JPH0538647A - 吸着テーブル - Google Patents
吸着テーブルInfo
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- JPH0538647A JPH0538647A JP22815491A JP22815491A JPH0538647A JP H0538647 A JPH0538647 A JP H0538647A JP 22815491 A JP22815491 A JP 22815491A JP 22815491 A JP22815491 A JP 22815491A JP H0538647 A JPH0538647 A JP H0538647A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 吸着テーブルに多数設けられた吸引孔に被加
工物を載置すると自動的に吸引の必要する部分のみで吸
引することを可能とする。 【構成】 吸着テーブル６の厚さ方向に複数の吸引孔７
を形成する。吸引孔７の下方に連設し真空室９を形成す
る。真空室９の下端に絞りＢを形成し、その下端に連設
し筒Ｃを形成する。筒Ｃ下部にスプリング受け１１を設
けスプリング１０を収容する。スプリング１０の上端に
球体１２を設け、筒Ｃ下端に吸引口１４を形成する。吸
引孔７への空気の流入の有無によりスプリング１０と球
体１２が連結屈伸し、球体１２と絞りＢの面とは接離す
る弁座１３を形成する。
工物を載置すると自動的に吸引の必要する部分のみで吸
引することを可能とする。 【構成】 吸着テーブル６の厚さ方向に複数の吸引孔７
を形成する。吸引孔７の下方に連設し真空室９を形成す
る。真空室９の下端に絞りＢを形成し、その下端に連設
し筒Ｃを形成する。筒Ｃ下部にスプリング受け１１を設
けスプリング１０を収容する。スプリング１０の上端に
球体１２を設け、筒Ｃ下端に吸引口１４を形成する。吸
引孔７への空気の流入の有無によりスプリング１０と球
体１２が連結屈伸し、球体１２と絞りＢの面とは接離す
る弁座１３を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，被加工物を吸引固定す
る吸着テーブルに関するものである。
る吸着テーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に加工機械で被加工物の加工を行う
場合，被加工物をテーブル上に固定する方法として被加
工物を真空吸引により固定する方法がよく知られてい
る。従来被加工物吸着方法として，加工すべき被加工物
の大きさや形状に合せて専用の吸着用治具を作製し，テ
ーブル上に吸着用治具をセットし，吸引ポンプに接続す
ることにより，この吸引ポンプの吸引力により，吸着治
具上に載置された被加工物を真空吸引により固定して，
被加工物の加工を行っている。その他被加工物が吸着テ
ーブルに接している部分以外の吸引孔を人為的にマスキ
ングし，テーブルと接続された吸引ポンプ吸引ポンプに
よる吸引力により，吸着テーブル上に載置された被加工
物を真空吸引により固定して，被加工物の加工を行って
いるのが実情である。
場合，被加工物をテーブル上に固定する方法として被加
工物を真空吸引により固定する方法がよく知られてい
る。従来被加工物吸着方法として，加工すべき被加工物
の大きさや形状に合せて専用の吸着用治具を作製し，テ
ーブル上に吸着用治具をセットし，吸引ポンプに接続す
ることにより，この吸引ポンプの吸引力により，吸着治
具上に載置された被加工物を真空吸引により固定して，
被加工物の加工を行っている。その他被加工物が吸着テ
ーブルに接している部分以外の吸引孔を人為的にマスキ
ングし，テーブルと接続された吸引ポンプ吸引ポンプに
よる吸引力により，吸着テーブル上に載置された被加工
物を真空吸引により固定して，被加工物の加工を行って
いるのが実情である。
【０００３】
【発明の解決しようとする課題】従来の加工機械におけ
る被加工物の吸着手段として，加工機械による被加工物
の加工に対して，ロット加工が終了するたびに，被加工
物の大きさや形状に合せた専用の吸着治具を作製しなけ
ればならなかった。そのため，大きさや形状の違った吸
着治具が現場に溜まり場所を専有することと新製品の加
工のたびに吸着治具を作製する必要が生じるため問題点
となっていた。吸引固定の確実性を高めるために，ある
先行技術では，厚さ方向に多数の吸引孔をあけた基板を
吸着テーブルの真空室上に固定し，吸引孔のうち吸引力
を必要としない部分の吸引孔には閉じ蓋を嵌合して閉
じ，吸引力を必要とする部分の吸引孔上に被加工物を載
置して吸引固定することを特徴とする吸着テーブルであ
る。このような先行技術の問題点は，被加工物を載置し
て吸引固定する場合に吸引力を必要としない部分の吸引
孔には人為的に閉じ蓋を嵌合して閉じる必要があるその
ため加工機械の被加工物のサイズが変更したり被加工物
を載置して吸引固定する場所が変更するたびに人為的に
閉じ蓋を嵌合して閉じる必要がおこるため前後の生産ラ
インが自動化されても旧来の吸着テーブルが自動化され
てないため省力化のネックとなったり，サーボモーター
とコンピューターの連動による吸着機構などもあるが，
しかしあまりにも構造が複雑となりコストも高いためて
産業として使用するには解決すべき課題があった。
る被加工物の吸着手段として，加工機械による被加工物
の加工に対して，ロット加工が終了するたびに，被加工
物の大きさや形状に合せた専用の吸着治具を作製しなけ
ればならなかった。そのため，大きさや形状の違った吸
着治具が現場に溜まり場所を専有することと新製品の加
工のたびに吸着治具を作製する必要が生じるため問題点
となっていた。吸引固定の確実性を高めるために，ある
先行技術では，厚さ方向に多数の吸引孔をあけた基板を
吸着テーブルの真空室上に固定し，吸引孔のうち吸引力
を必要としない部分の吸引孔には閉じ蓋を嵌合して閉
じ，吸引力を必要とする部分の吸引孔上に被加工物を載
置して吸引固定することを特徴とする吸着テーブルであ
る。このような先行技術の問題点は，被加工物を載置し
て吸引固定する場合に吸引力を必要としない部分の吸引
孔には人為的に閉じ蓋を嵌合して閉じる必要があるその
ため加工機械の被加工物のサイズが変更したり被加工物
を載置して吸引固定する場所が変更するたびに人為的に
閉じ蓋を嵌合して閉じる必要がおこるため前後の生産ラ
インが自動化されても旧来の吸着テーブルが自動化され
てないため省力化のネックとなったり，サーボモーター
とコンピューターの連動による吸着機構などもあるが，
しかしあまりにも構造が複雑となりコストも高いためて
産業として使用するには解決すべき課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
めのこの発明における手段は、図４に示すように吸着テ
ーブル６の厚さ方向に複数の吸引孔７を形成し，吸引孔
７の下方に連設し真空室９を形成し，真空室９の下端に
連設し絞りＢを形成し，絞りＢの下端に連設し筒Ｃを形
成し，筒Ｃ内にスプリング１０を設け，筒Ｃ下部にスプ
リング受け１１を設け，スプリング１０の上端に球体１
２を設け，筒Ｃ下端に吸引口１４を形成し，吸引孔７へ
の空気の流入の有無によりスプリング１０と球体１２が
連結屈伸し，球体１２と絞りＢの面と接離する弁座１３
を形成することから構成されている。次に図５に示すよ
うに上記吸着テーブル６の厚さ方向に複数の吸引孔７の
外周に対し，弾性体８を設けたことから構成されてい
る。次に図６に示すように上記吸着テーブル６の上に載
置し，これと同位置に吸引孔７をあけた非金属板１５を
設けたことから構成されている。次に図７に示すように
吸着テーブル６の厚さ方向に複数の吸引孔７を設け，吸
引孔７の下方に連設し，上下両端部に段部Ｄを持つ筒状
を設け，段部Ｄのうち上部に弁座１３を設け，筒Ｃ内に
真空室９を設け，もう一方の下部の段部Ｄにスプリング
受け１１を設け，スプリング受け１１の下方に吸引口１
４を設け，スプリング受け１１と連結し上方にスプリン
グ１０と球体１２を設けたことから構成されている。
めのこの発明における手段は、図４に示すように吸着テ
ーブル６の厚さ方向に複数の吸引孔７を形成し，吸引孔
７の下方に連設し真空室９を形成し，真空室９の下端に
連設し絞りＢを形成し，絞りＢの下端に連設し筒Ｃを形
成し，筒Ｃ内にスプリング１０を設け，筒Ｃ下部にスプ
リング受け１１を設け，スプリング１０の上端に球体１
２を設け，筒Ｃ下端に吸引口１４を形成し，吸引孔７へ
の空気の流入の有無によりスプリング１０と球体１２が
連結屈伸し，球体１２と絞りＢの面と接離する弁座１３
を形成することから構成されている。次に図５に示すよ
うに上記吸着テーブル６の厚さ方向に複数の吸引孔７の
外周に対し，弾性体８を設けたことから構成されてい
る。次に図６に示すように上記吸着テーブル６の上に載
置し，これと同位置に吸引孔７をあけた非金属板１５を
設けたことから構成されている。次に図７に示すように
吸着テーブル６の厚さ方向に複数の吸引孔７を設け，吸
引孔７の下方に連設し，上下両端部に段部Ｄを持つ筒状
を設け，段部Ｄのうち上部に弁座１３を設け，筒Ｃ内に
真空室９を設け，もう一方の下部の段部Ｄにスプリング
受け１１を設け，スプリング受け１１の下方に吸引口１
４を設け，スプリング受け１１と連結し上方にスプリン
グ１０と球体１２を設けたことから構成されている。
【０００５】
【作用】次に，上記構成よりなるこの実施例の吸着テー
ブルの作用について説明する。図４の左側の図は，吸引
孔７が被加工物Ａにより塞がれていないために吸引口１
４からの吸引力により球体１２がスプリング１０を押し
下げて弁座１３に接して吸引孔７からの外部の空気の流
れを止める。図４の右側の図は，吸引孔７が被加工物Ａ
により塞がれるため吸引口１４からの吸引力の作用に対
して真空室９が真空状態となるため球体１２はスプリン
グ１０を押し下げることができないため吸引孔７に載置
されている被加工物Ａを吸引固定できる。図７の左側の
図は，吸引孔７が被加工物Ａにより載置されていないた
めにスプリング１０の力が吸引口１４からの吸引力に対
して勝ため，スプリング１０が球体１２を押上げている
ため球体１２の一部が弁座１３に接するために吸引孔７
への外部の空気の流れを止める。図７の右半分の図は，
被加工物Ａ重さにより球体１２が押し下げられて球体１
２と弁座１３が離れるため，吸引口１４からの吸引力が
真空室９を真空にして載置されている被加工物Ａを吸引
固定できる。
ブルの作用について説明する。図４の左側の図は，吸引
孔７が被加工物Ａにより塞がれていないために吸引口１
４からの吸引力により球体１２がスプリング１０を押し
下げて弁座１３に接して吸引孔７からの外部の空気の流
れを止める。図４の右側の図は，吸引孔７が被加工物Ａ
により塞がれるため吸引口１４からの吸引力の作用に対
して真空室９が真空状態となるため球体１２はスプリン
グ１０を押し下げることができないため吸引孔７に載置
されている被加工物Ａを吸引固定できる。図７の左側の
図は，吸引孔７が被加工物Ａにより載置されていないた
めにスプリング１０の力が吸引口１４からの吸引力に対
して勝ため，スプリング１０が球体１２を押上げている
ため球体１２の一部が弁座１３に接するために吸引孔７
への外部の空気の流れを止める。図７の右半分の図は，
被加工物Ａ重さにより球体１２が押し下げられて球体１
２と弁座１３が離れるため，吸引口１４からの吸引力が
真空室９を真空にして載置されている被加工物Ａを吸引
固定できる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は木工用ルータの概略的な正面図，図２は，
木工用ルータの吸着テーブルの平面図，図３は同側面図
である。図４〜図７は，吸着テーブルの拡大動作図。図
８は，被加工物底面が非連続面での吸着テーブルの拡大
動作図。図９は，被加工物底面側から見て中央部分が凹
の形状をした被加工物が吸着テーブルに載置された平面
図。図１０は，被加工物底面側から見た非連続凹形状を
した被加工物が吸着テーブルに載置された平面図。図１
において、１は木工用ルータ，２は木工用ルータ１のヘ
ッドで，このヘッド２はモータ３で回転駆動される主軸
スピンドル４を備え，この主軸スピンドル４の下端に切
削刃５が着脱可能に取付けられている。なお，上記ヘッ
ド２はＮＣ制御により昇降駆動されると共に，平面Ｘ−
Ｙ方向に駆動されるようになっている。この木工用ルー
タ１は，被加工物載置用に吸着テーブル６を備えてい
る。この吸着テーブル６上には，図２に示すように複数
の吸引孔７が縦横に配列されている。図３は，図２の吸
着テーブル６の概略断面図である。図４の左側は，吸着
テーブル６の拡大動作図で吸引口１４から吸引されると
球体１２は，吸引力により弁座１３と接し空気の流入の
止められるため吸引孔７からの空気の流入は止められ
る。右側側の球体１２は吸引孔７の上に被加工物Ａが載
置されることにより吸引孔７からの空気の流入は無いた
め真空室９が真空となり球体１２はスプリング受け１１
とスプリング１０の弾性により弁座１３に接することが
なく被加工物Ａに対して吸引力を働かせる。この場合に
は，吸着テーブル６の面と被加工物Ａとは密着状態であ
るため空気が外部から吸着テーブル６の面と被加工物Ａ
の面には隙間がないということから吸引固定される。図
５の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は図４と同じで
あるが被加工物の底面が平滑でない材質であるものや表
面をキズつけることが困るものなどに対し吸引固定が使
用される。図６の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は
図４と同じであるが切削刃物などが直接テーブルを破損
することを未然に防ぐために弾性体８を吸着テーブル６
の面の上に設けて被加工物Ａの底面が平滑でない材質の
ものに対する吸着性能を上げたり，切削加工による吸着
テーブル６の破損を防ぐために設けられた。図７の右側
は，吸着テーブル６の拡大動作図の動作は、吸引孔７の
上に被加工物Ａを載置すると被加工物Ａの重さにより球
体１２を押し下げて吸引固定し，左測の図の場合には，
被加工物Ａが載置されない吸引孔７に対してはスプリン
グ１０が球体１２を押し上げているため弁座１３と球体
１２の一部が接して外部から吸引孔７への空気の流入が
止められる。図８の吸着テーブル６の拡大動作図の動作
は吸引固定する被加工物Ａの底面測からみて非連続凹形
状の場合である。図９の吸着テーブル６に載置された被
加工物Ａの中央側が底面側から見て凹である形状で使用
した場合である。図１０の吸着テーブル６に載置された
被加工物Ａ底面側から見て非連続凹形状で使用した場合
である。なおこの発明は前記実施例の構成に限定される
ものではなく，空気室９，球体１２，弁座１３の形状を
任意に変更しても同じ効果があるなど，この発明の趣旨
を逸脱しない範囲内で各部の構成を任意に変更して具体
化することも可能である。
する。図１は木工用ルータの概略的な正面図，図２は，
木工用ルータの吸着テーブルの平面図，図３は同側面図
である。図４〜図７は，吸着テーブルの拡大動作図。図
８は，被加工物底面が非連続面での吸着テーブルの拡大
動作図。図９は，被加工物底面側から見て中央部分が凹
の形状をした被加工物が吸着テーブルに載置された平面
図。図１０は，被加工物底面側から見た非連続凹形状を
した被加工物が吸着テーブルに載置された平面図。図１
において、１は木工用ルータ，２は木工用ルータ１のヘ
ッドで，このヘッド２はモータ３で回転駆動される主軸
スピンドル４を備え，この主軸スピンドル４の下端に切
削刃５が着脱可能に取付けられている。なお，上記ヘッ
ド２はＮＣ制御により昇降駆動されると共に，平面Ｘ−
Ｙ方向に駆動されるようになっている。この木工用ルー
タ１は，被加工物載置用に吸着テーブル６を備えてい
る。この吸着テーブル６上には，図２に示すように複数
の吸引孔７が縦横に配列されている。図３は，図２の吸
着テーブル６の概略断面図である。図４の左側は，吸着
テーブル６の拡大動作図で吸引口１４から吸引されると
球体１２は，吸引力により弁座１３と接し空気の流入の
止められるため吸引孔７からの空気の流入は止められ
る。右側側の球体１２は吸引孔７の上に被加工物Ａが載
置されることにより吸引孔７からの空気の流入は無いた
め真空室９が真空となり球体１２はスプリング受け１１
とスプリング１０の弾性により弁座１３に接することが
なく被加工物Ａに対して吸引力を働かせる。この場合に
は，吸着テーブル６の面と被加工物Ａとは密着状態であ
るため空気が外部から吸着テーブル６の面と被加工物Ａ
の面には隙間がないということから吸引固定される。図
５の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は図４と同じで
あるが被加工物の底面が平滑でない材質であるものや表
面をキズつけることが困るものなどに対し吸引固定が使
用される。図６の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は
図４と同じであるが切削刃物などが直接テーブルを破損
することを未然に防ぐために弾性体８を吸着テーブル６
の面の上に設けて被加工物Ａの底面が平滑でない材質の
ものに対する吸着性能を上げたり，切削加工による吸着
テーブル６の破損を防ぐために設けられた。図７の右側
は，吸着テーブル６の拡大動作図の動作は、吸引孔７の
上に被加工物Ａを載置すると被加工物Ａの重さにより球
体１２を押し下げて吸引固定し，左測の図の場合には，
被加工物Ａが載置されない吸引孔７に対してはスプリン
グ１０が球体１２を押し上げているため弁座１３と球体
１２の一部が接して外部から吸引孔７への空気の流入が
止められる。図８の吸着テーブル６の拡大動作図の動作
は吸引固定する被加工物Ａの底面測からみて非連続凹形
状の場合である。図９の吸着テーブル６に載置された被
加工物Ａの中央側が底面側から見て凹である形状で使用
した場合である。図１０の吸着テーブル６に載置された
被加工物Ａ底面側から見て非連続凹形状で使用した場合
である。なおこの発明は前記実施例の構成に限定される
ものではなく，空気室９，球体１２，弁座１３の形状を
任意に変更しても同じ効果があるなど，この発明の趣旨
を逸脱しない範囲内で各部の構成を任意に変更して具体
化することも可能である。
【０００７】
【発明の効果】以上のように，この発明によれば，吸着
テーブルの吸引孔下方に連設して絞り，真空室，スプリ
ング受けを設け，スプリング受け上部にスプリングを設
け，スプリングと連動し球体を設け，絞りと球体との接
離による弁座から構成ともうひとつは，吸着テーブルの
吸引孔下方に連設して上下両端部の筒内に真空室と段部
を持ち，段部のうち上部に弁座を設け，下部の段部にス
プリング受けを設け，スプリング受け下方に吸引口を設
け，スプリング受けと連結し上方にスプリングと球体を
設けたことから構成したため，つぎの効果が生ずる。 （１）吸着テーブルに被加工物を載置すると同時に吸引
部分と非吸引部分を自動的に設けるため，主として被加
工物の形状に応じて吸引部分と非吸引部分を簡単に確実
に得られる。このため，従来の捨て板のように被加工物
の形状がかわるたびに，これに対応するものを準備しな
くても，一枚の吸着テーブルで各種形状の被加工物に対
応でき，きわめて効果的でコストダウンが図れる。 （２）従来の捨て板を使用しないで代わりに球体と弁座
とスプリングを使用することで確実に被加工物と吸引孔
が載置していない部分の吸引孔に対し確実に吸引孔への
空気の流入を防ぐため大型のファンを使用しないで済む
ため電力消費量の軽減が可能となり経費の節減と騒音の
低減もあわせて可能とする。 （３）ガラスやプラスチックなどの木工用の用途以外の
被加工物に対してもキズにせず簡単に確実に固定するこ
とを可能とした。 （４）吸着テーブルの同一平面上に載置する被加工物を
底面側からみて中央部などが非連続面の形状や中央部が
凹形状しているなどに対しても吸着テーブル上にあれば
どこの場所に被加工物を載置しても確実に簡単に固定が
可能である。 （５）被加工物の厚さとか材質強度の違いがあり吸着固
定が困難な被加工物に対しても吸着固定を可能とした。
テーブルの吸引孔下方に連設して絞り，真空室，スプリ
ング受けを設け，スプリング受け上部にスプリングを設
け，スプリングと連動し球体を設け，絞りと球体との接
離による弁座から構成ともうひとつは，吸着テーブルの
吸引孔下方に連設して上下両端部の筒内に真空室と段部
を持ち，段部のうち上部に弁座を設け，下部の段部にス
プリング受けを設け，スプリング受け下方に吸引口を設
け，スプリング受けと連結し上方にスプリングと球体を
設けたことから構成したため，つぎの効果が生ずる。 （１）吸着テーブルに被加工物を載置すると同時に吸引
部分と非吸引部分を自動的に設けるため，主として被加
工物の形状に応じて吸引部分と非吸引部分を簡単に確実
に得られる。このため，従来の捨て板のように被加工物
の形状がかわるたびに，これに対応するものを準備しな
くても，一枚の吸着テーブルで各種形状の被加工物に対
応でき，きわめて効果的でコストダウンが図れる。 （２）従来の捨て板を使用しないで代わりに球体と弁座
とスプリングを使用することで確実に被加工物と吸引孔
が載置していない部分の吸引孔に対し確実に吸引孔への
空気の流入を防ぐため大型のファンを使用しないで済む
ため電力消費量の軽減が可能となり経費の節減と騒音の
低減もあわせて可能とする。 （３）ガラスやプラスチックなどの木工用の用途以外の
被加工物に対してもキズにせず簡単に確実に固定するこ
とを可能とした。 （４）吸着テーブルの同一平面上に載置する被加工物を
底面側からみて中央部などが非連続面の形状や中央部が
凹形状しているなどに対しても吸着テーブル上にあれば
どこの場所に被加工物を載置しても確実に簡単に固定が
可能である。 （５）被加工物の厚さとか材質強度の違いがあり吸着固
定が困難な被加工物に対しても吸着固定を可能とした。
【図１】木工用ＮＣルーターを示した正面図である。
【図２】木工用ＮＣルーターの吸着テーブルを示した平
面図である。
面図である。
【図３】木工用ＮＣルーターの吸着テーブル示した同断
面図である。
面図である。
【図４】本発明の効果を示した説明図である。
【図５】本発明の効果を示した説明図である。
【図６】本発明の効果を示した説明図である。
【図７】本発明の効果を示した説明図である。
【図８】本発明の効果を示した説明図である。
【図９】図８の効果を平面図として示した説明図であ
る。
る。
【図１０】図８の効果を平面図として示した説明図であ
る。
る。
１ 木工用ルータ ２ ヘッド ３ モータ ４ 主軸スピンドル ５ 切削刃 ６ 吸着テーブル ７ 吸引孔 ８ 弾性体 ９ 真空室 １０ スプリング １１ スプリング受け １２ 球体 １３ 弁座 １４ 吸引口 １５ 非金属板 Ａ 被加工物 Ｂ 絞り Ｃ 筒 Ｄ 段部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年３月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】 本発明は、被加工物を吸引固定する吸着
テーブルに関するものである。
テーブルに関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】 一般に加工機械で被加工物の加工を行う
場合、被加工物をテーブル上に固定する方法として被加
工物を真空吸引により固定する方法がよく知られてい
る。従来被加工物吸着方法として、加工すべき被加工物
の大きさや形状に合わせて専用の吸着用治具を作製し、
テーブル上に吸着用治具をセットし、吸引ポンプに接続
することにより、この吸引ポンプの吸引力により、吸着
治具上に載置された被加工物を真空吸引により固定し
て、被加工物の加工を行っている。その他被加工物が吸
着テーブルに接している部分以外の吸引孔を人為的にマ
スキングし、テーブルと接続された吸引ポンプによる吸
引力により、吸着テーブル上に載置された被加工物を真
空吸引により固定して、被加工物の加工を行っているの
が実情である。
場合、被加工物をテーブル上に固定する方法として被加
工物を真空吸引により固定する方法がよく知られてい
る。従来被加工物吸着方法として、加工すべき被加工物
の大きさや形状に合わせて専用の吸着用治具を作製し、
テーブル上に吸着用治具をセットし、吸引ポンプに接続
することにより、この吸引ポンプの吸引力により、吸着
治具上に載置された被加工物を真空吸引により固定し
て、被加工物の加工を行っている。その他被加工物が吸
着テーブルに接している部分以外の吸引孔を人為的にマ
スキングし、テーブルと接続された吸引ポンプによる吸
引力により、吸着テーブル上に載置された被加工物を真
空吸引により固定して、被加工物の加工を行っているの
が実情である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】 従来の加工機械における被加工物の吸着
手段として、加工機械による被加工物の加工に対して、
ロット加工が終了するたびに、被加工物の大きさや形状
に合わせた専用の吸着治具を作製しなければならなかっ
た。そのため、大きさや形状の違った吸着治具が現場に
溜まり場所を専有することと新製品の加工のたびに吸着
治具を作製する必要が生じるため問題点となっていた。
吸引固定の確実性を高めるために、ある先行技術では、
厚さ方向に多数の吸引孔をあけた基板を吸着テーブルの
真空室上に固定し、吸引孔のうち吸引力を必要としない
部分の吸引孔には閉じ蓋を嵌合して閉じ、吸引力を必要
とする部分の吸引孔上に被加工物を載置して吸引固定す
ることを特徴とする吸着テーブルである。このような先
行技術の問題点は、被加工物を載置して吸引固定する場
合に吸引力を必要としない部分の吸引孔には人為的に閉
じ蓋を嵌合して閉じる必要がある。そのため加工機械の
被加工物のサイズが変更したり被加工物を載置して吸引
固定する場所が変更するたびに人為的に閉じ蓋を嵌合し
て閉じる必要がおこるため前後の生産ラインが自動化さ
れても旧来の吸着テーブルが自動化されてないため省力
化のネックとなっている。その他サーボモーターとコン
ピューターの連動による吸着機構などもあるが、しかし
あまりにも構造が複雑となりコストも高いために産業と
して使用するには解決すべき課題があった。
手段として、加工機械による被加工物の加工に対して、
ロット加工が終了するたびに、被加工物の大きさや形状
に合わせた専用の吸着治具を作製しなければならなかっ
た。そのため、大きさや形状の違った吸着治具が現場に
溜まり場所を専有することと新製品の加工のたびに吸着
治具を作製する必要が生じるため問題点となっていた。
吸引固定の確実性を高めるために、ある先行技術では、
厚さ方向に多数の吸引孔をあけた基板を吸着テーブルの
真空室上に固定し、吸引孔のうち吸引力を必要としない
部分の吸引孔には閉じ蓋を嵌合して閉じ、吸引力を必要
とする部分の吸引孔上に被加工物を載置して吸引固定す
ることを特徴とする吸着テーブルである。このような先
行技術の問題点は、被加工物を載置して吸引固定する場
合に吸引力を必要としない部分の吸引孔には人為的に閉
じ蓋を嵌合して閉じる必要がある。そのため加工機械の
被加工物のサイズが変更したり被加工物を載置して吸引
固定する場所が変更するたびに人為的に閉じ蓋を嵌合し
て閉じる必要がおこるため前後の生産ラインが自動化さ
れても旧来の吸着テーブルが自動化されてないため省力
化のネックとなっている。その他サーボモーターとコン
ピューターの連動による吸着機構などもあるが、しかし
あまりにも構造が複雑となりコストも高いために産業と
して使用するには解決すべき課題があった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】 前記問題点を解決するためのこの発明に
おける手段は、図４に示すように吸着テーブル６の厚さ
方向に複数の吸引孔７を設け、吸引孔７の下方に連設し
真空室９を設け、真空室９の下端に連設し絞りＢを設
け、絞りＢの下端に連設し筒Ｃを設け、筒Ｃ内にスプリ
ング１０を設け、筒Ｃ下部にスプリング受け１１を設
け、スプリング１０の上端に弁１２を設け、筒Ｃ下端に
吸引口１４を設け、吸引孔７への空気の流入の有無によ
りスプリング１０と弁１２が連結屈伸し、弁１２と絞り
Ｂの面と接離する弁座１３を設けることから構成されて
いる。次に図５に示すように上記吸着テーブル６の厚さ
方向に複数の吸引孔７の外周に対し、弾性体８を設ける
ことから構成されている。次に図６に示すように上記吸
着テーブル６上に載置し、これと同位置に吸引孔７をあ
けた非金属板１５を設けることから構成されている。次
に図７に示すように吸着テーブル６の厚さ方向に複数の
吸引孔７を設け、吸引孔７の下方に連設し、上下両端部
に段部Ｄを持つ筒を設け、段部Ｄのうち上部に弁座１３
を設け、筒Ｃ内に真空室９を設け、もう一方の下部の段
部Ｄにスプリング受け１１を設け、スプリング受け１１
の下方に吸引口１４を設け、スプリング受け１１と連結
し上方にスプリング１０と弁１２を設けることから構成
されている。
おける手段は、図４に示すように吸着テーブル６の厚さ
方向に複数の吸引孔７を設け、吸引孔７の下方に連設し
真空室９を設け、真空室９の下端に連設し絞りＢを設
け、絞りＢの下端に連設し筒Ｃを設け、筒Ｃ内にスプリ
ング１０を設け、筒Ｃ下部にスプリング受け１１を設
け、スプリング１０の上端に弁１２を設け、筒Ｃ下端に
吸引口１４を設け、吸引孔７への空気の流入の有無によ
りスプリング１０と弁１２が連結屈伸し、弁１２と絞り
Ｂの面と接離する弁座１３を設けることから構成されて
いる。次に図５に示すように上記吸着テーブル６の厚さ
方向に複数の吸引孔７の外周に対し、弾性体８を設ける
ことから構成されている。次に図６に示すように上記吸
着テーブル６上に載置し、これと同位置に吸引孔７をあ
けた非金属板１５を設けることから構成されている。次
に図７に示すように吸着テーブル６の厚さ方向に複数の
吸引孔７を設け、吸引孔７の下方に連設し、上下両端部
に段部Ｄを持つ筒を設け、段部Ｄのうち上部に弁座１３
を設け、筒Ｃ内に真空室９を設け、もう一方の下部の段
部Ｄにスプリング受け１１を設け、スプリング受け１１
の下方に吸引口１４を設け、スプリング受け１１と連結
し上方にスプリング１０と弁１２を設けることから構成
されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】 次に、上記構成よりなるこの実施例の吸
着テーブルの作用について説明する。図４の左側の図
は、吸引孔７が被加工物Ａにより塞がれていないために
吸引口１４からの吸引力により弁１２がスプリング１０
を押し下げて弁座１３に接して吸引孔７からの外部の空
気の流れを止める。図４の右側の図は、吸引孔７が被加
工物Ａにより塞がれるため吸引口１４からの吸引力の作
用に対して真空室９が真空状態となるため弁１２はスプ
リング１０を押し下げることができないため吸引孔７に
載置されている被加工物Ａを吸引固定できる。図７の左
側の図は、吸引孔７が被加工物Ａにより載置されていな
いためにスプリング１０の力が吸引口１４からの吸引力
に対して勝つため、スプリング１０が弁１２を押し上げ
ているため弁１２の一部が弁座１３に接するために吸引
孔７への外部の空気の流れを止める。図７の右側の図
は、被加工物Ａの自重により弁１２が押し下げられて弁
１２と弁座１３が離れるため、吸引口１４からの吸引力
が真空室９を真空にして載置されている被加工物Ａを吸
引固定できる。
着テーブルの作用について説明する。図４の左側の図
は、吸引孔７が被加工物Ａにより塞がれていないために
吸引口１４からの吸引力により弁１２がスプリング１０
を押し下げて弁座１３に接して吸引孔７からの外部の空
気の流れを止める。図４の右側の図は、吸引孔７が被加
工物Ａにより塞がれるため吸引口１４からの吸引力の作
用に対して真空室９が真空状態となるため弁１２はスプ
リング１０を押し下げることができないため吸引孔７に
載置されている被加工物Ａを吸引固定できる。図７の左
側の図は、吸引孔７が被加工物Ａにより載置されていな
いためにスプリング１０の力が吸引口１４からの吸引力
に対して勝つため、スプリング１０が弁１２を押し上げ
ているため弁１２の一部が弁座１３に接するために吸引
孔７への外部の空気の流れを止める。図７の右側の図
は、被加工物Ａの自重により弁１２が押し下げられて弁
１２と弁座１３が離れるため、吸引口１４からの吸引力
が真空室９を真空にして載置されている被加工物Ａを吸
引固定できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】 以下に本発明の実施例を図面に基づいて
説明する。図１は木工用ルータの概略的な正面図、図２
は、木工用ルータの吸着テーブルの平面図、図３は同側
面図である。図４〜図７は、吸着テーブルの拡大動作
図。図８は、被加工物底面が非連続面での吸着テーブル
の拡大動作図。図９は、被加工物底面側から見て中央部
分が凹の形状をした被加工物が吸着テーブルに載置され
た平面図。図１０は、被加工物底面側から見た非連続面
凹形状をした被加工物が吸着テーブルに載置された平面
図。図１において、１は木工用ルータ、２は木工用ルー
タ１のヘッドで、このヘッド２はモータ３で回転駆動さ
れる主軸スピンドル４を備え、この主軸スピンドル４の
下端に切削刃５が着脱可能に取付けられている。なお、
上記ヘッド２はＮＣ制御により昇降駆動されると共に、
平面Ｘ−Ｙ方向に駆動されるようになっている。この木
工用ルータ１は、被加工物載置用に吸着テーブル６を備
えている。この吸着テーブル６上には、図２に示すよう
に複数の吸引孔７が縦横に配列されている。図３は、図
２の吸着テーブル６の概略断面図である。図４の左側
は、吸着テーブル６の拡大動作図で吸引口１４から吸引
されると弁１２は、吸引力により弁座１３と接し空気の
流入が止められるため吸引孔７からの空気の流入は止め
られる。右側の弁１２は吸引孔７の上に被加工物Ａが載
置されることにより吸引孔７からの空気の流入は無いた
め真空室９が真空となり弁１２はスプリング受け１１と
スプリング１０の弾性により弁座１３に接することがな
く被加工物Ａに対して吸引力を働かせる。この場合に
は、吸着テーブル６の面と被加工物Ａとは密着状態であ
るため空気が外部から吸着テーブル６の面と被加工物Ａ
の面には隙間がないということから吸引固定される。図
５の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は図４と同じで
あるが被加工物の底面が平滑でない材質であるものや表
面をキズつけることが困るものなどに対し吸引固定が使
用される。図６の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は
図４と同じであるが切削刃物などが直接テーブルを破損
することを未然に防ぐために弾性体８を吸着テーブル６
の面の上に設けて被加工物Ａの底面が平滑でない材質の
ものに対する吸着性能を上げたり、切削加工による吸着
テーブル６の破損を防ぐために設けられた。図７の右側
は、吸着テーブル６の拡大動作図の動作は、吸引孔７の
上に被加工物Ａを載置すると被加工物Ａの自重により弁
１２を押し下げて吸引固定し、左側の図の場合は、被加
工物Ａが載置されない吸引孔７に対してはスプリング１
０が弁１２を押し上げているため弁座１３と弁１２の一
部が接して外部から吸引孔７への空気の流入が止められ
る。図８の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は吸引固
定する被加工物Ａの底面側からみて非連続凹形状の場合
である。図９の吸着テーブル６に載置された被加工物Ａ
の中央側が底面側から見て凹である形状で使用した場合
である。図１０の吸着テーブル６に載置された被加工物
Ａ底面側から見て非連続凹形状で使用した場合である。
なおこの発明は前記実施例の構成に限定されるものでな
く、真空室９、弁１２、、弁座１３の形状を任意に変更
しても同じ効果があるなど、この発明の趣旨を逸脱しな
い範囲内で各部の構成を任意に変更して具体化すること
も可能である。
説明する。図１は木工用ルータの概略的な正面図、図２
は、木工用ルータの吸着テーブルの平面図、図３は同側
面図である。図４〜図７は、吸着テーブルの拡大動作
図。図８は、被加工物底面が非連続面での吸着テーブル
の拡大動作図。図９は、被加工物底面側から見て中央部
分が凹の形状をした被加工物が吸着テーブルに載置され
た平面図。図１０は、被加工物底面側から見た非連続面
凹形状をした被加工物が吸着テーブルに載置された平面
図。図１において、１は木工用ルータ、２は木工用ルー
タ１のヘッドで、このヘッド２はモータ３で回転駆動さ
れる主軸スピンドル４を備え、この主軸スピンドル４の
下端に切削刃５が着脱可能に取付けられている。なお、
上記ヘッド２はＮＣ制御により昇降駆動されると共に、
平面Ｘ−Ｙ方向に駆動されるようになっている。この木
工用ルータ１は、被加工物載置用に吸着テーブル６を備
えている。この吸着テーブル６上には、図２に示すよう
に複数の吸引孔７が縦横に配列されている。図３は、図
２の吸着テーブル６の概略断面図である。図４の左側
は、吸着テーブル６の拡大動作図で吸引口１４から吸引
されると弁１２は、吸引力により弁座１３と接し空気の
流入が止められるため吸引孔７からの空気の流入は止め
られる。右側の弁１２は吸引孔７の上に被加工物Ａが載
置されることにより吸引孔７からの空気の流入は無いた
め真空室９が真空となり弁１２はスプリング受け１１と
スプリング１０の弾性により弁座１３に接することがな
く被加工物Ａに対して吸引力を働かせる。この場合に
は、吸着テーブル６の面と被加工物Ａとは密着状態であ
るため空気が外部から吸着テーブル６の面と被加工物Ａ
の面には隙間がないということから吸引固定される。図
５の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は図４と同じで
あるが被加工物の底面が平滑でない材質であるものや表
面をキズつけることが困るものなどに対し吸引固定が使
用される。図６の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は
図４と同じであるが切削刃物などが直接テーブルを破損
することを未然に防ぐために弾性体８を吸着テーブル６
の面の上に設けて被加工物Ａの底面が平滑でない材質の
ものに対する吸着性能を上げたり、切削加工による吸着
テーブル６の破損を防ぐために設けられた。図７の右側
は、吸着テーブル６の拡大動作図の動作は、吸引孔７の
上に被加工物Ａを載置すると被加工物Ａの自重により弁
１２を押し下げて吸引固定し、左側の図の場合は、被加
工物Ａが載置されない吸引孔７に対してはスプリング１
０が弁１２を押し上げているため弁座１３と弁１２の一
部が接して外部から吸引孔７への空気の流入が止められ
る。図８の吸着テーブル６の拡大動作図の動作は吸引固
定する被加工物Ａの底面側からみて非連続凹形状の場合
である。図９の吸着テーブル６に載置された被加工物Ａ
の中央側が底面側から見て凹である形状で使用した場合
である。図１０の吸着テーブル６に載置された被加工物
Ａ底面側から見て非連続凹形状で使用した場合である。
なおこの発明は前記実施例の構成に限定されるものでな
く、真空室９、弁１２、、弁座１３の形状を任意に変更
しても同じ効果があるなど、この発明の趣旨を逸脱しな
い範囲内で各部の構成を任意に変更して具体化すること
も可能である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】 以上のように，この発明によれば，吸着
テーブルに吸引孔下方に連設して絞り、真空室、スプリ
ング受けを設け、スプリング受け上部にスプリングを設
け、スプリングと連動し弁を設け、絞りと弁との接離に
よる弁座から構成ともうひとつは、吸着テーブルの吸引
孔下方に連設して上下両端部の筒内に真空室と段部を持
ち、段部のうち上部に弁座を設け、下部の段部にスプリ
ング受けを設け、スプリング受け下方に吸引口を設け、
スプリング受けと連結し上方にスプリングと弁を設けた
ことから構成したため、つぎの効果が生ずる。 （１）吸着テーブルに被加工物を載置すると同時に吸引
部分と非吸引部分を自動的に設けるため、主として被加
工物の形状に応じて吸引部分と非吸引部分を簡単に確実
に得られる。このため、従来の捨て板のように被加工物
の形状がかわるたびに、これに対応するものを準備しな
くても、一枚の吸着テーブルで各種形状の被加工物に対
応でき、きわめて効果的にコストダウンが図れる。 （２）従来の捨て板を使用しないで代わりに弁と弁座と
スプリングを使用することで確実に被加工物と吸引孔が
載置していない部分の吸引孔に対し確実に吸引孔への空
気の流入を防ぎ、大型のファンを使用しないで済むため
に電力消費量の軽減が可能となり経費の節減と騒音の低
減もあわせて可能とする。 （３）ガラスやプラスチックなどの木工用の用途以外の
被加工物に対してもキズにせず簡単に確実に固定するこ
とを可能とした。 （４）吸着テーブルの同一平面上に載置する被加工物を
底面側からみて中央部などが非連続面の形状や中央部が
凹形状しているなどに対しても吸着テーブル上にあれば
どこの場所に被加工物を載置しても確実に簡単に固定が
可能である。 （５）被加工物の厚さとか材質強度の違いがあり吸着固
定が困難な被加工物に対しても吸着固定を可能とした。 （６）磁力の吸着力を使用した加工機械で薄金属板を加
工すると十分な吸着力がないため加工途中で外れたりし
危険であった。この問題に対し確実に固定できる。 （７）磁石の吸着力を使用した加工機械があるが，これ
が大形になると高価となる。 そのためコストダウンが図
れなかったがこの課題を解決した。 （８）被加工物を磁力により固定の場合，被加工物が磁
性体のヒステリシスによる残留磁気のため加工クズなど
が被加工物などに付着し後処理に手数がかかっていたが
解決した。 （９）磁性体の被加工物に対し磁力の影響を受けず，被
加工物に傷を付けないで確実に吸引固定でき，連続的加
工が可能となった。 （１０）被磁性体で加工精度を高く要求される分野の半
導体の加工過程のウェハーの工程では、従来ロウ状で熱
により液体状態の上にウェハーを載置して加工時に外部
に出し加工する。この場合ロウが冷却されて基板とウェ
ハーを密着固定する機能をもっている。この機能のため
ウェハーの加工が終了するともう一度熱をロウにあたえ
て液体状態にして基板がウェハーを剥がすという被加工
物の固定をくりかえすため時間と労力を多く必要として
きた。しかし本発明の吸着テーブルにより上記の工程を
不要にすることができるため大幅なコストダウンが可能
となる。
テーブルに吸引孔下方に連設して絞り、真空室、スプリ
ング受けを設け、スプリング受け上部にスプリングを設
け、スプリングと連動し弁を設け、絞りと弁との接離に
よる弁座から構成ともうひとつは、吸着テーブルの吸引
孔下方に連設して上下両端部の筒内に真空室と段部を持
ち、段部のうち上部に弁座を設け、下部の段部にスプリ
ング受けを設け、スプリング受け下方に吸引口を設け、
スプリング受けと連結し上方にスプリングと弁を設けた
ことから構成したため、つぎの効果が生ずる。 （１）吸着テーブルに被加工物を載置すると同時に吸引
部分と非吸引部分を自動的に設けるため、主として被加
工物の形状に応じて吸引部分と非吸引部分を簡単に確実
に得られる。このため、従来の捨て板のように被加工物
の形状がかわるたびに、これに対応するものを準備しな
くても、一枚の吸着テーブルで各種形状の被加工物に対
応でき、きわめて効果的にコストダウンが図れる。 （２）従来の捨て板を使用しないで代わりに弁と弁座と
スプリングを使用することで確実に被加工物と吸引孔が
載置していない部分の吸引孔に対し確実に吸引孔への空
気の流入を防ぎ、大型のファンを使用しないで済むため
に電力消費量の軽減が可能となり経費の節減と騒音の低
減もあわせて可能とする。 （３）ガラスやプラスチックなどの木工用の用途以外の
被加工物に対してもキズにせず簡単に確実に固定するこ
とを可能とした。 （４）吸着テーブルの同一平面上に載置する被加工物を
底面側からみて中央部などが非連続面の形状や中央部が
凹形状しているなどに対しても吸着テーブル上にあれば
どこの場所に被加工物を載置しても確実に簡単に固定が
可能である。 （５）被加工物の厚さとか材質強度の違いがあり吸着固
定が困難な被加工物に対しても吸着固定を可能とした。 （６）磁力の吸着力を使用した加工機械で薄金属板を加
工すると十分な吸着力がないため加工途中で外れたりし
危険であった。この問題に対し確実に固定できる。 （７）磁石の吸着力を使用した加工機械があるが，これ
が大形になると高価となる。 そのためコストダウンが図
れなかったがこの課題を解決した。 （８）被加工物を磁力により固定の場合，被加工物が磁
性体のヒステリシスによる残留磁気のため加工クズなど
が被加工物などに付着し後処理に手数がかかっていたが
解決した。 （９）磁性体の被加工物に対し磁力の影響を受けず，被
加工物に傷を付けないで確実に吸引固定でき，連続的加
工が可能となった。 （１０）被磁性体で加工精度を高く要求される分野の半
導体の加工過程のウェハーの工程では、従来ロウ状で熱
により液体状態の上にウェハーを載置して加工時に外部
に出し加工する。この場合ロウが冷却されて基板とウェ
ハーを密着固定する機能をもっている。この機能のため
ウェハーの加工が終了するともう一度熱をロウにあたえ
て液体状態にして基板がウェハーを剥がすという被加工
物の固定をくりかえすため時間と労力を多く必要として
きた。しかし本発明の吸着テーブルにより上記の工程を
不要にすることができるため大幅なコストダウンが可能
となる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】 １ 木工用ルータ ２ ヘッド ３ モータ ４ 主軸スピンドル ５ 切削刃 ６ 吸着テーブル ７ 吸引孔 ８ 弾性体 ９ 真空室 １０ スプリング １１ スプリング受け １２ 弁 １３ 弁座 １４ 吸引口 １５ 非金属板 Ａ 被加工物 Ｂ 絞り Ｃ 筒 Ｄ 段部
Claims (4)
- 【請求項１】 吸着テーブルの厚さ方向に複数の吸引孔
を形成し，吸引孔下方に連設し真空室を形成し，真空室
下端に連設し絞りを形成し，絞り下端に連設し筒を形成
し，筒内にスプリングを設け，筒下部にスプリング受け
を設け，スプリング上端に球体を設け，筒下端に吸引口
を形成し，吸引孔への空気の流入の有無によりスプリン
グと球体が連結屈伸し，球体と絞り面と接離する弁座を
形成することから構成された吸着テーブル。 - 【請求項２】 請求項１の吸着テーブルの吸引孔外周に
対し，弾性体を設けたことから構成された請求項１の吸
着テーブル。 - 【請求項３】 請求項１の吸着テーブル上に載置し，こ
れと同位置に吸引孔をあけた非金属板を設けたことから
構成された請求項１の吸着テーブル。 - 【請求項４】 吸着テーブルの厚さ方向に複数の吸引孔
を設け，吸引孔下方に連設し，上下両端部に段部を持つ
筒状を設け，段部のうち上部に弁座を設け，筒内に真空
室を設け，もう一方の下部の段部にスプリング受けを設
け，スプリング受け下方に吸引口を設け，スプリング受
けと連結し上方にスプリングと球体を設けたことから構
成された吸着テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22815491A JPH0538647A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 吸着テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22815491A JPH0538647A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 吸着テーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0538647A true JPH0538647A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16872075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22815491A Pending JPH0538647A (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 吸着テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0538647A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09160020A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-20 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法 |
| JP2000126959A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 被加工材のチャックテーブル |
| KR100453629B1 (ko) * | 2002-05-28 | 2004-10-22 | 한국항공우주산업 주식회사 | 플레이트 세팅 장치 |
| JP2011212761A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Hitachi Via Mechanics Ltd | ワークの固定装置 |
| JP2018079545A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社 動研 | 吸着機能を備えた載置テーブル |
| US11479030B2 (en) | 2018-10-04 | 2022-10-25 | Corning Incorporated | Apparatus for supporting debonding and debonding method using the same |
-
1991
- 1991-05-29 JP JP22815491A patent/JPH0538647A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09160020A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-20 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法 |
| JP2000126959A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 被加工材のチャックテーブル |
| KR100453629B1 (ko) * | 2002-05-28 | 2004-10-22 | 한국항공우주산업 주식회사 | 플레이트 세팅 장치 |
| JP2011212761A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Hitachi Via Mechanics Ltd | ワークの固定装置 |
| JP2018079545A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社 動研 | 吸着機能を備えた載置テーブル |
| US11479030B2 (en) | 2018-10-04 | 2022-10-25 | Corning Incorporated | Apparatus for supporting debonding and debonding method using the same |
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