JPH02129950A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
- Publication number
- JPH02129950A JPH02129950A JP28444788A JP28444788A JPH02129950A JP H02129950 A JPH02129950 A JP H02129950A JP 28444788 A JP28444788 A JP 28444788A JP 28444788 A JP28444788 A JP 28444788A JP H02129950 A JPH02129950 A JP H02129950A
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- Japan
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- resin
- flexible resin
- semiconductor device
- container
- thermal expansion
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- Pending
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、複合形半導体装置に係り、特には樹脂封止型
の半導体装置に関する。
の半導体装置に関する。
(従来の技術)
第2図は従来例の半導体装置の断面図である。
第2図に示される従来例の半導体装置において、銅で作
られた基板11の上にケース12が取り付けられる。そ
の基板11とケース12とで囲まれた内部における基板
11面上に絶縁基板13か設けられる。絶縁基板13の
上面の両側のそれぞれには、L形の端子14.14の一
端が固定される。
られた基板11の上にケース12が取り付けられる。そ
の基板11とケース12とで囲まれた内部における基板
11面上に絶縁基板13か設けられる。絶縁基板13の
上面の両側のそれぞれには、L形の端子14.14の一
端が固定される。
端子14.14の他端は上方に延びている。絶縁基板1
3の上面の中央には、ターミナル15か固定される。図
で左側の端子14の一端側と、ターミナル15との上に
は、それぞれ半導体チップ16.16がグイボンドされ
る。図で左側の半導体チップ16とターミナル15とは
アルミニウムで作られたワイヤ17で接続されている。
3の上面の中央には、ターミナル15か固定される。図
で左側の端子14の一端側と、ターミナル15との上に
は、それぞれ半導体チップ16.16がグイボンドされ
る。図で左側の半導体チップ16とターミナル15とは
アルミニウムで作られたワイヤ17で接続されている。
図で右側の端子14の一端とターミナル15上の半導体
チップ16とは同じくアルミニウムで作られたワイヤ1
7で接続されている。
チップ16とは同じくアルミニウムで作られたワイヤ1
7で接続されている。
このようにして、基板11とケース12との内部に上記
各部品を組み立てたのちに、そのケース12内部にシリ
コンゲルのような柔軟性樹脂18が充填される。これに
より、半導体チップ16は柔軟性樹脂18で囲まれた状
態になる。さらに、このケース12の内部にはエポキシ
樹脂のような熱硬化性樹脂19が充填される。これによ
り、柔軟性樹脂18の表面は熱硬化性樹脂19で覆われ
る。
各部品を組み立てたのちに、そのケース12内部にシリ
コンゲルのような柔軟性樹脂18が充填される。これに
より、半導体チップ16は柔軟性樹脂18で囲まれた状
態になる。さらに、このケース12の内部にはエポキシ
樹脂のような熱硬化性樹脂19が充填される。これによ
り、柔軟性樹脂18の表面は熱硬化性樹脂19で覆われ
る。
(発明が解決しようとする課題)
上記構造を有する従来例の半導体装置にあっては、熱硬
化性樹脂19で直接、半導体チップ16とかワイヤ17
などを樹脂封止したのでは、それらの損傷を招くおそれ
があるので、それらを、柔軟性樹脂18で囲むことによ
り保護できるようにしている。
化性樹脂19で直接、半導体チップ16とかワイヤ17
などを樹脂封止したのでは、それらの損傷を招くおそれ
があるので、それらを、柔軟性樹脂18で囲むことによ
り保護できるようにしている。
ところで、シリコンゲルのような柔軟性樹脂18では柔
軟性を有しているので半導体チップ16等の保護には適
しているものの、その熱膨張率がエポキシ樹脂のような
熱硬化性樹脂19のそれよりもはるかに大きいために、
次の問題が指摘されている。
軟性を有しているので半導体チップ16等の保護には適
しているものの、その熱膨張率がエポキシ樹脂のような
熱硬化性樹脂19のそれよりもはるかに大きいために、
次の問題が指摘されている。
すなわち、端子14.14を介して半導体チップ16.
16に通電してそれらを作動させると、半導体チップ1
6.16が温度上昇して、ケース12内部全体もそれに
伴って温度上昇し、その結果、その周囲を囲む柔軟性樹
脂18のみならず、その柔軟性樹脂18表面を覆う熱硬
化性樹脂19も熱膨張することになる。そして、この熱
膨張においては、柔軟性樹脂18の方が熱硬化性樹脂1
9よりも熱膨張率が大きいために、柔軟性樹脂18の方
か熱硬化性樹脂19よりも大きく熱膨張する。そのため
に、熱硬化性樹脂19には柔軟性樹脂18から大きな内
圧が加えられることになる結果、端子14.14にはそ
れを上方へ持ち上げる力が作用することになる。
16に通電してそれらを作動させると、半導体チップ1
6.16が温度上昇して、ケース12内部全体もそれに
伴って温度上昇し、その結果、その周囲を囲む柔軟性樹
脂18のみならず、その柔軟性樹脂18表面を覆う熱硬
化性樹脂19も熱膨張することになる。そして、この熱
膨張においては、柔軟性樹脂18の方が熱硬化性樹脂1
9よりも熱膨張率が大きいために、柔軟性樹脂18の方
か熱硬化性樹脂19よりも大きく熱膨張する。そのため
に、熱硬化性樹脂19には柔軟性樹脂18から大きな内
圧が加えられることになる結果、端子14.14にはそ
れを上方へ持ち上げる力が作用することになる。
このような力が半導体チップ16.16への通電の繰り
返しにより端子14.14に作用すると、結局、半導体
チップ16.16とか、ワイヤ17などを端子14.1
4に接続固定している半田が疲労してしまって、それら
が接続不良を来してしまうという問題かある。
返しにより端子14.14に作用すると、結局、半導体
チップ16.16とか、ワイヤ17などを端子14.1
4に接続固定している半田が疲労してしまって、それら
が接続不良を来してしまうという問題かある。
第3図は上記問題を解決するためになされた従来例の半
導体装置の断面図である。第3図において、第2図と同
一ないしは相当する部分、部品には同一の符号を付すと
ともに、その同一の符号に係る部分、部品についての説
明は重複説明を避けるために省略する。
導体装置の断面図である。第3図において、第2図と同
一ないしは相当する部分、部品には同一の符号を付すと
ともに、その同一の符号に係る部分、部品についての説
明は重複説明を避けるために省略する。
第3図に示される従来例の半導体装置では、ケース12
.12それぞれの内壁に基板11方向にI7形に突出し
た突出部20.20を形成することにより、ケース12
.12の内壁とその突出部20.20の内側との間に空
隙21.21を形成している。
.12それぞれの内壁に基板11方向にI7形に突出し
た突出部20.20を形成することにより、ケース12
.12の内壁とその突出部20.20の内側との間に空
隙21.21を形成している。
第3図の半導体装置では、柔軟性樹脂18が熱膨張して
も、その空隙21.21でもってその熱膨張を吸収する
ことにより、柔軟性樹脂18の熱膨張により熱硬化性樹
脂19に内圧がかからないようにしている。
も、その空隙21.21でもってその熱膨張を吸収する
ことにより、柔軟性樹脂18の熱膨張により熱硬化性樹
脂19に内圧がかからないようにしている。
しかしながら、第3図の半導体装置では、その空隙21
.21の位置がケース12.12内壁側の周辺部になら
ざるを得ない構造であるから、柔軟性樹脂18の熱膨張
吸収の効果に劣る上、第3図のような構造の突出部20
.20を有する「−ス12.12を射出加工する金型の
コストが高くつくという問題がある。
.21の位置がケース12.12内壁側の周辺部になら
ざるを得ない構造であるから、柔軟性樹脂18の熱膨張
吸収の効果に劣る上、第3図のような構造の突出部20
.20を有する「−ス12.12を射出加工する金型の
コストが高くつくという問題がある。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたちのであって、ケ
ースに余分な加工を施す必要なく、柔軟性樹脂の熱膨張
を十分に効果的に吸収できるようにすることを目的とし
ている。
ースに余分な加工を施す必要なく、柔軟性樹脂の熱膨張
を十分に効果的に吸収できるようにすることを目的とし
ている。
(課題を解決するための手段)
このような目的を達成するために、本発明の半導体装置
においては、半導体チップの周囲を柔軟性樹脂で囲み、
その柔軟性樹脂の表面を熱硬化性樹脂で覆ってなるもの
において、開口された容器を、その開口側を前記柔軟性
樹脂側に向けかつその内部に空隙が存した状態で当該柔
軟性樹脂表面に載置したことを特徴としている。
においては、半導体チップの周囲を柔軟性樹脂で囲み、
その柔軟性樹脂の表面を熱硬化性樹脂で覆ってなるもの
において、開口された容器を、その開口側を前記柔軟性
樹脂側に向けかつその内部に空隙が存した状態で当該柔
軟性樹脂表面に載置したことを特徴としている。
(作用)
柔軟性樹脂表面にその開口側を向けた状態で容器を載置
したことから、柔軟性樹脂が熱膨張してもその容器の内
部空隙でその熱膨張が吸収される。
したことから、柔軟性樹脂が熱膨張してもその容器の内
部空隙でその熱膨張が吸収される。
この場合、容器はその柔軟性樹脂の熱膨張の吸収にもっ
とら効果的な位置に配置することが可能であるので、そ
の熱膨張吸収を効率的に行わせることができることにな
る。
とら効果的な位置に配置することが可能であるので、そ
の熱膨張吸収を効率的に行わせることができることにな
る。
(実施例)
以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。第1図は本発明の実施例に係る半導体装置の断面図で
あり、第2図および第3図に係る従来例と同一ないしは
相当する部分、部品には同一の符号を付すとともに、そ
の同一の符号に係る部分、部品についての説明は重複説
明を避けるために省略する。
。第1図は本発明の実施例に係る半導体装置の断面図で
あり、第2図および第3図に係る従来例と同一ないしは
相当する部分、部品には同一の符号を付すとともに、そ
の同一の符号に係る部分、部品についての説明は重複説
明を避けるために省略する。
本実施例の半導体装置において、従来例と異なる構成は
次の通りである。
次の通りである。
すなわち、本実施例の半導体装置にあっては、開口され
た容器22を備える。そして、その容器22は、その開
口側を柔軟性樹脂18側に向けられており、かつその当
該容器22の内部に空隙23が存した状態で柔軟性樹脂
18の表面に載置されている。
た容器22を備える。そして、その容器22は、その開
口側を柔軟性樹脂18側に向けられており、かつその当
該容器22の内部に空隙23が存した状態で柔軟性樹脂
18の表面に載置されている。
この容器22の材質はケース12.12と同じ材質であ
っても他の材質であってもよく、また、容器22の載置
個数は本実施例では1個であったが、必ずしも1個でな
くてもよく、複数個であっでらよいことは勿論である。
っても他の材質であってもよく、また、容器22の載置
個数は本実施例では1個であったが、必ずしも1個でな
くてもよく、複数個であっでらよいことは勿論である。
また、容器22に熱硬化性樹脂19が流れ込まない程度
の小孔24を形成しておくことで柔軟性樹脂側8の硬化
時とか、熱硬化性樹脂19の硬化時などにおける空隙2
3内の圧力増大を回避可能にしてもよい。
の小孔24を形成しておくことで柔軟性樹脂側8の硬化
時とか、熱硬化性樹脂19の硬化時などにおける空隙2
3内の圧力増大を回避可能にしてもよい。
その他の構成は従来例と同様であるからその説明は省略
する。
する。
つぎに、作用を説明すると、容器22は柔軟性樹脂18
の表面にその開口側を向けた状態で載置されていること
から、柔軟性樹脂■8が熱膨張してもその容器22の内
部空隙23でその熱膨張が吸収される。この場合、容器
22をその柔軟性樹脂18の熱膨張の吸収にもっとも効
果的な位置、例えば第1図の位置、に配置することか可
能であるので、その熱膨張吸収を効率的に行わせること
ができることになる。
の表面にその開口側を向けた状態で載置されていること
から、柔軟性樹脂■8が熱膨張してもその容器22の内
部空隙23でその熱膨張が吸収される。この場合、容器
22をその柔軟性樹脂18の熱膨張の吸収にもっとも効
果的な位置、例えば第1図の位置、に配置することか可
能であるので、その熱膨張吸収を効率的に行わせること
ができることになる。
(発明の効果)
以上説明したことから明らかなように本発明によれば、
その開口側を柔軟性樹脂側に向けかつその内部に空隙が
存した状態で容器を柔軟性樹脂表面に載置したことから
、柔軟性樹脂が熱膨張したときは、その容器の内部空隙
でその熱膨張を吸収させることができる。そして、この
場合、その容器を柔軟性樹脂の熱膨張の吸収にもっとも
効果的な位置に配置することが可能であるので、その熱
膨張吸収を効率的に行わせることかできることになる。
その開口側を柔軟性樹脂側に向けかつその内部に空隙が
存した状態で容器を柔軟性樹脂表面に載置したことから
、柔軟性樹脂が熱膨張したときは、その容器の内部空隙
でその熱膨張を吸収させることができる。そして、この
場合、その容器を柔軟性樹脂の熱膨張の吸収にもっとも
効果的な位置に配置することが可能であるので、その熱
膨張吸収を効率的に行わせることかできることになる。
し、たがって、本発明によれば、従来例のようにケース
に余分な加工を施す必要なく、つまり、その加工のため
の金型のコストを高くつかせることなく、柔軟性樹脂の
熱膨張を十分に効果的に吸収できる構造を提供すること
かできる。その結果、柔軟性樹脂が熱膨張してもそれに
囲まれた半導体チップなどが、柔軟性樹脂と熱硬化性樹
脂との熱膨張の相違により端子等と接続不良を来してし
まうといったことが解消される。
に余分な加工を施す必要なく、つまり、その加工のため
の金型のコストを高くつかせることなく、柔軟性樹脂の
熱膨張を十分に効果的に吸収できる構造を提供すること
かできる。その結果、柔軟性樹脂が熱膨張してもそれに
囲まれた半導体チップなどが、柔軟性樹脂と熱硬化性樹
脂との熱膨張の相違により端子等と接続不良を来してし
まうといったことが解消される。
第1図は本発明の実施例に係る半導体装置の断面図であ
る。 第2図は従来例に係る半導体装置の断面図、第3図は他
の従来例に係る半導体装置の断面図である。 14・・・端子、15・・・ターミナル、16・・半導
体チップ、17・・・ワイヤ、18・・・柔軟性樹脂、
19・・・熱硬化性樹脂、22・・・容器、23・・・
空隙、24・・小孔。 図中、同一符号は同一ないしは相当部分を示ず。
る。 第2図は従来例に係る半導体装置の断面図、第3図は他
の従来例に係る半導体装置の断面図である。 14・・・端子、15・・・ターミナル、16・・半導
体チップ、17・・・ワイヤ、18・・・柔軟性樹脂、
19・・・熱硬化性樹脂、22・・・容器、23・・・
空隙、24・・小孔。 図中、同一符号は同一ないしは相当部分を示ず。
Claims (1)
- (1)半導体チップの周囲を柔軟性樹脂で囲み、その柔
軟性樹脂の表面を熱硬化性樹脂で覆ってなる樹脂封止型
半導体装置において、 開口された容器を、その開口側を前記柔軟性樹脂側に向
けかつその内部に空隙が存した状態で当該柔軟性樹脂表
面に載置したことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28444788A JPH02129950A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28444788A JPH02129950A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | 樹脂封止型半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129950A true JPH02129950A (ja) | 1990-05-18 |
Family
ID=17678662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28444788A Pending JPH02129950A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02129950A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019204819A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社デンソー | 電子装置 |
-
1988
- 1988-11-09 JP JP28444788A patent/JPH02129950A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019204819A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社デンソー | 電子装置 |
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