JPH02135346A - 防塵膜の取付け方法 - Google Patents
防塵膜の取付け方法Info
- Publication number
- JPH02135346A JPH02135346A JP63289213A JP28921388A JPH02135346A JP H02135346 A JPH02135346 A JP H02135346A JP 63289213 A JP63289213 A JP 63289213A JP 28921388 A JP28921388 A JP 28921388A JP H02135346 A JPH02135346 A JP H02135346A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- frame
- dustproof
- film
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
半導体装置の製造工程において用いられるホトマスク、
特に防塵膜をレチクルマスク表面へ取付ける方法に関し
、 防塵膜の交換に際し被防塵マスクから接着されたフレー
ムを、容易に剥離できる防塵膜の取付は方法の提供を目
的とし、 一方に防塵膜が展着されたフレームを接着することによ
って、塵埃が表面に付着するのを防止するマスクの防塵
方法において、フレームを接着するに先立って被防塵マ
スクの表面に、ポリビニルアルコール（以下ＰＶＡと略
称する）皮膜が形成されるように構成する。
特に防塵膜をレチクルマスク表面へ取付ける方法に関し
、 防塵膜の交換に際し被防塵マスクから接着されたフレー
ムを、容易に剥離できる防塵膜の取付は方法の提供を目
的とし、 一方に防塵膜が展着されたフレームを接着することによ
って、塵埃が表面に付着するのを防止するマスクの防塵
方法において、フレームを接着するに先立って被防塵マ
スクの表面に、ポリビニルアルコール（以下ＰＶＡと略
称する）皮膜が形成されるように構成する。
〔産業上の利用分野］
本発明は半導体装置の製造工程において用いられるホト
マスクに係り、特に防塵膜をレチクルマスク表面へ取付
ける方法に関する。
マスクに係り、特に防塵膜をレチクルマスク表面へ取付
ける方法に関する。
半導体装置の歩留りを低下させる最大の要因は塵埃の付
着であり、特にホトマスクを形成する際の基準となるレ
チクルマスクに塵埃が付着すると、ホトマスクに欠陥が
生じ正常なパターンの形成が不可能になる。かかるマス
ク表面への塵埃の付着を防止する手段として一般に、ペ
リクル膜と称する防塵膜がマスク表面に取付けられてい
る。
着であり、特にホトマスクを形成する際の基準となるレ
チクルマスクに塵埃が付着すると、ホトマスクに欠陥が
生じ正常なパターンの形成が不可能になる。かかるマス
ク表面への塵埃の付着を防止する手段として一般に、ペ
リクル膜と称する防塵膜がマスク表面に取付けられてい
る。
しかし取付は方法に不備があると防塵膜を交換する際に
マスクが損傷を受ける。そこでマスクを損傷することな
く容易に防塵膜を交換できる取付は方法の実現が望まれ
ている。
マスクが損傷を受ける。そこでマスクを損傷することな
く容易に防塵膜を交換できる取付は方法の実現が望まれ
ている。
第３図は従来の防塵膜の取付は方法を示す側断面図であ
る。
る。
図において従来の防塵膜の取付は方法はレチクルマスク
１の両面に、レチクルマスク１の四方を取り囲むフレー
ム２が接着され、ニトロセルロースからなる極く薄い防
塵膜、即ちペリクル膜３がフレーム２の反対側の端面に
展着されている。なおレチクルマスク１とフレーム２の
間に介在する４は接着剤である。
１の両面に、レチクルマスク１の四方を取り囲むフレー
ム２が接着され、ニトロセルロースからなる極く薄い防
塵膜、即ちペリクル膜３がフレーム２の反対側の端面に
展着されている。なおレチクルマスク１とフレーム２の
間に介在する４は接着剤である。
このようにレチクルマスク１の四方をフレーム２で取り
囲み、光をよく通す防塵膜３をレチクルマスクｌから離
れた位置に設けることによって、レチクルマスク１の表
面への塵埃の付着を防止することができる。また防塵膜
３の表面に塵埃が付着してもレチクルマスク１から離れ
ていて輪郭がぼけるため、塵埃が小さければホトマスク
を形成する際の障害にはならない。
囲み、光をよく通す防塵膜３をレチクルマスクｌから離
れた位置に設けることによって、レチクルマスク１の表
面への塵埃の付着を防止することができる。また防塵膜
３の表面に塵埃が付着してもレチクルマスク１から離れ
ていて輪郭がぼけるため、塵埃が小さければホトマスク
を形成する際の障害にはならない。
しかし長期間使用すると防塵膜３の表面に付着する塵埃
が増加し、レチクルマスク１からフレーム２を外して防
塵膜３を交換しなければならない。
が増加し、レチクルマスク１からフレーム２を外して防
塵膜３を交換しなければならない。
しかるに従来の取付は方法ではフレーム２が直接レチク
ルマスク１に接着されているため、レチクルマスク１か
ら外す際にフレーム２が変形し再使用が不可能な場合が
ある。またレチクルマスクｌからフレーム２を外す際に
マスク面に傷がついたり、レチクルマスク１に残った接
着剤によってマスク面が汚染されたりする等の問題があ
った。
ルマスク１に接着されているため、レチクルマスク１か
ら外す際にフレーム２が変形し再使用が不可能な場合が
ある。またレチクルマスクｌからフレーム２を外す際に
マスク面に傷がついたり、レチクルマスク１に残った接
着剤によってマスク面が汚染されたりする等の問題があ
った。
本発明の目的は防塵膜の交換に際し被防塵マスクから接
着されたフレームを、容易に剥離できる防塵膜の取付は
方法を提供することにある。
着されたフレームを、容易に剥離できる防塵膜の取付は
方法を提供することにある。
第１図は本発明になる防塵膜の取付は方法を示す側断面
図である。なお全図を通し同じ対象物は同一記号で表し
ている。
図である。なお全図を通し同じ対象物は同一記号で表し
ている。
上記課題は一方に防塵膜３が展着されたフレーム２を接
着することによって、塵埃が表面に付着するのを防止す
るマスク１の防塵方法において、フレーム２を接着する
に先立って被防塵マスクｌの表面に、ＰＶＡ皮膜５が形
成される本発明になる防塵膜の取付は方法により達成さ
れる。
着することによって、塵埃が表面に付着するのを防止す
るマスク１の防塵方法において、フレーム２を接着する
に先立って被防塵マスクｌの表面に、ＰＶＡ皮膜５が形
成される本発明になる防塵膜の取付は方法により達成さ
れる。
第１図において接着に先立って被防塵マスクの表面にＰ
ＶＡ皮膜を形成しておくことによって、防塵膜の交換に
際しフレームおよび接着剤の被防塵マスクからの剥離が
極めて容易になり、被防塵マスクとフレームの損傷が少
ない防塵膜の取付は方法を実現することができる。
ＶＡ皮膜を形成しておくことによって、防塵膜の交換に
際しフレームおよび接着剤の被防塵マスクからの剥離が
極めて容易になり、被防塵マスクとフレームの損傷が少
ない防塵膜の取付は方法を実現することができる。
以下添付図により本発明の実施例について説明する。な
お第２図はフレームとレチクルマスクの接合部を示す図
である。
お第２図はフレームとレチクルマスクの接合部を示す図
である。
本発明になる防塵膜の取付は方法では第１図に示す如く
、レチクルマスクｌの両面にＰＶＡ皮膜５がスピンコー
ド法によって形成され、レチクルマスク１の四方を取り
囲むフレーム２は接着剤４を用いて、ＰＶＡ皮膜５を挟
んでレチクルマスク１に接着されている。
、レチクルマスクｌの両面にＰＶＡ皮膜５がスピンコー
ド法によって形成され、レチクルマスク１の四方を取り
囲むフレーム２は接着剤４を用いて、ＰＶＡ皮膜５を挟
んでレチクルマスク１に接着されている。
またフレーム２の反対側の端面にはニトロセルロースか
らなる防塵膜３が展着されている。Ｐ−ＶＡ皮１１ｉｓ
およびニトロセルロースからなる防塵膜３は光をよく通
し、かかる膜を設けることによってレチクルマスクの機
能が阻害されることは無い。
らなる防塵膜３が展着されている。Ｐ−ＶＡ皮１１ｉｓ
およびニトロセルロースからなる防塵膜３は光をよく通
し、かかる膜を設けることによってレチクルマスクの機
能が阻害されることは無い。
レチクルマスクｌの両面に形成されたＰＶＡ皮膜５は水
溶性で、レチクルマスクからフレームを外して防塵膜を
交換する際は、レチクルマスクを水に浸すことによって
フレームが接着剤と共に容易に剥離され、レチクルマス
ク１から外す際にフレーム２が変形するとか、マスク面
に傷がついたり接着剤でマスク面が汚染されたりする等
の障害が無くなる。
溶性で、レチクルマスクからフレームを外して防塵膜を
交換する際は、レチクルマスクを水に浸すことによって
フレームが接着剤と共に容易に剥離され、レチクルマス
ク１から外す際にフレーム２が変形するとか、マスク面
に傷がついたり接着剤でマスク面が汚染されたりする等
の障害が無くなる。
その他に従来の防塵膜の取付は方法ではレチクルマスク
１と、フレーム２および防塵膜３で囲まれた空間は完全
に密封されており、露光時の熱によって内部の温度が上
昇し空気が膨張すると、防塵膜３が盛り上がってマスク
形成を阻害する場合がある。
１と、フレーム２および防塵膜３で囲まれた空間は完全
に密封されており、露光時の熱によって内部の温度が上
昇し空気が膨張すると、防塵膜３が盛り上がってマスク
形成を阻害する場合がある。
しかし本発明になる防塵膜の取付は方法では第２図に示
す如く、スピンコード法によって形成されたＰＶＡ皮膜
５の表面には凹凸６があり、レチクルマスクｌとフレー
ム２および防塵膜３で囲まれた空間の空気は、この凹凸
６と接着剤４とで形成される隙間を通して出入りするこ
とができ、内部温度の上昇によって空気が膨張しても防
塵膜３が盛り上がることは無い。
す如く、スピンコード法によって形成されたＰＶＡ皮膜
５の表面には凹凸６があり、レチクルマスクｌとフレー
ム２および防塵膜３で囲まれた空間の空気は、この凹凸
６と接着剤４とで形成される隙間を通して出入りするこ
とができ、内部温度の上昇によって空気が膨張しても防
塵膜３が盛り上がることは無い。
ちなみに発明者らが行った実験によればＰＶＡ皮膜５の
膜厚が、５０００人程度０ときにフレーム２の接着や剥
離が最も円滑に行われる。しかもこのときの表面におけ
る凹凸には約１０００人の高低差があり、レチクルマス
クとフレームおよび防塵膜で囲まれた空間に、この凹凸
の間を通して空気を出入りさせることが充分可能である
。なお同時に塵埃も出入りするがその程度の大きさの塵
埃は実用上問題にはならない。
膜厚が、５０００人程度０ときにフレーム２の接着や剥
離が最も円滑に行われる。しかもこのときの表面におけ
る凹凸には約１０００人の高低差があり、レチクルマス
クとフレームおよび防塵膜で囲まれた空間に、この凹凸
の間を通して空気を出入りさせることが充分可能である
。なお同時に塵埃も出入りするがその程度の大きさの塵
埃は実用上問題にはならない。
このように接着に先立って被防塵マスクの表面にＰＶＡ
皮膜を形成しておくことによって、防塵膜の交換に際し
フレームおよび接着剤の被防塵マスクからの剥離が極め
て容易になり、被防塵マスクとフレームの損傷が少ない
防塵膜の取付は方法を実現することができる。
皮膜を形成しておくことによって、防塵膜の交換に際し
フレームおよび接着剤の被防塵マスクからの剥離が極め
て容易になり、被防塵マスクとフレームの損傷が少ない
防塵膜の取付は方法を実現することができる。
上述の如く本発明によれば防塵膜の交換に際し被防塵マ
スクから接着されたフレームを、容易に剥離できる防塵
膜の取付は方法を提供することができる。
スクから接着されたフレームを、容易に剥離できる防塵
膜の取付は方法を提供することができる。
第１図は本発明になる防塵膜の取付は方法を示す側断面
図、 第２図はフレームとレチクルマスクの接合部を示す図、 第３図は従来の防塵膜の取付は方法を示す側断面図、 である。図において ■はレチクルマスク、 ２はフレーム、３は防塵膜、
４は接着剤、 ５はＰＶＡ皮膜、 ６は凹凸、 をそれぞれ表す。
図、 第２図はフレームとレチクルマスクの接合部を示す図、 第３図は従来の防塵膜の取付は方法を示す側断面図、 である。図において ■はレチクルマスク、 ２はフレーム、３は防塵膜、
４は接着剤、 ５はＰＶＡ皮膜、 ６は凹凸、 をそれぞれ表す。
Claims (1)
- 一方に防塵膜（３）が展着されたフレーム（２）を接着
することによって、塵埃が表面に付着するのを防止する
マスク（１）の防塵方法において、フレーム（２）を接
着するに先立ち被防塵マスク（１）の表面に、ポリビニ
ルアルコール皮膜（５）が形成されることを特徴とする
防塵膜の取付け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28921388A JP2658297B2 (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 防塵膜の取付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28921388A JP2658297B2 (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 防塵膜の取付け方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02135346A true JPH02135346A (ja) | 1990-05-24 |
| JP2658297B2 JP2658297B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=17740245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28921388A Expired - Lifetime JP2658297B2 (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 防塵膜の取付け方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2658297B2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-16 JP JP28921388A patent/JP2658297B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2658297B2 (ja) | 1997-09-30 |
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