JPH0213956B2 - - Google Patents
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- JPH0213956B2 JPH0213956B2 JP20891681A JP20891681A JPH0213956B2 JP H0213956 B2 JPH0213956 B2 JP H0213956B2 JP 20891681 A JP20891681 A JP 20891681A JP 20891681 A JP20891681 A JP 20891681A JP H0213956 B2 JPH0213956 B2 JP H0213956B2
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Description
(1) 発明の技術分野
本発明はセラミツク基板の製造方法に関し、特
に未焼成セラミツク基板いわゆるグリーンシート
を形成する手段の改良に関する。
(2) 発明の背景
アルミナ（Al2O3）を主体とするセラミツク材
は、電子機器の分野において、例えば電子部品搭
載用絶縁基板材料、混成集積回路用絶縁基板材料
あるいは半導体素子収容用容器材料等に適用され
ている。
かかる電子機器の分野においては、半導体集積
回路素子の高集積化とともに、前記絶縁基板ある
いは容器の表面に形成される導体層パターンの微
細化、高集積化が図られつつある。
このため、かかる絶縁基板あるいは容器を構成
するセラミツク基板にも、特にその表面の平滑性
を高めることが要求されている。
(3) 従来技術と問題点
前記セラミツク基板は、従来、いわゆるドクタ
ーブレード法によつて未焼成セラミツク基板（グ
リーンシート）を形成し、必要に応じてかかるグ
リーンシート表面に導体層パターンを形成し、更
に必要に応じてかかるグリーンシートを複数枚積
層し、しかる後かかるグリーンシートを加熱加圧
して焼成することによつて形成されている。
ここで前記ドクターブレード法は、従来、例え
ば第１図に示される構成がとられている。
同図において、１１はセラミツクスラリー１２
を収容するスラリー溜め、１３は該スラリー溜め
の一辺に設けられたドクターブレード、１４はス
ラリー供給管、１５はスラリー液面計である。前
記スラリー溜め１１に収容されたセラミツクスラ
リー１２は、該スラリー溜め１１の下に配置され
キヤリアベルト１６によつて移動されるキヤリア
フイルム１７の表面に、該キヤリアフイルム１７
の移動に従つてドクターブレード１３部分から流
出し、該キヤリアフイルム１７表面にスラリー膜
又は層１８が形成される。
このようなドクターブレード法にあつては、前
記スラリー溜め１１内のセラミツクスラリー１２
の表面には常にセラミツクスラリーに含まれる揮
発性の溶剤分が揮発して少なくなることにより乾
燥されて形成された薄皮が生じている。一方かか
るセラミツクスラリー１２内にはキヤリアフイル
ム１７の移動に従つて、図面上破線矢印で示され
る方向の回転流動力が生じる。このためかかるセ
ラミツクスラリー１２の流動によつて前記薄皮が
当該セラミツクスラリー１２内へ引き込まれ、ス
ラリー膜又は層１８あるいは該スラリー膜又は層
１８が乾燥されて形成されるグリーンシートに欠
陥、特に表面欠陥を生じてしまう。
かかるグリーンシートにおける表面欠陥は、セ
ラミツク基板の表面平滑性を低下させる一因とな
り、当該セラミツク基板表面への導体層パターン
の高密度、高信頼度の形成を困難とする。
かかるセラミツクスラリーの表面に生ずる薄皮
の、当該セラミツクスラリー内への混入を防止す
るために、キヤリアフイルムの移動速度を低下さ
せてセラミツクスラリー内に生ずる回転流動力を
低減することが試みられたが、かかる方法では高
い作業性が得られず、且つ形成されるグリーンシ
ートの厚さの均一性が低く実用的でなかつた。
(4) 発明の目的
このため、本発明は、スラリー溜めに収容され
たセラミツクスラリーをキヤリアフイルム上に流
出させて、セラミツクスラリー膜又は層を形成す
る際に、前記スラリー溜め内におけるセラミツク
スラリーの内部に生ずる回転流動力を抑制して、
該セラミツクスラリーの表面に生ずる薄皮の当該
セラミツクスラリー内への混入を防止することが
できる方法を提供しようとするものである。
(5) 発明の構成
このため、本発明によれば、スラリー溜めに収
容されたセラミツクスラリーをドクターブレード
法によりキヤリアフイルム上に膜又は層状に形成
し、次いで前記セラミツクスラリー膜又は層を乾
燥させて未焼成セラミツク基板を形成する工程を
有するセラミツク基板の製造方法において、前記
スラリー溜めに設けたドクターブレードに対向す
る壁面を該ドクターブレードの開口部の近傍に延
在させて、前記セラミツクスラリーと前記キヤリ
アフイルムとの接触触面積を小さくしたことを特
徴とするセラミツク基板の製造方法が提供され
る。
(6) 発明の実施例
以下本発明を実施例をもつて詳細に説明する。
第２図は、本発明の実施にかかるドクターブレ
ード法によるグリーンシートの形成手段を示す。
同図において、２１はセラミツクスラリー２２
を収容するスラリー溜め、２３は該スラリー溜め
の一辺に設けられたドクターブレード、２４はス
ラリー供給管、２５はスラリー液面計である。
本発明によれば前記スラリー溜め２１の内部
に、ドクターブレード２３に対向する壁２１Ａか
ら、ドクターブレード２３の開口部３２Ａの近傍
に延在して仕切り板２６が配設される。
かかる仕切り板２６の配設によつて、セラミツ
クスラリー２２とキヤリアフイルム２７との接触
面積が低下し、キヤリアベルト２８によつて該キ
ヤリアフイルム２７が移動される際にセラミツク
スラリー２２内部に生ずる回転移動力の強度が低
下される。この結果セラミツクスラリー２２の表
面に生ずる膜皮が該セラミツクスラリー２２内へ
引き込まれることがなくなり、キヤリアフイルム
２７上に流出形成されるスラリー膜又は層２９あ
るいは該スラリー膜又は層２９が乾燥されて形成
されるグリーンシートに表面欠陥を生ずることが
ない。
例えば前記第２図に示される構成において、ス
ラリー溜め２１の長さＡを100〔mm〕、該スラリー
溜め２１内におけるセラミツクスラリー２２内に
おけるセラミツクスラリー収容高さＢを約100
〔mm〕とし、ドクターブレード２３の先端と仕切
り板２６の先端との間隔Ｃを10〔mm〕として、ア
ルミナ（Al2O3）を主成分とし、ポリビニルブチ
ラール、アルコール、ケトン類を含有する粘度
1000〜20000〔pcs〕比重1.6〜1.9のセラミツクス
ラリーを用い、キヤリアフイルムの移動速度を
0.15ｍ／分〜２ｍ／分と変化させて、該キヤリア
フイルム上にスラリー膜又は層を形成した時、か
かるスラリー膜又は層を乾燥して形成したグリー
ンシートにはセラミツクスラリー表面の薄皮の引
き込みによる表面欠陥が生ぜず、またかかるグリ
ーンシートの膜厚の均一性も高いものであつた。
すなわち、例えば厚さが0.20〔mm〕と0.60〔mm〕
に形成した200〔mm〕角のグリーンシートの表面平
滑度を測定した結果は下表のとおりであつた。な
お、ばらつきは10〔mm〕間隔で測定した最大値と
最小値の差で表わし、製造歩留りとの関係を示し
たものである。
(1) Technical Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic substrate, and particularly to an improvement in means for forming a so-called green sheet of an unfired ceramic substrate. (2) Background of the Invention Ceramic materials mainly composed of alumina (Al 2 O 3 ) are used in the field of electronic equipment, for example, as insulating substrate materials for mounting electronic components, insulating substrate materials for hybrid integrated circuits, and container materials for housing semiconductor elements. It is applied to etc. In the field of electronic devices, semiconductor integrated circuit elements are becoming more highly integrated, and conductor layer patterns formed on the surface of the insulating substrate or container are being made finer and more highly integrated. For this reason, the ceramic substrate constituting the insulating substrate or container is also required to have particularly high surface smoothness. (3) Prior art and problems Conventionally, the ceramic substrate is produced by forming an unfired ceramic substrate (green sheet) by the so-called doctor blade method, forming a conductor layer pattern on the surface of the green sheet as necessary, Further, if necessary, a plurality of such green sheets are laminated, and then the green sheets are heated and pressed to be fired. Here, the doctor blade method has conventionally been configured as shown in FIG. 1, for example. In the same figure, 11 is a ceramic slurry 12
13 is a doctor blade provided on one side of the slurry reservoir, 14 is a slurry supply pipe, and 15 is a slurry level gauge. The ceramic slurry 12 contained in the slurry reservoir 11 is applied onto the surface of a carrier film 17 which is disposed below the slurry reservoir 11 and is moved by a carrier belt 16.
As it moves, it flows out from the doctor blade 13 portion, and a slurry film or layer 18 is formed on the surface of the carrier film 17. In such a doctor blade method, the ceramic slurry 12 in the slurry reservoir 11 is
A thin skin is always formed on the surface of the ceramic slurry, which is dried and formed as the volatile solvent contained in the ceramic slurry evaporates and decreases. On the other hand, as the carrier film 17 moves within the ceramic slurry 12, a rotational flow force is generated in the direction indicated by the broken line arrow in the drawing. Therefore, the thin skin is drawn into the ceramic slurry 12 by the flow of the ceramic slurry 12, and the slurry film or layer 18 or the green sheet formed by drying the slurry film or layer 18 is free from defects, especially surface defects. will occur. Such surface defects in the green sheet contribute to reducing the surface smoothness of the ceramic substrate, making it difficult to form a conductive layer pattern on the surface of the ceramic substrate with high density and high reliability. In order to prevent the thin skin formed on the surface of the ceramic slurry from being mixed into the ceramic slurry, attempts have been made to reduce the rotational flow force generated within the ceramic slurry by lowering the moving speed of the carrier film. Such a method does not provide high workability, and the thickness of the formed green sheet has low uniformity, making it impractical. (4) Purpose of the Invention For this reason, the present invention provides that when a ceramic slurry contained in a slurry reservoir is flowed out onto a carrier film to form a ceramic slurry film or layer, the inside of the ceramic slurry in the slurry reservoir is By suppressing the rotational flow force generated in
The object of the present invention is to provide a method that can prevent a thin skin formed on the surface of the ceramic slurry from being mixed into the ceramic slurry. (5) Structure of the Invention Therefore, according to the present invention, a ceramic slurry contained in a slurry reservoir is formed into a film or a layer on a carrier film by a doctor blade method, and then the ceramic slurry film or layer is dried. In the method for manufacturing a ceramic substrate, which includes a step of forming an unfired ceramic substrate, a wall surface facing a doctor blade provided in the slurry reservoir is extended near the opening of the doctor blade, and the ceramic slurry and the carrier are A method of manufacturing a ceramic substrate is provided, characterized in that the contact area with the film is reduced. (6) Examples of the invention The present invention will be explained in detail below using examples. FIG. 2 shows a green sheet forming means by a doctor blade method according to the present invention. In the same figure, 21 is a ceramic slurry 22
23 is a doctor blade provided on one side of the slurry reservoir, 24 is a slurry supply pipe, and 25 is a slurry level gauge. According to the present invention, a partition plate 26 is disposed inside the slurry reservoir 21, extending from the wall 21A facing the doctor blade 23 to the vicinity of the opening 32A of the doctor blade 23. By arranging the partition plate 26, the contact area between the ceramic slurry 22 and the carrier film 27 is reduced, and rotational movement that occurs inside the ceramic slurry 22 when the carrier film 27 is moved by the carrier belt 28 is reduced. The strength of the force is reduced. As a result, the film formed on the surface of the ceramic slurry 22 is not drawn into the ceramic slurry 22, and the slurry film or layer 29 that flows out onto the carrier film 27 or the slurry film or layer 29 is dried and formed. There will be no surface defects on the green sheets. For example, in the configuration shown in FIG. 2, the length A of the slurry reservoir 21 is 100 [mm], and the height B of the ceramic slurry accommodation within the ceramic slurry 22 in the slurry reservoir 21 is approximately 100 mm.
[mm], and the distance C between the tip of the doctor blade 23 and the tip of the partition plate 26 is 10 [mm], and the viscosity is mainly composed of alumina (Al 2 O 3 ) and contains polyvinyl butyral, alcohol, and ketones.
1000 to 20000 [pcs] Using ceramic slurry with a specific gravity of 1.6 to 1.9, the moving speed of the carrier film was
When a slurry film or layer is formed on the carrier film by changing the speed from 0.15 m/min to 2 m/min, the green sheet formed by drying the slurry film or layer has a thin film on the surface of the ceramic slurry. No surface defects occurred, and the thickness of the green sheet was highly uniform. That is, for example, the thickness is 0.20 [mm] and 0.60 [mm]
The results of measuring the surface smoothness of a 200 mm square green sheet were as shown in the table below. Incidentally, the variation is expressed as the difference between the maximum value and the minimum value measured at 10 [mm] intervals, and the relationship with the manufacturing yield is shown.
【表】
なお、前記実施例において、ドクターブレード
２３の先端と仕切り板２６の先端との間隔Ｃは、
５〜15〔mm〕とされるのが好ましい。５〔mm〕より
狭いとセラミツクスラリーの供給が不十分とな
り、キヤリアフイルムの移動速度の低下すなわち
作業性の低下を招いてしまう。また15〔mm〕より
広くするとスラリー溜め内のセラミツクスラリー
に大きな回転流動力が与えられ本発明の効果が発
揮されない。
(7) 発明の効果
以上のように、本発明によれば、ドクターブレ
ード法によつてセラミツクグリーンシートを形成
する際に、スラリー溜め内のセラミツクスラリー
に内部回転流動が生ずるのを抑制することができ
る。従つてセラミツクスラリー内への薄皮の混入
が防止されて、かかる薄皮の混入に起因するグリ
ーンシートの表面欠陥の発生が防止される。この
ため、高い表面平滑度を有するセラミツク基板を
高い製造歩留りをもつて形成することができる。[Table] In the above embodiment, the distance C between the tip of the doctor blade 23 and the tip of the partition plate 26 is
It is preferably 5 to 15 [mm]. If it is narrower than 5 mm, the supply of ceramic slurry will be insufficient, leading to a decrease in the moving speed of the carrier film, ie, a decrease in workability. Furthermore, if the width is wider than 15 mm, a large rotational flow force will be applied to the ceramic slurry in the slurry reservoir, and the effects of the present invention will not be exhibited. (7) Effects of the Invention As described above, according to the present invention, it is possible to suppress internal rotational flow in the ceramic slurry in the slurry reservoir when forming ceramic green sheets by the doctor blade method. can. Therefore, the incorporation of thin skins into the ceramic slurry is prevented, and the occurrence of surface defects on the green sheet due to the incorporation of such thin skins is prevented. Therefore, a ceramic substrate having high surface smoothness can be formed with high manufacturing yield.
第１図はグリーンシートの形成にかかる従来の
ドクターブレード法の構成を示す断面図、第２図
は本発明にかかるドクターブレード法の構成を示
す断面図である。
図において、１１，２１……スラリー溜め、１
２，２２……セラミツクスラリー、１３，２３…
…ドクターブレード、２６……仕切り板、１６，
２８……キヤリアベルト、１７，２７……キヤリ
アフイルム、１８，２９……スラリー膜又は層。
FIG. 1 is a sectional view showing the configuration of a conventional doctor blade method for forming a green sheet, and FIG. 2 is a sectional view showing the configuration of the doctor blade method according to the present invention. In the figure, 11, 21...slurry reservoir, 1
2, 22... Ceramics slurry, 13, 23...
...Doctor blade, 26...Partition plate, 16,
28...Carrier belt, 17,27...Carrier film, 18,29...Slurry film or layer.
Claims (1)
ーをドクターブレード法によりキヤリアフイルム
上に膜又は層状に形成し、次いで前記膜又は層を
乾燥させて未焼成セラミツク基板を形成する工程
を有するセラミツク基板の製造方法において、前
記スラリー溜めに設けたドクターブレードに対向
する壁面を該ドクターブレードの開口部の近傍に
延在させて、前記セラミツクスラリーと前記キヤ
リアフイルムとの接触面積を小さくしたことを特
徴とするセラミツク基板の製造方法。1. A method for manufacturing a ceramic substrate comprising the steps of forming a film or layer on a carrier film by using a doctor blade method to form a ceramic slurry contained in a slurry reservoir, and then drying the film or layer to form an unfired ceramic substrate. A ceramic substrate, characterized in that a wall surface facing the doctor blade provided in the slurry reservoir extends near the opening of the doctor blade to reduce the contact area between the ceramic slurry and the carrier film. Production method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20891681A JPS58110095A (en) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | Method of producing ceramic board |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20891681A JPS58110095A (en) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | Method of producing ceramic board |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58110095A JPS58110095A (en) | 1983-06-30 |
| JPH0213956B2 true JPH0213956B2 (en) | 1990-04-05 |
Family
ID=16564235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20891681A Granted JPS58110095A (en) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | Method of producing ceramic board |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58110095A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH074891Y2 (en) * | 1988-05-07 | 1995-02-08 | 富士通株式会社 | Green sheet forming machine |
-
1981
- 1981-12-23 JP JP20891681A patent/JPS58110095A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58110095A (en) | 1983-06-30 |
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