JPH02146444U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１
図は側断面図、第２図はこの考案装置と他の搬送
装置と組み合わせた場合での平面図、第３図は正
面図、第４図は昇降機構の要部平面図、第５図は
プラズマ処理機全体の概略側断面図である。 Ｗ……ウエハー、１……リアクター、２……ウ
エハー支持具、３……ウエハーカセツト、４……
カセツト台、５……フレーム、６……チヤンバ下
部バルクヘツド、７……可動バルクヘツド、１０
Ａ……前段供給部、１０Ｂ……後段供給部、１１
……キヤリアカセツトテーブル、１２……セツト
テーブル、１５……昇降機構、１６……供給機構
ベース、１７……昇降モータ、１８……ガイドシ
ヤフト、１９……エレベーター台座、２１……リ
ニアガイド、２２……送りネジシヤフト、２３…
…送りハウジング、２４……伝達手段、２５……
位置検出手段、２６……支柱、２７……遮蔽板、
２８……位置検出センサー、３０……搬送機構、
３１……搬送モータ、３２……搬送コンベア、３
３……プーリハウジング、３４……搬送プーリ、
３５……搬送ベルト、３６……伝達手段、３７…
…駆動プーリ、３８……従動プーリ、３９……中
継ドライブ、５０……搬送装置、５１……固定搬
送コンベア、５２……進退搬送コンベア。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 載置セツトされたウエハーカセツトを間欠的に
   昇降させる昇降機構と、ウエハーカセツト内の最
   下位位置にあるウエハー下面に接触する搬送面を
   有する搬送機構とを備えた前後段の供給部を、プ
   ラズマ処理を行なうリアクターに対する搬送方向
   の前後に配し、リアクター側へのウエハーの送り
   出し時は、前段供給部のウエハーカセツトを上昇
   位置で待機させておいて、その下方を経由して後
   段供給部のウエハーカセツトを間欠下降させなが
   ら搬送機構によつてウエハーを送り出した後、同
   様に前段供給部から送り出すようにし、また、リ
   アクター側からのウエハーの取出し、収納時は、
   前段供給部のウエハーカセツトを間欠上昇させな
   がら搬送機構によつてウエハーカセツト内にウエ
   ハーを収納した後、これを上昇位置で待機させ、
   その下方を経由して同様に後段供給部のウエハー
   カセツト内に搬送機構によつて収納させるように
   したことを特徴とする縦型プラズマ処理機のウエ
   ハー搬送装置。