JPH02146751U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02146751U JPH02146751U JP5582589U JP5582589U JPH02146751U JP H02146751 U JPH02146751 U JP H02146751U JP 5582589 U JP5582589 U JP 5582589U JP 5582589 U JP5582589 U JP 5582589U JP H02146751 U JPH02146751 U JP H02146751U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- electron gun
- emission
- field emission
- emission current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例のブロツク図、第２図
はエミシヨン電流のエミシヨン電流と時間関係を
示す図である。 １……陰極、２……第一陽極、３……第二陽極
、４……電圧電源、５……加速電圧電源、６……
比較回路、７……電子銃焼き出し電源、８……ヒ
ータ、９……陰極加熱電源。
はエミシヨン電流のエミシヨン電流と時間関係を
示す図である。 １……陰極、２……第一陽極、３……第二陽極
、４……電圧電源、５……加速電圧電源、６……
比較回路、７……電子銃焼き出し電源、８……ヒ
ータ、９……陰極加熱電源。
Claims (1)
- エミシヨン電源引き出し電極を有する電界放射
形電子銃、電子銃を制御するための加速電圧電源
、エミシヨン電流引き出し電源を有する装置にお
いて、陰極より放射されるエミシヨン電流の初期
減少領域における立ち下がり時間の割合により、
電子銃の焼き出し時間を設定することを特徴とす
る電界放射形走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5582589U JPH02146751U (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5582589U JPH02146751U (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02146751U true JPH02146751U (ja) | 1990-12-13 |
Family
ID=31579120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5582589U Pending JPH02146751U (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02146751U (ja) |
-
1989
- 1989-05-17 JP JP5582589U patent/JPH02146751U/ja active Pending
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