JPH0415714Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体装置を製造する際における半
導体ウエハ（以下、ウエハという）のプラズマ処
理等の工程において、処理室内へのウエハの搬入
供給と処理室内からの処理済ウエハの搬出収納と
を同一ライン上で自動的に行う新規な半導体ウエ
ハの自動供給収納装置に関するものである。

（従来の技術） 周知のように、半導体製造工程において、プラ
ズマ処理室等を行う場合には、一方からウエハを
処理室内に供給し、処理済ウエハの搬出収納は供
給側との対向側において行つているのが一般的で
ある。

ところで、このような搬送系による場合には、
装置全体が長尺化するためにその占有床面積が増
大して、クリーンルーム面積の有効利用ができな
いばかりか、ウエハのキヤリア交換に多くの動作
を要するという問題があつた。

（考案が解決しようとする問題点） 本考案は、このような問題点に鑑みなされたも
ので、その目的とするところは、占有床面積の省
スペース化と手作業によるキヤリア交換の省力化
とを計ることにある。

これらの目的のため、本考案は、基台上に配設
された昇降機構と、この昇降機構の上端に設けら
れて一体に上下動するところの半導体ウエハが通
過する空隙部を有する略Ｈ形キヤリア載置台と、
このキヤリア載置台の空隙部の一方側基台上にし
て、かつ処理室に対する半導体ウエハの搬入搬出
機構との同一搬送ライン上の部位に配設された半
導体ウエハの搬送機構と、この搬送機構の搬送ラ
イン上にして、かつキヤリア載置台の空隙部の他
方側に回転可能に軸支された連結用調車とを有し
た装置本体と、対向する前後面が開口した無底の
キヤリア本体の内周面に半導体ウエハを水平に挿
入するための溝が多段状に設けられ、前後開口部
が前記装置本体の半導体ウエハ搬送機構のライン
と同一方向に位置して装置本体の略Ｈ形キヤリア
載置台上に載置されるキヤリアとを備え、前記本
体が処理室に対する半導体ウエハの搬入搬出機構
との同一搬送ライン上に前後に２基配設されると
共に、これら装置本体における一方の搬送機構と
他方の連結用調車とが搬送体を介して連結され、
前方の供給用装置における昇降機構の上昇を介し
てのキヤリアの上昇によつてキヤリアの最下段の
半導体ウエハが搬送機構を介して処理室内に自動
供給されると共に、処理済の半導体ウエハは搬送
機構の逆転作動により、処理室１より供給用装置
における装置本体の空隙部を通つて後方の収納用
装置におけるキヤリアの最上段の周溝に水平に挿
入されて自動収納される構成を特徴とするもので
ある。

（問題点を解決するための手段） 以下、本考案を図示の実施例に基づいて説明す
る。

第１図は側面からの全体の概略説明図であり、
第２図は平面からの概略説明図で、先ず、全体の
概略を説明すると、プラズマ処理等を行う処理室
１に対するウエハＰの搬入と処理済ウエハP′の搬
出を交互に行う搬送機構２の搬送ライン上に２基
の装置本体３，３′が配設されて、相互に連結さ
れると共に、これら装置本体３，３′にはキヤリ
アがそれぞれ設けられ、前方のキヤリアより搬送
機構を介して処理室１内にウエハＰが１枚自動供
給され、次いで、処理室１内より搬送機構を介し
て処理済のウエハP′が１枚自動搬出されて後方の
キヤリアに自動収納され、これらウエハＰの供給
と処理済のウエハP′の収納が同一ライン上におい
て交互になされるように構成されている。

そこで、次に、ウエハＰを供給し、また処理済
のウエハP′を収納する供給用装置と収納用装置の
構成を説明すると、これら装置は装置本体３，
３′と後述のキヤリアとから構成され、装置本体
３，３′は共に同一の構成であつて、昇降機構と
キヤリア載置台、ウエハ搬送機構と連結用調車と
を有するものである。

したがつて、一方の装置本体３の構成を説明
し、もう一方の装置本体３′については主要部分
のみに同一番号にダツシユを付けて表示し、それ
の説明は省略する。

第３図は装置本体３の一部断面した側面図、第
４図は同上平面図で、基台４の上面四隅に立設固
定された４本の支柱５の上端に支持板６が水平に
固定されると共に、この支持板６の中央開口部に
は円筒状軸受７が垂下固定されている。

軸受筒７内には内周に雌ねじ９を有するやや長
い昇降ねじ管８が上下動可能として設けられると
共に、この昇降ねじ管８内には雌ねじ９と螺合す
る雄ねじ１１を有するねじ杆１０が設けられ、そ
の下端軸部１２は基台４上の設けられた軸受１３
を通して基台４内に延びると共に、この基台４内
のベアリングと軸受１３のベアリングを介して回
転可能に軸支されている。

軸受１３内の軸部１２には歯車１４が設けら
れ、この歯車１４は支柱５に設けられた駆動源
（パルスモータ）１５の駆動軸の歯車１６とチエ
ーン等１７を介して連結され、駆動源１５の正逆
回転力を受けてねじ杆１０が正逆回転し、昇降ね
じ管８が上下動して昇降するようになつている。

なお、装置本体３における前記昇降機構とは支
持板６、軸受筒７、昇降ねじ管８、ねじ杆１０、
歯車１４，１６、駆動源１５、チエーン１７等の
部材を含み、装置本体３′においても全く同様で
ある。昇降機構により一体として昇降するキヤリ
ア載置台１８は第４図に示すように、平面略Ｈ形
を呈し、この載置台１８は２枚の略Ｈ形板１９，
１９を所定の空隙部２０を有して対向せしめると
共に、その四隅部においてブロツク２１を介して
一体的に連結固着することによつて構成されると
共に、そのコ字形切欠部を後述の搬送機構のライ
ン上に向けて、その下部Ｈ形板１９において昇降
ねじ管８の上端面にねじ着固定され、昇降ねじ管
８と一体的に昇降するようになつている。

キヤリア載置台１８の空隙部２０の一側基台上
にして、かつ処理室１に対するウエハＰと処理済
のウエハP′の搬送機構２との同一搬送ライン上の
部位には、ウエハＰの搬送機構が設けられてい
る。

すなわち、支持板６上の部分に支柱２２を介し
て支持板２３が固着されると共に、この支持板２
３上には支柱２４が立設固着され、さらに支柱２
４の上端には前後に延びる水平腕２５が固着され
ている。水平腕２５の一端２６は第４図に示すよ
うに、キヤリア載置台１８のコ字形切欠部分まで
延びて両側に軸受２７，２７を有するコ字形とな
つており、また中間部より他端２８はやや細幅を
呈し、その端は基台４のやや外方にまで延びてい
る。そして、軸受２７，２７の外側には調車２
９，２９が、支柱２４と交わる水平腕の両側には
大きな調車３０，３０が、また腕他端２８の端部
両側には小さな調車３１，３１がそれぞれ回動自
在に軸支されると共に、調車２９，２９と調車３
０，３０間にはゴムベルト等の搬送体３２，３２
が、また調車３０，３０と調車３１，３１間には
ゴムベルト等の搬送体３３，３３がそれぞれ懸架
され、さらに支柱２４のやや下部に固着された駆
動源（パルスモータ）取着板３４には駆動源（パ
ルスモータ）３５が横設されて、この駆動軸と直
結された調車３６と一方の調車３０との間にゴム
ベルト等の搬送体３７が懸架され、駆動源３５の
回転力が搬送体３８，３２，３２，３３，３３を
介して各調車に伝導され、調車２９，２９，３
０，３０，３１，３１の回転によつて各搬送体３
２，３２，３３，３３が回転して後述するように
ウエハＰ（P′）が自動搬送されるようになつてい
る。

なお、前記搬送機構とは、このように支柱２
５、各調車２９，２９，３０，３０，３１，３
１，３６、搬送体３２，３２，３３，３３，３
７、駆動源３５等の部材を含むものである。

キヤリア載置台１８の空隙部２０の他側にし
て、かつ支持板６上に立設固着された支柱３８の
上端両側には連結用調車３９，３９が回動自在と
して軸支されている。この調車３９，３９はゴム
ベルト等の搬送体４０，４０を介して他の装置本
体３′の調車３１′，３１′と連結されるため、そ
の間隔は調車３１，３１のそれと等しく同一ライ
ン上に位置している。

次に、キヤリア４１を、例示した第６図および
第７図を参照して説明すると、キヤリア本体４２
は対向する前後が開口し、かつ上面に切欠部４３
を有する無底の縦長箱形であつて、内周面にはウ
エハＰを水平に挿入するための溝４４が等間隔で
多段状に設けられている。

そして、このように構成されたキヤリア４１は
その前後開口部を装置本体３，３′の搬送機構の
ラインと同一方向２向けてキヤリア載置台１８，
１８′上に載置される。

前記の構成に係る装置本体３，３′は前記した
ように処理室１に対するウエハＰの搬入と処理済
のウエハP′の搬出のための搬送機構２の搬送ライ
ン上に前後して配設されると共に、これら装置本
体３，３′はその調車３９，３９と調車３１′，３
１′間に懸架された搬送体４０，４０を介して連
結されている。

（作用） 次に、以上の構成に係る本案装置の動作につい
て説明する。

各装置本体３，３′におけるキヤリア載置台１
８，１８′には前記した状態をもつてキヤリア４
１が載置され、このうち前方のキヤリア４１にの
みその周溝４４に挿入されて多数のウエハＰが収
納されている。

そして、前方のキヤリア４１の最下端が搬送本
体３２，３２，４０，４０の位置よりもやや上方
に位置し、一方、後方のキヤリア４１の最上端が
搬送体３２′，３２′の位置よりもやや下方に位置
している状態にして、かつ搬送機構２および前後
装置本体３，３′の各搬送体３２，３３，４０，
３３′，３２′が同一方向（送り方向）に作動して
いる状態から、駆動源１５の回転力を受けての昇
降ねじ管８の下降によつてキヤリア載置台１８上
にキヤリア４１が共に下降して所定位置に停止す
ると、キヤリア４１の最下段に収納されているウ
エハＰの下面が作動している搬送体３２，３２に
接し、ウエハＰは第１図に示すように、キヤリア
４１の溝４４から引き出されて矢印イ方向に送ら
れると共に、搬送体３３，３３を介し、さらに搬
送機構２を介して処理室１内に供給される。

キヤリア４１の最下段よりウエハＰを１枚送り
出した後、第１図に想像線で示すように、昇降ね
じ管８の上昇を介してキヤリア４１を載置したキ
ヤリア載置台１８は所定の最上位まで上昇し停止
する。すなわち、キヤリア載置台１８の空隙部２
０が搬送体３２，３２，４０，４０と略同じレベ
ルになる高さ位置に停止する。

一方、処理室１内においてプラズマ等の処理が
なされたウエハP′は逆転作動による搬送機構２を
介し送り出されて、逆転作動している供給用装置
本体３における搬送体３３，３３，３２，３２に
よつて送られると共に、キヤリア載置台１８の空
隙部２０を通つて（第１図に想像線で示す）、搬
送体３３，３３等と同方向に逆転作動している搬
送体４０，４０から矢印ロ方向に送られると共
に、収納用装置本体３における逆転作動している
搬送体３３′，３３′，３２′，３２′を介してキヤ
リア４１の最上段の溝４４内に水平に挿入されて
収納される。

以下、同様にして供給用装置におけるキヤリア
４１の下段より順次にウエハＰが１枚ずつ供給さ
れると共に、収納用装置におけるキヤリア４１に
は、上段より順次に処理済ウエハP′が１枚ずつ収
納され、そして供給と収納は交互に連続して自動
的に行われる。

なお、昇降ねじ管８，８′の昇降は駆動源（パ
ルスモータ）１５，１５′によつて制御され、ま
た、搬送体３２，３２′等の正逆転作動は駆動源
（パルスモータ）３６，３６′によつて制御される
ものである。

（考案の効果） このように本考案によれば、キヤリアからのウ
エハの自動供給とキヤリアへの処理済ウエハの自
動収納とを同一ライン上において行うことができ
て、装置の占有床面積の省スペース化を計ること
ができると共に、キヤリアの交換も同じ位置にお
いて可能であるために、無駄な動きがなくなつ
て、手作業によるキヤリア交換の省力化にも寄与
することができるものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図は側面か
らみた全体の概略説明図、第２図は平面からの概
略説明図、第３図は一部切断の装置本体の側面
図、第４図は同上平面図、第５図は装置本体にお
ける部分的正面図、第６図はキヤリアの一例を示
す平面図、第７図は同上縦断面図、第８図はキヤ
リア載置台とキヤリアとの関係を示す正面図であ
る。 １……処理室、２……搬送機構、３，３′……
装置本体、８，８′……昇降ねじ管、１５，１
５′……駆動源、１８，１８′……キヤリア載置
台、２０……空隙部、３２，３２′，３３，３
３′……搬送体、３７，３７′，４０……搬送体、
４１……キヤリア、Ｐ……半導体ウエハ、P′……
処理済半導体ウエハ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基台上に配設された昇降機構と、この昇降機構
   の上端に設けられて一体に上下動するところの半
   導体ウエハが通過する空隙部を有する略Ｈ形キヤ
   リア載置台と、このキヤリア載置台の空隙部の一
   方側基台上にして、かつ処理室に対する半導体ウ
   エハの搬入搬出機構との同一搬送ライン上の部位
   に配設された半導体ウエハの搬送機構と、この搬
   送機構の搬送ライン上にして、かつ前記キヤリア
   載置台の空隙部の他方側に回転可能に軸支された
   連結用調車とを有した装置本体と、対向する前後
   面が開口した無底のキヤリア本体の内周面に半導
   体ウエハを水平に挿入するための溝が多段状に設
   けられ、前後開口部が前記装置本体の半導体ウエ
   ハ搬送機構のラインと同一方向に位置して装置本
   体の略Ｈ形キヤリア載置台上に載置されるキヤリ
   アとを備え、前記装置本体が処理室に対する半導
   体ウエハの搬入搬出機構との同一搬送ライン上に
   前後に２基配設されると共に、これら装置本体に
   おける一方の搬送機構と他方の連結用調車とが搬
   送体を介して連結され、前方の供給用装置におけ
   る昇降機構の上昇を介してのキヤリアの上昇によ
   つてキヤリアの最下段の半導体ウエハが搬送機構
   を介して処理室内に自動供給されると共に、処理
   済の半導体ウエハは搬送機構の逆転作動により、
   供給用装置における装置本体の空隙部を通つて後
   方の収納用装置におけるキヤリアの最上段の周溝
   に水平に挿入されて自動収納される構成を特徴と
   する半導体ウエハの自動供給収納装置。