である。
の実施例を示す概略断面図、第３図はヘツダへの
取付け要領の説明図、第４図は問題点の説明図、
第５図はシリコンサーモパイルの部分斜視図、第
６図はシリコンサーモパイルの概略断面図、第７
図はシリコンサーモパイルの概略平面図。 第１図で１４，１６は第１、第２導電型層、１
９は電磁波吸収体層、４１〜４４は開口である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 シリコン基板上に成長させた第１導電型のエピ
タキシヤル層１２に反対導電型の第１導体層１４
を多数平行に、場合によつては、第１導電型の第
２導体層１６を多数平行にして全体として十字型
に形成し、各々の一端と他端を金属層で接続して
ジグザグ状直列接続体とし、該十字の中央にでき
る矩形領域上に絶縁層を介して電磁波吸収体層１
９を被着し、 該吸収体層側の第１、第２導電型層の前記一端
を温接点、他端を冷接点とし、また該吸収体下部
のシリコン基板を薄くして該部分に空洞部１１Ａ
を作り、該シリコン基板をその底面でパツケージ
のヘツツダー３１に取付けてなるシリコンサーモ
パイルにおいて、 該十字の辺の間の該辺を２辺とする矩形領域に
、前記空洞部に通じる開口４１，……を設けたこ
とを特徴とするシリコンサーモパイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989038098U JPH02129747U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989038098U JPH02129747U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129747U true JPH02129747U (ja) | 1990-10-25 |
Family
ID=31545801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989038098U Pending JPH02129747U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02129747U (ja) |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP1989038098U patent/JPH02129747U/ja active Pending