JPH02152013A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH02152013A JPH02152013A JP30654988A JP30654988A JPH02152013A JP H02152013 A JPH02152013 A JP H02152013A JP 30654988 A JP30654988 A JP 30654988A JP 30654988 A JP30654988 A JP 30654988A JP H02152013 A JPH02152013 A JP H02152013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- substrate
- perpendicular magnetic
- layer
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、垂直磁気記録方式に用いる垂直磁気記録媒
体の製造方法に関するものである。
体の製造方法に関するものである。
［従来の技術］
従来より垂直磁気記録媒体としては、例えば刊行物（東
北大通研シンポジュウム ｐｐ１７７〜１８７（１９８
２））に示されているように、ＣｏＣｒを記録層とした
媒体が提案されている。また、その出力を大きくするた
めには、例えば刊行物（第８回日本応用磁気学会学術講
演概要集 １４ａＡ−７，Ｐ１１５（１９８４））に示
されているように、磁気ヘッドの性能にもよるが、媒体
のＣｏＣｒの保磁力の垂直方向成分Ｈｃｌを大きくする
ことが必要である。
北大通研シンポジュウム ｐｐ１７７〜１８７（１９８
２））に示されているように、ＣｏＣｒを記録層とした
媒体が提案されている。また、その出力を大きくするた
めには、例えば刊行物（第８回日本応用磁気学会学術講
演概要集 １４ａＡ−７，Ｐ１１５（１９８４））に示
されているように、磁気ヘッドの性能にもよるが、媒体
のＣｏＣｒの保磁力の垂直方向成分Ｈｃｌを大きくする
ことが必要である。
［発明が解決しようとする課題］
ＣｏＣｒのＨｃｉを増大させるために、従来はＣｏＣｒ
成膜時、基板を加熱することにより制御していた。
成膜時、基板を加熱することにより制御していた。
しかし固定ディスクで良く用いられるＮｉＰを表面硬化
層とした基板では、このＮｉＰが２５０℃以上で磁化し
てしまい録再特性に悪影響を与えるという課題があった
。
層とした基板では、このＮｉＰが２５０℃以上で磁化し
てしまい録再特性に悪影響を与えるという課題があった
。
この発明は、かかる課題を解決するためになされたもの
で、従来と比べて低温で大きな出力の垂直磁気記録媒体
の製造方法を得ることを目的とする。
で、従来と比べて低温で大きな出力の垂直磁気記録媒体
の製造方法を得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
この発明の垂直磁気記録媒体の製造方法は、表面硬化層
を有する基板の上記表面硬化層を平均粗さ４００〜１０
００スに粗化し、上記基板を加熱して上記表面硬化層に
上記基板とほぼ垂直な方向に磁化容易軸を有するＣｏＣ
ｒで形成された記録層を設けるものである。
を有する基板の上記表面硬化層を平均粗さ４００〜１０
００スに粗化し、上記基板を加熱して上記表面硬化層に
上記基板とほぼ垂直な方向に磁化容易軸を有するＣｏＣ
ｒで形成された記録層を設けるものである。
［作用］
この発明において１表面硬化層の粗さ形状による誘導磁
気異方性が、ＣｏＣｒＦＪのＨｃｌの増大に関与してい
ると考えられる。
気異方性が、ＣｏＣｒＦＪのＨｃｌの増大に関与してい
ると考えられる。
［実施例コ
第１図はこの発明の一実施例による垂直磁気記録媒体の
新面図である。図において、（１）は基板、（２）は粗
化された表面硬化層、（３）はＣｏＣｒで形成された記
録層である。
新面図である。図において、（１）は基板、（２）は粗
化された表面硬化層、（３）はＣｏＣｒで形成された記
録層である。
実施例
ＮｉＰで形成された表面硬化層を、粗さの異なる研磨テ
ープで研磨することにより、その表面粗度を各２００，
４００，８００，８００．１０００スし、その上に公知
のスパッタリング法によりＣｏＣｒＮを０．３μｍ設け
この発明の実施例による垂直磁気記録媒体を得た。なお
、スパッタリング条件は、Ａｒ圧３ｍｍ ｔ、ｏｒｒ
、入力電力密度がＩＷ／ｃｎ（、ターゲットとしてＣｏ
８２Ｃｒ１８合金を用い成膜時基板温度を、１３０℃、
１５０℃、２００℃とした。
ープで研磨することにより、その表面粗度を各２００，
４００，８００，８００．１０００スし、その上に公知
のスパッタリング法によりＣｏＣｒＮを０．３μｍ設け
この発明の実施例による垂直磁気記録媒体を得た。なお
、スパッタリング条件は、Ａｒ圧３ｍｍ ｔ、ｏｒｒ
、入力電力密度がＩＷ／ｃｎ（、ターゲットとしてＣｏ
８２Ｃｒ１８合金を用い成膜時基板温度を、１３０℃、
１５０℃、２００℃とした。
比較例
表面硬化層が平均粗さ２０ス程度のいわゆるポリッシュ
工程を経た基板を用いて、実施例と同様にＣｏ Ｃｒ
Ｎを成膜して垂直磁気記録媒体を得た。この場合成膜時
の基板温度味、１２０，１５０，２００，２５０，３０
０°Ｃとした。
工程を経た基板を用いて、実施例と同様にＣｏ Ｃｒ
Ｎを成膜して垂直磁気記録媒体を得た。この場合成膜時
の基板温度味、１２０，１５０，２００，２５０，３０
０°Ｃとした。
第２図は、この発明の実施例による垂直磁気記録媒体と
従来例とを比較して示すＣｏＣｒ成膜時の基板温度１３
０，１５０，２００℃の場合の、表面硬化層の表面粗度
（ス）および出力（ｄＢ）によるＨ＋４’（Ｏｅ）変化
を示す特性図である。図において、（Ａ）、 （Ｂ）お
よび（Ｃ）は各々成膜時基板温度１３０．１５０．２０
０℃として得た垂直磁気記録媒体の、表面粗度によるＨ
ｃｌ変化を示す特性、（Ｄ）は上記のようにして得た垂
直磁気記録媒体の出力とＨｃｌの関係を示す特性である
。
従来例とを比較して示すＣｏＣｒ成膜時の基板温度１３
０，１５０，２００℃の場合の、表面硬化層の表面粗度
（ス）および出力（ｄＢ）によるＨ＋４’（Ｏｅ）変化
を示す特性図である。図において、（Ａ）、 （Ｂ）お
よび（Ｃ）は各々成膜時基板温度１３０．１５０．２０
０℃として得た垂直磁気記録媒体の、表面粗度によるＨ
ｃｌ変化を示す特性、（Ｄ）は上記のようにして得た垂
直磁気記録媒体の出力とＨｃｌの関係を示す特性である
。
第３図は比較例のＮｉＰの表面粗度２０スの基板を用い
た場合の、ＣｏＣｒ成膜時の基板温度（℃）および出力
（ｄＢ）によるＨｃｌ（Ｏｅ）変化を示す特性図である
。
た場合の、ＣｏＣｒ成膜時の基板温度（℃）および出力
（ｄＢ）によるＨｃｌ（Ｏｅ）変化を示す特性図である
。
なお、Ｈｃｌの測定にはＶＳＭを用い出力の測定にはリ
ングヘッドを用いて、記録密度３０ＫＢＰＩにおける出
力値を相対値で示した。第２図より、表面粗度が４００
〜１０００スの時には比較例と比べ出力が増大している
ことが解る。一方第３図から、ＣｏＣｒ成膜時成膜時変
板温度して、Ｈｃｌを増大しても出力はあまり増大しな
い。これはＨｃｌを大きくするために成膜時基板温度を
高くしても、表面硬化層のＮｉＰが磁化（２５０℃）し
て録再特性に悪影響を与える為と考えられる。
ングヘッドを用いて、記録密度３０ＫＢＰＩにおける出
力値を相対値で示した。第２図より、表面粗度が４００
〜１０００スの時には比較例と比べ出力が増大している
ことが解る。一方第３図から、ＣｏＣｒ成膜時成膜時変
板温度して、Ｈｃｌを増大しても出力はあまり増大しな
い。これはＨｃｌを大きくするために成膜時基板温度を
高くしても、表面硬化層のＮｉＰが磁化（２５０℃）し
て録再特性に悪影響を与える為と考えられる。
なお、表面硬化層として上記実施例に用いたＮｉＰの代
わりにＮ１ＣｕＰを用いた場合にも上記と同様の特性を
示す。即ち第４図にＣｏＣｒ成膜時の基板温度１２０℃
の時の、表面硬化層の表面粗さ（久）によるＨｃｌ変化
を示す特性図である。この場合も表面粗さ４００〜１０
００スで従来よりＨｃｌが増大しているのが解る。
わりにＮ１ＣｕＰを用いた場合にも上記と同様の特性を
示す。即ち第４図にＣｏＣｒ成膜時の基板温度１２０℃
の時の、表面硬化層の表面粗さ（久）によるＨｃｌ変化
を示す特性図である。この場合も表面粗さ４００〜１０
００スで従来よりＨｃｌが増大しているのが解る。
この様に、上記範囲の表面粗さを有する表面硬化層にＣ
ｏＣｒ層を設けるとＨｃｌが増大するのは、表面硬化層
の種類（ＮｉＰ、Ｎ１ＣｕＰ）によらず同様の傾向を示
すことから、成膜時の結晶配向に際して何らかの形状効
果が影響していると考えられる。
ｏＣｒ層を設けるとＨｃｌが増大するのは、表面硬化層
の種類（ＮｉＰ、Ｎ１ＣｕＰ）によらず同様の傾向を示
すことから、成膜時の結晶配向に際して何らかの形状効
果が影響していると考えられる。
［発明の効果］
以上説明したとおり、この発明は表面硬化層を有する基
板の上記表面硬化層を平均粗さ４００〜１０００久に粗
化し、上記基板を加熱して上記表面硬化層に上記基板と
ほぼ垂直な方向に磁化容易軸を有するＣｏＣｒで形成さ
れた記録層を設けることにより、従来と比べて低温で大
きな出力の垂直磁気記録媒体の製造方法を得ることがで
きる。
板の上記表面硬化層を平均粗さ４００〜１０００久に粗
化し、上記基板を加熱して上記表面硬化層に上記基板と
ほぼ垂直な方向に磁化容易軸を有するＣｏＣｒで形成さ
れた記録層を設けることにより、従来と比べて低温で大
きな出力の垂直磁気記録媒体の製造方法を得ることがで
きる。
第１図はこの発明の一実施例による垂直磁気記録媒体の
新面図、第２図はこの発明の実施例による垂直磁気記録
媒体と従来例とを比較して示すＣｏＣｒ成膜時の基板温
度１３０，１５０，２００℃の場合の、表面硬化層の表
面粗度（ス）および出力（ｄＢ）にょるＨＣＩ（Ｏｅ）
変化を示す特性図、第３図は比較例のＮｉＰの表面粗度
２０スの基板を用いた場合の、 ＣｏＣｒ成膜時の基板
温度（℃）および出力（ｄＢ）によるＨｃｌ（Ｏｅ）変
化を示す特性図、第４図はこの発明の他の実施例による
垂直磁気記録媒体の、表面硬化層の表面粗度によるＨｃ
４変化を示す特性図である。 図において、 （１）は基板、 （２）は粗化された表面 硬化層、（３）はＣｏＣｒで形成された記録層である。
新面図、第２図はこの発明の実施例による垂直磁気記録
媒体と従来例とを比較して示すＣｏＣｒ成膜時の基板温
度１３０，１５０，２００℃の場合の、表面硬化層の表
面粗度（ス）および出力（ｄＢ）にょるＨＣＩ（Ｏｅ）
変化を示す特性図、第３図は比較例のＮｉＰの表面粗度
２０スの基板を用いた場合の、 ＣｏＣｒ成膜時の基板
温度（℃）および出力（ｄＢ）によるＨｃｌ（Ｏｅ）変
化を示す特性図、第４図はこの発明の他の実施例による
垂直磁気記録媒体の、表面硬化層の表面粗度によるＨｃ
４変化を示す特性図である。 図において、 （１）は基板、 （２）は粗化された表面 硬化層、（３）はＣｏＣｒで形成された記録層である。
Claims (1)
- 表面硬化層を有する基板の上記表面硬化層を平均粗さ４
００〜１０００Åに粗化し、上記基板を加熱して上記表
面硬化層に上記基板とほぼ垂直な方向に磁化容易軸を有
するＣｏＣｒで形成された記録層を設ける垂直磁気記録
媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30654988A JPH02152013A (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30654988A JPH02152013A (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02152013A true JPH02152013A (ja) | 1990-06-12 |
Family
ID=17958377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30654988A Pending JPH02152013A (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02152013A (ja) |
-
1988
- 1988-12-02 JP JP30654988A patent/JPH02152013A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3099790B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2597967B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0556565B2 (ja) | ||
| JPH10228620A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH02152013A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS61199224A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3050305B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH11203654A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| WO2004019322A1 (ja) | 裏打ち磁性膜 | |
| JPH031726B2 (ja) | ||
| JPS6348610A (ja) | 磁気記録体 | |
| JP2000322724A (ja) | 磁気ディスク記録媒体 | |
| JPS61199233A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2725502B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2501962B2 (ja) | フロッピ―磁気ディスク記録媒体 | |
| JP3081229B2 (ja) | Ｍｉｇ型磁気ヘッド | |
| JPH01285022A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS62132224A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS61199238A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01102717A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH05135342A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02141918A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH04157626A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS61199231A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS62150517A (ja) | 磁気記録体 |