JPH02138416U - - Google Patents
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- JPH02138416U JPH02138416U JP4869789U JP4869789U JPH02138416U JP H02138416 U JPH02138416 U JP H02138416U JP 4869789 U JP4869789 U JP 4869789U JP 4869789 U JP4869789 U JP 4869789U JP H02138416 U JPH02138416 U JP H02138416U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- exposure
- mask
- transmitting material
- light source
- Prior art date
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- Pending
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
第１図及び第２図は本考案Ｘ線型露光装置の一
つの実施例を説明するためのもので、第１図は装
置の構成の概略を示す斜視図、第２図はダミーマ
スクと露光マスクと被露光体の断面図、第３図及
び第４図はＸ線型露光装置の従来例を示すもので
、第３図は装置の構成の概略を示す斜視図、第４
図は露光マスクと被露光体の断面図、第５図は発
明が解決しようとする問題点を説明するための露
光マスクの光透過材の光透過特性図である。 符号の説明、１……光源、６……露光マスク、
７……被露光体（半導体ウエハ）、８……光透過
材、９……光吸収膜、１２……ダミーマスク。
つの実施例を説明するためのもので、第１図は装
置の構成の概略を示す斜視図、第２図はダミーマ
スクと露光マスクと被露光体の断面図、第３図及
び第４図はＸ線型露光装置の従来例を示すもので
、第３図は装置の構成の概略を示す斜視図、第４
図は露光マスクと被露光体の断面図、第５図は発
明が解決しようとする問題点を説明するための露
光マスクの光透過材の光透過特性図である。 符号の説明、１……光源、６……露光マスク、
７……被露光体（半導体ウエハ）、８……光透過
材、９……光吸収膜、１２……ダミーマスク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 Ｘ線を発生する光源と被露光体との間に、光透
過材の表面に光吸収膜からなるパターンを形成し
た露光マスクを配置して露光を行うようにされた
Ｘ線型露光装置において、 上記露光マスクの光源側に光透過材からなるダ
ミーマスクを配置してなる ことを特徴とするＸ線型露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4869789U JPH02138416U (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4869789U JPH02138416U (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02138416U true JPH02138416U (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=31565744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4869789U Pending JPH02138416U (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02138416U (ja) |
-
1989
- 1989-04-24 JP JP4869789U patent/JPH02138416U/ja active Pending
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