JPH02141680A - 半導体素子用触子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体素子用触子に関し、特に半導体素子の特
性を自動的に測定するときに、半導体素子のリード線と
特性を測定するテスタ一部を接続する半導体素子用触子
に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の半導体素子用触子は、第３因に示すよう
に、自動的に半導体素子のリード線（図示せず）と導電
リード線１の先端とが完全に接触するために、ばねの力
で強くリード線に押しあてるようにできている。そのた
め、自動測定機に使用されている半導体素子用触子は導
電性とばね性を持続させるために、半導体素子用触子の
導電リード線１はステンレス鋼材等を用い幅を広くし長
さを長くして、かつ耐久性を持たせるために厚さを厚く
していた。

数年来、半導体素子は樹脂封止技術の出現により材料コ
ストが下り、製造部門においては、量産化及び合理化が
急激に進んだ。超高周波用の半導体素子についても、樹
脂封止技術が適用されるようになり、特性を測定する設
備も自動化が進んでいる。

しかしながら、樹脂封止された超高周波用の半導体素子
は誘電率が高い樹脂を使用していること、及び大半は半
導体素子のリード線が平行して並んでおり、かつ長いた
め導電リード線１とのリード間容量が大きくなる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の半導体素子用触子は、導電リード線がば
ね性と導電性を有する金属を用いて幅広くし長くかつ厚
くなっているので、超高周波用の半導体素子のリード線
との線間容量が大きくなり、特性測定の際発振し易く正
しい測定ができないという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の半導体素子用触子は、先端が半導体素子のリー
ド線に圧接する接触部を有する複数の導電リード線と、
それぞれの前記導電リード線の外周に挿入された複数の
フェライトコアとを含んで構成される。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の斜視図である。

第１図に示すように、先端が半導体素子のリード線（図
示せず）に圧接する接触部３を有する導電性の良好なば
ね性を持つ金属板から成る複数の導電リード線１と、導
電リード線１の外周に挿入された複数のフェライトコア
２と、複数の導電リード線１を所定間隔で固定する固定
板４とを含む。

このように構成することにより、導電リード線１の接触
部３を半導体素子のリード線に圧接させたとき、フェラ
イトコア２の中心の導電リード線１を流れる電流によっ
て発生する磁界を吸収するため、導電リード線１とリー
ド線との線間を遮蔽することができる。

第２図は本発明の第２の実施例の斜視図である。

第２図に示すように、第２の実施例では先端の接触部３
．と固定板４に固定された部分を導電性の良好な金属と
し、それらの中間をばね板６で連結し、ばね板６を導電
性の良好な金属線７で短絡した導電リード線１１と、金
属線７の外周に挿入された複数のフェライトコア２．と
を含んで構成される。

ここで、ばね板６はばね性のみがあればよく、導電性を
有する必要はない。

第２の実施例では、金属線７を細くできるので、上述し
た第１図の第１の実施例に比べてより確実な遮蔽ができ
る利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、フェライトコアを挿入す
ることにより導電リード線と半導体素子のリード線との
線間を電磁的に遮蔽できるので、樹脂封止された超高周
波用半導体素子の測定の際に、発振を防止して誤判定を
なくすことができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はそれぞれ本発明の第１及び第２の実
施例の斜視図、第３図は従来の半導体素子用触子の一例
の斜視図である。 １．１．・・・導電リード線、２，２．・・・フェライ
トコア、３，３１・・・接触部、４・・・固定板、６・
・・ばね板、７・・・金属線、　　　代！ｌｌい、Ｐヮ
よ内原管第１　凹 華２　図 牟３　回

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 先端が半導体素子のリード線に圧接する接触部を有する
   複数の導電リード線と、それぞれの前記導電リード線の
   外周に挿入された複数のフェライトコアとを含むことを
   特徴とする半導体素子用触子。