JPH02148408A - 薄膜磁気ヘッドとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、高密度磁気記録装置などに利用される薄膜磁
気ヘッドとその製造方法に関するものである。

（従来の技術） コンピュータ用ハードディスク装置などの高密度磁気記
録用に小型の薄膜磁気ヘッドが開発されている。

この薄膜磁気ヘッドはフォトリソグラフィ技術を応用し
て作成され、その先端部分は第４図の断面に示すような
構成となっている。すなわち、平坦な下部磁性層ｍｌと
、ヘッド先端部分においてギャップ層ｇを介在させつつ
下部磁性層ｍ１と対向すると共に後方において下部磁性
層ｍ１との接合部ｊを形成する上部磁性層ｍ２と、これ
ら両磁性層の間においてそれぞれの磁性層と相互との間
に電気絶縁層ｉを介在させつつ紙面の垂直方向に延在さ
れる複数のコイル導体層Ｃ１〜ｃ１２とを備えている。

コイル導体層Ｃ１〜ｃ１２の一つを紙面の垂直方向に流
れる電流は、図示しない後方のコイル導体層を経てコイ
ル導体層Ｃ１〜ｃ１２の他の一つに環流することにより
接合部ｊの磁性層に起磁力を発生させ、ギャップ層ｇを
介して対向するヘッド先端部分の両磁性層の間に記録用
の漏洩磁界を発生させる。

（発明が解決しようとする課題） 第４図に示した、従来の薄膜磁気ヘッドでは、上部磁性
層ｍ１が湾曲して形成されているので、この湾曲部分で
磁壁の動きが妨げられて高周波特性が劣化し、記録／再
生速度が低下する歩４という問題がある。

（課題を解決するための手段） 本発明に係わる薄膜磁気ヘッドは、ほぼ平坦な基板部、
ヘッド先端部分においてこの基板部から隆起する第１の
隆起部及びこの第１の隆起部の後方においてこの第１の
隆起部とほぼ同一の高さに前記基板部から隆起する第２
の隆起部を有する一方の磁性層と、ギャップ層を介在さ
せつつ上記−方の磁性層の第１の隆起部の上面に対向す
ると共にこの一方の磁性層の第２の隆起部の上面におい
てこの一方の磁性層との接合部を形成するほぼ平坦形状
の他方の磁性層と、上記一方の磁性層の第１、第２の隆
起部の間において上記一方及び他方の磁性層の間及び相
互の間に電気絶縁層を介在させつつかつ第１．第２の隆
起部を連ねる方向と直角方向に延在される複数のコイル
導体層とを備え、第２の磁性層を湾曲部分のない平坦形
状とすることにより高周波特性を改善するように構成さ
れている。

本発明に係わる上記薄膜磁気ヘッドの製造方法は、ほぼ
平坦な基板部を形成し引き続きヘッド先端部分及びその
後方においてこの基板部にほぼ同一の高さの第１．第２
の隆起部を形成することにより一方の磁性層を形成する
段階と、この一方の磁性層の上記第１．第２の隆起部の
間においてこの一方の磁性層の基板部上にこの基板部と
の間及び相互間に電気絶縁層を介在させつつ複数のコイ
ル導体層を形成し引き続きこのコイル導体層上に表面が
上記第１．第２の隆起部と同一高さになる厚みの電気絶
縁層を形成する段階と、この電気絶縁層及び前記第１の
隆起部の上面にギャップ層を形成する段階と、上記ギャ
ップ層及び上記第２の隆起部の上面にほぼ平坦形状の他
方の磁性層を形成する段階とを含んでいる。

以下、本発明の作用を実施例と共に詳細に説明する。

（実施例） 第１図は、本発明の一実施例に係わる薄膜磁気ヘッドの
先端部分の構成を示す断面図であり、Ｍｌａは下部磁性
層、Ｍ２は上部磁性層、Ｇはギャップ層、Ｊは上下磁性
層の接合部、Ｃ１〜Ｃ１４はコイル導体層、■は電気絶
縁層である。

下部＠性層Ｍ１は、ほぼ平坦な形状の基板部Ｍ１ａと、
ヘッド先端部分において基板部Ｍｌａから隆起する第１
の隆起部Ｍｌｂと、この第１の隆起部Ｍｌｂの後方にお
いてこの第１の隆起部Ｍ１ｂとほぼ同一の高さに基板部
Ｍｌａから隆起する第２の隆起部Ｍ　１　ｃとを有して
いる。上部磁性層Ｍ２は、ギャップ層Ｇを介在させつつ
下部磁性層の第１の隆起部Ｍｌｂの上面に対向すると共
にこの一方の磁性層の第２の隆起部Ｍ　１　ｃの上面に
おいてこの下部磁性層Ｍ１との間に接合部分を形成する
ほぼ平坦形状の磁性層から成っている。更に、下部磁性
層Ｍｌの第１．第２の隆起部Ｍｌｂ、ＭＩＣ間において
上下両磁性層との間及び相互の間に電気絶縁層Ｉを介在
させつつ紙面の垂直方向に延在される複数のコイル導体
層０１〜Ｃ１４が形成されている。

コイル導体層０１〜Ｃ１４の一つを紙面の垂直方向に流
れる電流は、図示しない後方のコイル導体層を経てコイ
ル導体層０１〜Ｃ１４の他の一つに環流することにより
接合部Ｊに起磁力を発生させ、ギャップ層Ｇを介して対
向するヘッド先端部分の上下磁性層Ｍｌ、Ｍ２間に記録
用の漏洩磁界を発生させる。

上部磁性層Ｍ２に湾曲部分が存在しないため、磁壁の動
きが妨げられず、高速の記録／再生が行われる。

上記実施例の薄膜磁気へ・７ドの製造方法を第２図と第
３図の断面図によって説明する。

まず、スパッタリングやメツキによりＮｉＦｅを素材と
する下部磁性層の基板部Ｍｌａが図示しないスライダ基
板上に形成されたのち、コイル導体層を形成しようとす
る部分がレジストなどのマスクＭによって覆われる（（
第２図（Ａ））。

次に、コイル先端部分と接合部を形成しようとする箇所
のそれぞれに、メツキなどによってＮｉＦｅを素材とす
る同一高さの第１．第２の隆起部Ｍ１ｂ、、Ｍｌｃが形
成される（第２図（Ｂ））。

引き続き、マスクＭが除去されたのち、スパッタリング
によって電気絶縁層■１が形成され、フォトリソグラフ
ィ手法によって銅などの金属材料のコイル導体層Ｃ１，
Ｃ２・・・・Ｃ７が形成される（第２図（Ｃ）。

引き続き、電気絶縁層Ｉ２とコイル導体層Ｃ８゜Ｃ９・
・・・Ｃ１４が形成されたのち、このコイル導体層Ｃ９
〜Ｃ１４上に上面が下部磁性層Ｍ１の第１．第２の隆起
部Ｍｌｂ、ＭＩＣと同一高さになるように電気絶縁層■
３が形成される（第３図（Ａ））。

次に、電気絶縁層■３上と第１．第２の隆起部Ｍｌｂ、
Ｍｌｃ上にギャップ層Ｇが形成され、第２の隆起部Ｍｌ
ｃ上の接合部を形成しようとする右頁域のギャップ層Ｇ
がイオンビームエ・ンチングによって選択的に除去され
る（第３図（Ｂ））。

最後に、スパッタリングやメツキによりＮｉＦｅを素材
とする上部磁性層Ｍ２が形成され、第１図に示す構造の
先端部分を有する薄膜磁気ヘッドの製造が終了する。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、本発明の薄膜磁気ヘッドは
、ヘッド先端部分及び上下両磁性層の接合部分のそれぞ
れにほぼ同じ高さの隆起部を有する下部磁性層と、両隆
起部間の下部磁性層上に形成されるコイル導体層と、こ
の上に形成されるギャップ層と、このギャップ層上に形
成されるほぼ平坦な上部磁性層とを備える構成であるか
ら、上部磁性層の湾曲部分を除去することができる。

この結果、磁気ヘッドの高周波特性が改善され記録／再
生速度が向上するという効果が奏される。

また、本発明に係わる上記薄膜磁気ヘッドの製造方法は
、上述のように簡易なものであるから、製造コストを低
減できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の薄膜磁気ヘッドの先端部分
の構成を示す断面図、第２図と第３図は上記薄膜磁気ヘ
ッドの製造方法を説明するための断面図、第４図は従来
の薄膜磁気ヘッドの先端部分の構成を示す断面図である
。 Ｍｌ・・・下部磁性層、Ｍ　１　ａ・・・第１の隆起部
、Ｍｌｂ・・・第２の隆起部、Ｍ２・・・上部磁性層、
Ｇ・・・ギャップ層、Ｊ・・・上下磁性層の接合部、０
１〜Ｃ１４・・・コイル導体層、１．１１，１２．１３
・・・電気絶縁層。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ほぼ平坦な基板部と、ヘッド先端部分においてこ
   の基板部から隆起する第１の隆起部と、この第１の隆起
   部の後方においてこの第１の隆起部とほぼ同一の高さに
   前記基板部から隆起する第２の隆起部を有する一方の磁
   性層と、 ギャップ層を介在させつつ前記一方の磁性層の第１の隆
   起部の上面に対向すると共に、前記一方の磁性層の第２
   の隆起部の上面においてこの一方の磁性層との接合部を
   形成するほぼ平坦形状の他方の磁性層と、 前記一方の磁性層の第１、第２の隆起部の間において前
   記一方及び他方の磁性層の間及び相互の間に電気絶縁層
   を介在させつつかつ前記第１、第２の隆起部を連ねる方
   向と直角方向に延在される複数のコイル導体層とを備え
   たことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
2. （２）ほぼ平坦な基板部を形成し、ヘッド先端部分とそ
   の後方においてこの基板部にほぼ同一の高さの第１、第
   ２の隆起部を形成することにより一方の磁性層を形成す
   る段階と、 この一方の磁性層の前記第１、第２の隆起部の間におい
   てこの一方の磁性層の基板部上にこの基板部との間及び
   相互間に電気絶縁層を介在させつつ複数のコイル導体層
   を形成し、このコイル導体層上に表面が前記第１、第２
   の隆起部と同一高さになる厚みの電気絶縁層を形成する
   段階と、 この電気絶縁層及び前記第１の隆起部の上面にギャップ
   層を形成する段階と、 前記ギャップ層及び前記第２の隆起部の上面にほぼ平坦
   形状の他方の磁性層を形成する段階とを含むことを特徴
   とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。