JPH02129937A - ピングリッドアレイ型半導体装置 - Google Patents
ピングリッドアレイ型半導体装置Info
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- JPH02129937A JPH02129937A JP63284442A JP28444288A JPH02129937A JP H02129937 A JPH02129937 A JP H02129937A JP 63284442 A JP63284442 A JP 63284442A JP 28444288 A JP28444288 A JP 28444288A JP H02129937 A JPH02129937 A JP H02129937A
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- pga
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- type semiconductor
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- H05K1/141—One or more single auxiliary printed circuits mounted on a main printed circuit, e.g. modules, adapters
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/731—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
- H10W90/734—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はTAB (テープオートメイテッドポンディン
グ)法によって半導体素子とピングリッドアレイ基板の
配線パターンが接続されたピングリッドアレイ型半導体
装置に関する。
グ)法によって半導体素子とピングリッドアレイ基板の
配線パターンが接続されたピングリッドアレイ型半導体
装置に関する。
従来のピングリッドアレイ (以下、単にPGAという
。)型半導体装置は第3図および第4図に示すように構
成されている。
。)型半導体装置は第3図および第4図に示すように構
成されている。
第3図番主ワイヤ−ボンディング法によって半導体素子
とPGA基板の配線パターンとが接続された従来のPG
A型半導体装置を示す断面図、第4図はTAB法によっ
て半導体素子とPGA基板の配線パターンとが接続され
た従来のPGA型半導体装置を示す断面図を示す。これ
らの図において、1はPGA基板で、このPGA基板1
はガラスエポキシ基板からなり、その上面には配線パタ
ーン1aが形成され、上面の略々中央部には後述する半
導体素子がボンディングされる座ぐり部1bが形成され
ている。また、このPGA基板1の側部には前記配線パ
ターンlaと接続されかつ信号入出力用ビン2が装着さ
れるスルーホール1cが設けられている。3は半導体素
子で、この半導体素子3は上部ポンディングパッド(図
示せず)上に突起電極3aが設けられ、前記PGA基板
1の座ぐり部1b内にグイポンド材4を介して接合され
ている。5aは前記半導体素子3の突起電極3aと前記
配線パターン1aとを接続するための金属細線、5bは
TAB法によってキャリアテープ(図示せず)上に形成
されたリードで、このリード5bのインナーリード部は
前記半導体素子3の突起電極3aに加熱圧着されており
、アウターリード部は前記PGA基板1の配線パターン
1aに加熱圧着されている。6は前記配線パターン1a
を保護するための絶縁性コーテイング材、7は半導体素
子3を保護するための封止樹脂、8はこの封止樹脂7で
半導体素子3を保護するために封止樹脂7を十分厚く形
成するためのダムで、このダム8は前記座ぐり部1bの
周囲を囲むようにPGA基板1上に立設されており、こ
のダム8で囲まれた部位に封止樹脂7を滴下することに
よって半導体素子3が封止されることになる。
とPGA基板の配線パターンとが接続された従来のPG
A型半導体装置を示す断面図、第4図はTAB法によっ
て半導体素子とPGA基板の配線パターンとが接続され
た従来のPGA型半導体装置を示す断面図を示す。これ
らの図において、1はPGA基板で、このPGA基板1
はガラスエポキシ基板からなり、その上面には配線パタ
ーン1aが形成され、上面の略々中央部には後述する半
導体素子がボンディングされる座ぐり部1bが形成され
ている。また、このPGA基板1の側部には前記配線パ
ターンlaと接続されかつ信号入出力用ビン2が装着さ
れるスルーホール1cが設けられている。3は半導体素
子で、この半導体素子3は上部ポンディングパッド(図
示せず)上に突起電極3aが設けられ、前記PGA基板
1の座ぐり部1b内にグイポンド材4を介して接合され
ている。5aは前記半導体素子3の突起電極3aと前記
配線パターン1aとを接続するための金属細線、5bは
TAB法によってキャリアテープ(図示せず)上に形成
されたリードで、このリード5bのインナーリード部は
前記半導体素子3の突起電極3aに加熱圧着されており
、アウターリード部は前記PGA基板1の配線パターン
1aに加熱圧着されている。6は前記配線パターン1a
を保護するための絶縁性コーテイング材、7は半導体素
子3を保護するための封止樹脂、8はこの封止樹脂7で
半導体素子3を保護するために封止樹脂7を十分厚く形
成するためのダムで、このダム8は前記座ぐり部1bの
周囲を囲むようにPGA基板1上に立設されており、こ
のダム8で囲まれた部位に封止樹脂7を滴下することに
よって半導体素子3が封止されることになる。
9は耐湿性を向上させるためのキャンプで、このキャッ
プ9は金属、あるいは、耐湿、耐熱性を有するプラスチ
ックによって形成され、PGA基板基板側面および上面
全面を覆うように形成されており、接着剤10によって
PGA基板1に固着されている。また、前記キャップ9
は第3図および第4図に示すようにPGA基板基板側面
全面を覆うものの他に半導体素子3の上部のみを覆うよ
うに構成されたものもある。
プ9は金属、あるいは、耐湿、耐熱性を有するプラスチ
ックによって形成され、PGA基板基板側面および上面
全面を覆うように形成されており、接着剤10によって
PGA基板1に固着されている。また、前記キャップ9
は第3図および第4図に示すようにPGA基板基板側面
全面を覆うものの他に半導体素子3の上部のみを覆うよ
うに構成されたものもある。
次に、従来のPGA型半導体装置の組立て方法について
説明する。第3図に示すワイヤボンディング法によって
半導体素子3とPGA1板1の配線パターン1aとが接
続されたPGA型半導体装置を組み立てるには、先ず、
PGA基板1の座ぐり部1bに半導体装置3をグイボン
ディングし、この半導体素子3の突起電極3aとPGA
基板1の配線パターン1aとを金属細線5aによって接
続する。半導体素子3が座ぐり部1b内に挿入されるこ
とによって、半導体素子3の上面と配線パターン1aボ
ンデイング面との高低差が小さくなるため、金属細線5
aが半導体素子3のエツジ部に接触し短絡するのを防止
することができる。そして、絶縁性コーテイング材6が
塗布されたPGA基板1上にダム8を立設し、このダム
8によって囲まれた範囲内に封止樹脂を滴下する。しか
る後、このように滴下して使用される封止樹脂7は耐湿
性が低いためにPGA基板1の上面全面および側面にキ
ャップ9を接着して組立てが終了する。また、第4図に
示すTAB法によって半導体素子3とPGA基板1の配
線パターン1aとが接続されたPGA型半導体装置を組
み立てるには、予め、TAB法によってリード5bのイ
ンナーリード部と半導体素子3の突起電極3aとを接続
し、半導体素子3を前記リード5bを介してキャリアテ
ープ(図示せず)に保持させる。そして、前記リード5
bのアウターリード部を切断することによって半導体素
子3をキャリアテープから分断させる。このようにして
TAB法によってリード5bがボンディングされた半導
体素子3をPGA基板1の座ぐり部1b内にグイボンデ
ィングし、リード5bのアウターリード部をPGA基板
1上の配線パターンlaに位置決めする。位置決め後、
アウターリード部と配線パターン1aとを加熱・圧着等
により接続させる。しかる後、前記ワイヤボンディング
法によって半導体素子3とPGA基板1の配線パターン
1aとが接続されたPGA型半導体装置の組み立て方法
と同様にして樹脂封止され、キャップ9を接着すること
によって組み立てが終了する。
説明する。第3図に示すワイヤボンディング法によって
半導体素子3とPGA1板1の配線パターン1aとが接
続されたPGA型半導体装置を組み立てるには、先ず、
PGA基板1の座ぐり部1bに半導体装置3をグイボン
ディングし、この半導体素子3の突起電極3aとPGA
基板1の配線パターン1aとを金属細線5aによって接
続する。半導体素子3が座ぐり部1b内に挿入されるこ
とによって、半導体素子3の上面と配線パターン1aボ
ンデイング面との高低差が小さくなるため、金属細線5
aが半導体素子3のエツジ部に接触し短絡するのを防止
することができる。そして、絶縁性コーテイング材6が
塗布されたPGA基板1上にダム8を立設し、このダム
8によって囲まれた範囲内に封止樹脂を滴下する。しか
る後、このように滴下して使用される封止樹脂7は耐湿
性が低いためにPGA基板1の上面全面および側面にキ
ャップ9を接着して組立てが終了する。また、第4図に
示すTAB法によって半導体素子3とPGA基板1の配
線パターン1aとが接続されたPGA型半導体装置を組
み立てるには、予め、TAB法によってリード5bのイ
ンナーリード部と半導体素子3の突起電極3aとを接続
し、半導体素子3を前記リード5bを介してキャリアテ
ープ(図示せず)に保持させる。そして、前記リード5
bのアウターリード部を切断することによって半導体素
子3をキャリアテープから分断させる。このようにして
TAB法によってリード5bがボンディングされた半導
体素子3をPGA基板1の座ぐり部1b内にグイボンデ
ィングし、リード5bのアウターリード部をPGA基板
1上の配線パターンlaに位置決めする。位置決め後、
アウターリード部と配線パターン1aとを加熱・圧着等
により接続させる。しかる後、前記ワイヤボンディング
法によって半導体素子3とPGA基板1の配線パターン
1aとが接続されたPGA型半導体装置の組み立て方法
と同様にして樹脂封止され、キャップ9を接着すること
によって組み立てが終了する。
しかるに、従来のPGA型半導体装置においては、PG
A基板1に座ぐり部1bを形成しなければならずPGA
基板1を製造するにあたりコストが嵩み、また、ダム8
やキャップ9等の部品が必要となるために製造プロセス
が複雑になるという問題があった。さらにまた、プラス
チックモールドタイプの半導体装置に較べて、封止樹脂
の材質が異なり、しかも、PGA基板1には座ぐり部1
bが形成されていることにより、信鯨性上、特に耐湿性
が劣るという問題もあった。
A基板1に座ぐり部1bを形成しなければならずPGA
基板1を製造するにあたりコストが嵩み、また、ダム8
やキャップ9等の部品が必要となるために製造プロセス
が複雑になるという問題があった。さらにまた、プラス
チックモールドタイプの半導体装置に較べて、封止樹脂
の材質が異なり、しかも、PGA基板1には座ぐり部1
bが形成されていることにより、信鯨性上、特に耐湿性
が劣るという問題もあった。
本発明に係るPGA型半導体装置は、モールド樹脂でパ
ッケージが形成されたテープキャリアパッケージ型半導
体装置をピングリッドアレイ基板上に表面実装したもの
である。
ッケージが形成されたテープキャリアパッケージ型半導
体装置をピングリッドアレイ基板上に表面実装したもの
である。
PGA基板に半導体素子挿入用の座ぐり部が不要になり
、PGA基板を容易に製造することができ、また、半導
体素子は封止樹脂をモールド成形することにより封止さ
れているため、高耐湿性を得るための部材数を減らすこ
とができるから、簡車な構造で耐湿性の高いPGA型半
導体装置が得られる。
、PGA基板を容易に製造することができ、また、半導
体素子は封止樹脂をモールド成形することにより封止さ
れているため、高耐湿性を得るための部材数を減らすこ
とができるから、簡車な構造で耐湿性の高いPGA型半
導体装置が得られる。
以下、本発明の一実施例を第1図および第2図によって
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第1図は本発明に係るPGA型半導体装置を示す断面図
、第2図はモールド樹脂でパッケージが形成されたテー
プキャリアパッケージ型半導体装置を示す断面図である
。これらの図において前記第3図および第4図で説明し
たものと同一もしくは同等部材については同一符号を付
し、ここにおいて詳細な説明は省略する。これらの図に
おいて、11はテープキャリアパッケージ型半導体装置
で、このテープキャリアパッケージ型半導体装置11は
、TAB法によりリード12が接続された半導体素子3
を、封止樹脂13をモールド成形することによって封止
して形成されている。14はTAB法に使用されるキャ
リアテープで、このキャリアテープ14上にリード12
が形成されている。15は半導体素子3の裏面電位を取
る場合に使用される金属キャップで、この金属キャップ
15は、内側底部に半田等のろう材もしくは導電性接着
剤からなるグイボンド剤16を介して半導体素子3が接
合され、開口縁部に形成されたフランジ部を前記キャリ
アテープ14に接着させることによってキャリアテープ
14に対して固定されている。また、この金属キャップ
15は、図示しない接続手段によって前記リード12に
接続され、半導体素子3の裏面電極(図示せず)とり−
ド12とが接続されるように構成されている。
、第2図はモールド樹脂でパッケージが形成されたテー
プキャリアパッケージ型半導体装置を示す断面図である
。これらの図において前記第3図および第4図で説明し
たものと同一もしくは同等部材については同一符号を付
し、ここにおいて詳細な説明は省略する。これらの図に
おいて、11はテープキャリアパッケージ型半導体装置
で、このテープキャリアパッケージ型半導体装置11は
、TAB法によりリード12が接続された半導体素子3
を、封止樹脂13をモールド成形することによって封止
して形成されている。14はTAB法に使用されるキャ
リアテープで、このキャリアテープ14上にリード12
が形成されている。15は半導体素子3の裏面電位を取
る場合に使用される金属キャップで、この金属キャップ
15は、内側底部に半田等のろう材もしくは導電性接着
剤からなるグイボンド剤16を介して半導体素子3が接
合され、開口縁部に形成されたフランジ部を前記キャリ
アテープ14に接着させることによってキャリアテープ
14に対して固定されている。また、この金属キャップ
15は、図示しない接続手段によって前記リード12に
接続され、半導体素子3の裏面電極(図示せず)とり−
ド12とが接続されるように構成されている。
17はPGA基板lの配線パターン1bにテープキャリ
アパッケージ型半導体装置11のアウターリード12b
を接合するための半田等の導電性接合剤である。
アパッケージ型半導体装置11のアウターリード12b
を接合するための半田等の導電性接合剤である。
このテープキャリアパッケージ型半導体装置11を組み
立てるには、先ず、キャリアテープ14上にリード12
を形成し、このリード12のインナーリード部12aと
半導体素子3の突起電極3aとを位置合わせした後、加
熱されたボンディングツール(図示せず)によって加熱
圧着させる。この際、半導体素子3は前記キャリアテー
プ14によって保持されることになる。そして、半導体
素子3の裏面電位を取ることが必要な場合には、半導体
素子3を金属キャップ15内に挿入させて半導体素子3
の裏面と金属キャップ15の内側底面とをダイボンド剤
16によって接着させる。次いで、半導体素子3をキャ
リアテープ14ごとモールド金型(図示せず)内に型締
めし、トランスファーモールド法等によって封止樹脂1
3で封止する。なお、この際、半導体素子3の封止構造
は、第2図に示すような半導体素子3および金属キャン
プ15を含む全体が覆われる構造の他に、半導体素子3
の上面側のみが封止樹脂13で覆われる構造としてもよ
い。また、前記金属キャンプ15を使用しない場合には
半導体素子3の全面を封止樹脂13で覆うように封止さ
れる。
立てるには、先ず、キャリアテープ14上にリード12
を形成し、このリード12のインナーリード部12aと
半導体素子3の突起電極3aとを位置合わせした後、加
熱されたボンディングツール(図示せず)によって加熱
圧着させる。この際、半導体素子3は前記キャリアテー
プ14によって保持されることになる。そして、半導体
素子3の裏面電位を取ることが必要な場合には、半導体
素子3を金属キャップ15内に挿入させて半導体素子3
の裏面と金属キャップ15の内側底面とをダイボンド剤
16によって接着させる。次いで、半導体素子3をキャ
リアテープ14ごとモールド金型(図示せず)内に型締
めし、トランスファーモールド法等によって封止樹脂1
3で封止する。なお、この際、半導体素子3の封止構造
は、第2図に示すような半導体素子3および金属キャン
プ15を含む全体が覆われる構造の他に、半導体素子3
の上面側のみが封止樹脂13で覆われる構造としてもよ
い。また、前記金属キャンプ15を使用しない場合には
半導体素子3の全面を封止樹脂13で覆うように封止さ
れる。
封止樹脂13が硬化し樹脂パッケージが形成された後、
キャリアテープごと前記樹脂パッケージをモールド金型
から離型させる。次いで、リード12のアウターリード
部12bを切断することにより樹脂パッケージをキャリ
アテープ14から分断させ、このアウターリード部12
bを所定形状にリードフォミングしてテープキャリアパ
ッケージ型半導体装置11が完成される。本発明に係る
PGA型半導体装置は、以上のようにして形成されたテ
ープキャリアパッケージ型半導体装置11を第1図に示
すようにPGA基板1上に表面実装して得られる。すな
わち、PGA基板1上の配線パターン1aに前記テープ
キャリアパッケージ型半導体装置11のアウターリード
部12bを位置決めし、これらを半田等の導電性接合剤
17で接合してPGA型半導体装置が完成されることに
なる。
キャリアテープごと前記樹脂パッケージをモールド金型
から離型させる。次いで、リード12のアウターリード
部12bを切断することにより樹脂パッケージをキャリ
アテープ14から分断させ、このアウターリード部12
bを所定形状にリードフォミングしてテープキャリアパ
ッケージ型半導体装置11が完成される。本発明に係る
PGA型半導体装置は、以上のようにして形成されたテ
ープキャリアパッケージ型半導体装置11を第1図に示
すようにPGA基板1上に表面実装して得られる。すな
わち、PGA基板1上の配線パターン1aに前記テープ
キャリアパッケージ型半導体装置11のアウターリード
部12bを位置決めし、これらを半田等の導電性接合剤
17で接合してPGA型半導体装置が完成されることに
なる。
したがって、PGA基板1に半導体素子挿入用の座ぐり
部1bが不要になり、PGA基板1を容易に製造するこ
とができる。また、半導体素子3は封止樹脂13をモー
ルド成形することにより封止されているため、高耐湿性
を得るための部材(ダム8、キャンプ9等)数を減らす
ことができるから、簡単な構造で耐湿性の高いPGA型
半導体装置が得られる。なお、耐湿性は通常のプラスチ
ックパッケージ型半導体装置と同等であり、従来のPG
A型半導体装置に較べて良い結果が得られた。
部1bが不要になり、PGA基板1を容易に製造するこ
とができる。また、半導体素子3は封止樹脂13をモー
ルド成形することにより封止されているため、高耐湿性
を得るための部材(ダム8、キャンプ9等)数を減らす
ことができるから、簡単な構造で耐湿性の高いPGA型
半導体装置が得られる。なお、耐湿性は通常のプラスチ
ックパッケージ型半導体装置と同等であり、従来のPG
A型半導体装置に較べて良い結果が得られた。
一般に、テープキャリアパッケージ型半導体装置は、ア
ウターリードのピッチが0.2〜0.25鶴であり、通
常のプラスチックパッケージ型半導体装置のリードのピ
ンチは0.5 tm以上であるために、通常のプラスチ
ックパッケージ型半導体装置に較べてリードのピッチが
非常に小さく取り扱い性が悪いが、本発明に示すように
テープキャリアパッケージ11をPGA基板1上に搭載
することによって取り扱い性が改善され使い易くなり、
実装後に手直しするようなことが減り、不良率が低減さ
れる。
ウターリードのピッチが0.2〜0.25鶴であり、通
常のプラスチックパッケージ型半導体装置のリードのピ
ンチは0.5 tm以上であるために、通常のプラスチ
ックパッケージ型半導体装置に較べてリードのピッチが
非常に小さく取り扱い性が悪いが、本発明に示すように
テープキャリアパッケージ11をPGA基板1上に搭載
することによって取り扱い性が改善され使い易くなり、
実装後に手直しするようなことが減り、不良率が低減さ
れる。
なお、本実施例ではPGA基板1上にテープキャリアパ
ッケージ型半導体装置11を一個実装した例を示したが
、本発明はこのような限定にとられれることなく、PG
A基板1上にテープキャリアパッケージ型半導体装置1
1を複数個実装してもよく、さらに、チップコンデンサ
、チップ抵抗等のチップ部品を同時に実装してもよい。
ッケージ型半導体装置11を一個実装した例を示したが
、本発明はこのような限定にとられれることなく、PG
A基板1上にテープキャリアパッケージ型半導体装置1
1を複数個実装してもよく、さらに、チップコンデンサ
、チップ抵抗等のチップ部品を同時に実装してもよい。
以上説明したように本発明によれば、モールド樹脂でパ
ッケージが形成されたテープキャリアパッケージ型半導
体装置をピングリッドアレイ基板上に表面実装したため
、PGA基板に半導体素子挿入用の座ぐり部が不要にな
り、PGA基板を容易に製造することができ、PGA基
板の製造コストを低く抑えることができる。また1、半
導体素子は封止樹脂をモールド成形することにより封止
されているため、高耐湿性を得るための部材数を減らす
ことができ構造が簡略化される。したがって、高密度実
装が可能でしかも耐湿性の高いPGA型半導体装置を安
価に得ることができる。
ッケージが形成されたテープキャリアパッケージ型半導
体装置をピングリッドアレイ基板上に表面実装したため
、PGA基板に半導体素子挿入用の座ぐり部が不要にな
り、PGA基板を容易に製造することができ、PGA基
板の製造コストを低く抑えることができる。また1、半
導体素子は封止樹脂をモールド成形することにより封止
されているため、高耐湿性を得るための部材数を減らす
ことができ構造が簡略化される。したがって、高密度実
装が可能でしかも耐湿性の高いPGA型半導体装置を安
価に得ることができる。
第1図は本発明に係るPGA型半導体装置を示す断面図
、第2図はモールド樹脂でパッケージが形成された本発
明に係るテープキャリアパッケージ型半導体装置を示す
断面図、第3図はワイヤーボンディング法によって半導
体素子とPGA基板の配線パターンとが接続された従来
のPGA型半導体装置を示す断面図、第4図はTAB法
によって半導体素子とPGA基板の配線パターンとが接
続された従来のPGA型半導体装置を示す断面図である
。 1・・・・ピングリッドアレイ基板、3・・・・半導体
素子、11・・・・テープキャリアパッケージ型半導体
装置、13・・・・封止樹脂。 第1 図
、第2図はモールド樹脂でパッケージが形成された本発
明に係るテープキャリアパッケージ型半導体装置を示す
断面図、第3図はワイヤーボンディング法によって半導
体素子とPGA基板の配線パターンとが接続された従来
のPGA型半導体装置を示す断面図、第4図はTAB法
によって半導体素子とPGA基板の配線パターンとが接
続された従来のPGA型半導体装置を示す断面図である
。 1・・・・ピングリッドアレイ基板、3・・・・半導体
素子、11・・・・テープキャリアパッケージ型半導体
装置、13・・・・封止樹脂。 第1 図
Claims (1)
- モールド樹脂でパッケージが形成されたテープキャリア
パッケージ型半導体装置をピングリッドアレイ基板上に
表面実装したことを特徴とするピングリッドアレイ型半
導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63284442A JPH02129937A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | ピングリッドアレイ型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63284442A JPH02129937A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | ピングリッドアレイ型半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129937A true JPH02129937A (ja) | 1990-05-18 |
Family
ID=17678597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63284442A Pending JPH02129937A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | ピングリッドアレイ型半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02129937A (ja) |
-
1988
- 1988-11-09 JP JP63284442A patent/JPH02129937A/ja active Pending
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